一种光刻机的可调支脚座的制作方法

本技术涉及支脚座，特别涉及一种光刻机的可调支脚座。

背景技术：

1、光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统和光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上；在光刻机的安装过程中，需要使用到支脚座。

2、公开(公告)号：cn216666941u，申请号：cn202122490898.3公开了一种光刻机的可调支脚座，包括支脚座本体，所述支脚座本体外表面等距开设有安装槽，所述支脚座本体外表面中部套接安装有固定套管，所述固定套管底端等距焊接有连接卡板，所述连接卡板内部铰接安装有支撑杆，所述安装槽底部铰接安装有支撑底板，所述支撑底板顶端一侧开设有转动槽，所述固定套管内壁一侧中部开设有限位螺孔。通过使用安装槽，可以对支撑杆和支撑底板进行收纳，通过使用固定套管，可以对支撑杆和支撑底板的位置进行调节，通过使用限位螺杆，可以对固定套管进行固定，通过使用支撑底板，可以增大支脚座本体的支撑面积，可以使支脚座本体安装的更加稳定，便于支脚座本体的使用。

3、上述专利不便于进行角度的调整，因此，我们提出一种光刻机的可调支脚座。

技术实现思路

1、本实用新型提供的一种光刻机的可调支脚座，结构简单，使用方便，便于进行高度以及角度的调整，更加便于使用。

2、本实用新型提供的一种光刻机的可调支脚座，包括支撑脚本体；所述支撑脚本体上设有高度调整组件；所述高度调整组件包括截面为t型的柱形槽；所述柱形槽内设有上端穿过柱形槽的固定杆；所述固定杆外端螺纹连接有与支撑脚本体转动连接的螺纹套筒；所述固定杆通过限位件与支撑脚本体滑动连接；所述固定杆上端转动连接有撑板；所述撑板下端面上固定连接有伸缩杆；所述伸缩杆内设有弹簧；所述支撑脚本体上端设有放置孔；所述伸缩杆下端设在放置孔内；使用时，需要进行高度调整时，转动螺纹套筒转动，带动固定杆在限位件的作用下向上移动，撑板向上运动，对撑板的高度进行调整，需要对角度进行调整时，拉动伸缩杆，缩回，伸缩杆下端从放置孔中出来，转动撑板到合适的角度，松开伸缩杆，在弹簧的弹力的作用下伸缩杆下端伸进放置孔内，避免撑板转动。

3、进一步的，所述放置孔以支撑脚本体中心位置为基准环绕均匀设有多个。

4、进一步的，所述限位件包括固定连接在固定杆上的限位滑板、与限位滑板适配的设在支撑脚本体上的限位滑槽；所述限位滑板滑动设在限位滑槽内，限位件避免固定杆转动。

5、进一步的，所述支撑脚本体侧端面下端固定连接有固定撑板；所述固定撑板以支撑脚本体中心位置为基准环绕均匀设有多个；固定撑板增加与放置面的接触面积，使得支撑脚本体更加稳固。

6、进一步的，所述固定撑板下端面与支撑脚本体下端面在同一个水平面上。

7、进一步的，所述螺纹套筒上固定套设有螺母，螺母便于带动螺纹套筒转动。

8、进一步的，所述固定杆通过轴承座与撑板转动连接，便于撑板转动。

9、本实用新型提供的一种光刻机的可调支脚座，结构简单，使用方便，便于进行高度以及角度的调整，更加便于使用。

技术特征：

1.一种光刻机的可调支脚座，其特征在于：包括支撑脚本体(1)；所述支撑脚本体(1)上设有高度调整组件；所述高度调整组件包括截面为t型的柱形槽(2)；所述柱形槽(2)内设有上端穿过柱形槽(2)的固定杆(3)；所述固定杆(3)外端螺纹连接有与支撑脚本体(1)转动连接的螺纹套筒(4)；所述固定杆(3)通过限位件(5)与支撑脚本体(1)滑动连接；所述固定杆(3)上端转动连接有撑板(6)；所述撑板(6)下端面上固定连接有伸缩杆(7)；所述伸缩杆(7)内设有弹簧(8)；所述支撑脚本体(1)上端设有放置孔(9)；所述伸缩杆(7)下端设在放置孔(9)内。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的可调支脚座，其特征在于：所述放置孔(9)以支撑脚本体(1)中心位置为基准环绕均匀设有多个。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机的可调支脚座，其特征在于：所述限位件(5)包括固定连接在固定杆(3)上的限位滑板、与限位滑板适配的设在支撑脚本体(1)上的限位滑槽；所述限位滑板滑动设在限位滑槽内。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机的可调支脚座，其特征在于：所述支撑脚本体(1)侧端面下端固定连接有固定撑板(10)；所述固定撑板(10)以支撑脚本体(1)中心位置为基准环绕均匀设有多个。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机的可调支脚座，其特征在于：所述固定撑板(10)下端面与支撑脚本体(1)下端面在同一个水平面上。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机的可调支脚座，其特征在于：所述螺纹套筒(4)上固定套设有螺母(11)。

7.根据权利要求1所述的一种光刻机的可调支脚座，其特征在于：所述固定杆(3)通过轴承座(12)与撑板(6)转动连接。

技术总结
本技术提供的一种光刻机的可调支脚座，包括支撑脚本体；所述支撑脚本体上设有高度调整组件；所述高度调整组件包括截面为T型的柱形槽；所述柱形槽内设有上端穿过柱形槽的固定杆；所述固定杆外端螺纹连接有与支撑脚本体转动连接的螺纹套筒；所述固定杆通过限位件与支撑脚本体滑动连接；所述固定杆上端转动连接有撑板；所述撑板下端面上固定连接有伸缩杆；所述伸缩杆内设有弹簧；所述支撑脚本体上端设有放置孔；所述伸缩杆下端设在放置孔内，便于进行高度以及角度的调整，更加便于使用。

技术研发人员：吕复坡,罗凤旺,吕灏斌
受保护的技术使用者：云南富端科技有限公司
技术研发日：20221010
技术公布日：2024/1/11