电磁阀固定支架及其装配结构和应用的集成式气路的制作方法

本技术涉及电磁阀固定支架及其装配结构和应用的集成式气路，广泛运用于气路控制领域。

背景技术：

1、集成式气路系统具体非常紧凑的气路结构，需要在很小的空间里安装下各种气路器件，其中阀门是数量最多的一种器件。

2、随着半导体工艺的发展，线宽越来越窄，对气体的快速切换的要求越来越高。为此高频的气动隔膜阀应运而生，其特性是可以在20hz的频率下开关，但因为半导体对安全要求很高，所以高频的气动隔膜阀都是cda驱动开关的，而这里—定会用到电磁阀，由于集成式气路系统的结构太紧凑了，一般电磁阀没办法直接安装在高频的气动隔膜阀的旁边。目前的一般做法是将电磁阀放在远端，通过4mm或1/8"的软管连到高频的气动隔膜阀上驱动其开闭。

3、但是，这里使用的软管—般都需要1-2m或者更长，这样会导致气体在软管上传输需要花掉时间，就会导致高频的气动隔膜阀的实际开关频率远远低于20hz。从而无法达到集成式气路系统对快速切换和精确性的要求。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种电磁阀固定支架，将电磁阀可拆卸的固定在气动隔膜阀的顶部，从而最大程度减少软管的使用长度。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种电磁阀固定支架，包括：

4、至少两个支架组件；所述支架组件包括下夹持片，所述下夹持片为圆弧形结构；以及通过连接片设置于所述下夹持片顶部的上夹持片；

5、两组所述支架组件相对设置，使两个所述下夹持片之间形成下紧固通道，使两个所述上夹持片之间形成上紧固通道。

6、优选的，所述上夹持片上设有安装孔，所述安装孔设置在上夹持片的底部。

7、优选的，所述下夹持片、连接片和上夹持片为一体成型结构。

8、优选的，所述下夹持片、连接片和上夹持片通过焊接成型。

9、优选的，所述下夹持片的弧度大于π/2且小于π，两个所述下夹持片之间形成两个避让通道。

10、在本方案中，上紧固通道用于固定电磁阀，下紧固通道用于固定气动隔膜阀，从而将电磁阀与气动隔膜阀之间的距离大幅缩短，从而减小了用来连接两者的软管的长度，减少了时间差，提高了精度。

11、作为对电磁阀固定支架的进一步应用，本实用新型还提供了一种装配结构，包括气动隔膜阀和电磁阀，所述电磁阀通过电磁阀固定支架设置于所述气动隔膜阀的顶部。

12、优选的，所述电磁阀的底部通过螺钉穿过安装孔锁紧固定在所述电磁阀固定支架的上紧固通道，所述下紧固通道套设固定在所述气动隔膜阀的顶部，所述气动隔膜阀和所述电磁阀之间通过软管相连接；所述软管穿过其中一个避让通道。

13、优先的，所述下紧固通道的内半径比所述气动隔膜阀的顶部的外径大0.5mm，使所述气动隔膜阀的顶部与下紧固通道过盈配合。

14、在本方案中，使用了上述的电磁阀固定支架，该电磁阀固定支架采用了分体式的结构，安装时，先将电磁阀通过螺钉加以固定，即可同时将下夹持片夹进固定在气动隔膜阀的顶部了，操作便捷，稳定性更好。

15、与此同时，安装孔的设置位置既能够将上部的电磁阀通过螺钉固定，又在一定程度上增加了下紧固通道固定的牢固性和稳定性，使其不易脱落

16、作为对电磁阀固定支架和装配结构的进一步的应用，本实用新型还提供了一种集成式气路，该集成式气路中设有多个气动隔膜阀，每个气动隔膜阀的顶部分别通过电磁阀固定支架对电磁阀加以固定，形成新的装配结构。

17、在本方案中，电磁阀固定支架过盈配合而非通过其他方式固定在气动隔膜阀的顶部，是因为在紧凑的气路结构中，相邻的两个气动隔膜阀之间的间隙太小，分体式的电磁阀固定支架不仅安装更加方便，还能根据实际情况旋状其角度，以达到使多排气动隔膜阀的顶部均可以配备电磁阀的目的。

18、本实用新型的技术效果和优点：

19、1、本实用新型的电磁阀固定支架结构紧凑合理，安装方便，使电磁阀与气动隔膜阀之间的距离大幅缩短，从而减小了用来连接两者的软管的长度，减少了时间差，提高了精度；

20、2、本实用新型的集成式气路中应用了电磁阀固定结构，从而使气路中的气动隔膜阀的顶部均可以配备电磁阀，进一步提升了气路整体的精度。

技术特征：

1.一种电磁阀固定支架，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的电磁阀固定支架，其特征在于，所述上夹持片(103)上设有安装孔(104)，所述安装孔(104)设置在上夹持片的底部。

3.如权利要求2所述的电磁阀固定支架，其特征在于，所述下夹持片(101)、连接片(102)和上夹持片(103)为一体成型结构。

4.如权利要求2所述的电磁阀固定支架，其特征在于，所述下夹持片(101)、连接片(102)和上夹持片(103)通过焊接成型。

5.如权利要求3或4所述的电磁阀固定支架，其特征在于，所述下夹持片(101)的弧度大于π/2且小于π，两个所述下夹持片(101)之间形成两个避让通道(107)。

6.一种装配结构，包括气动隔膜阀(2)和电磁阀(3)，其特征在于，所述电磁阀(3)通过如权利要求5所述的电磁阀固定支架设置于所述气动隔膜阀(2)的顶部。

7.如权利要求6所述的一种装配结构，其特征在于，所述电磁阀(3)的底部通过螺钉锁紧固定在所述电磁阀固定支架的上紧固通道(106)，所述下紧固通道(105)套设固定在所述气动隔膜阀(2)的顶部，所述气动隔膜阀(2)和所述电磁阀(3)之间通过软管(4)相连接。

8.如权利要求7所述的一种装配结构，其特征在于，所述软管(4)穿过其中一个避让通道(107)。

9.如权利要求8所述的一种装配结构，其特征在于，所述下紧固通道(105)的内半径比所述气动隔膜阀(2)的顶部的外径大0.5mm，使所述气动隔膜阀(2)的顶部与下紧固通道(105)过盈配合。

10.一种集成式气路，其特征在于，所述集成式气路中应用了多组如权利要求9所述的装配结构。

技术总结
本技术公开了一种电磁阀固定支架，包括：至少两个支架组件；所述支架组件包括下夹持片，所述下夹持片为圆弧形结构；以及通过连接片设置于所述下夹持片顶部的上夹持片；两组所述支架组件相对设置，使两个所述下夹持片之间形成下紧固通道，使两个所述上夹持片之间形成上紧固通道；上紧固通道用于固定电磁阀，下紧固通道用于固定气动隔膜阀，从而将电磁阀与气动隔膜阀之间的距离大幅缩短，从而减小了用来连接两者的软管的长度，减少了时间差，提高了精度。同时还公开了使用该电磁固定支架的装配结构和集成式气路。

技术研发人员：魏强,葛华平,曲辰,林嵘,赵宇钧
受保护的技术使用者：镇江微笙科技有限公司
技术研发日：20221021
技术公布日：2024/1/12