一种高耐磨强度的含氟密封圈的制作方法

本技术属于缓冲器，更具体地说，特别涉及一种高耐磨强度的含氟密封圈。

背景技术：

1、含氟密封圈是半导体集成电路行业所需要的主要耗材之一，半导体生产工艺中含氟含氢气体遇到高温形成的高能态气体会流接触腐蚀密封材料包括含氟密封圈，导致含氟密封圈需要定期进行更换。

2、含氟密封圈和半导体零部件安装时，含氟密封圈安装过松会导致密封效果下降，含氟密封圈安装过紧会使得含氟密封圈形变过大，厚度和强度降低，使得含氟密封圈不能发挥自身的高耐磨强度，因此密封圈安装时需要反复调整压紧的力度，甚至使用工具进行测量，导致作为定期更换耗材的封圈体更换十分的麻烦，更换维护的时间长。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种高耐磨强度的含氟密封圈，以解决含氟密封圈安装过松会导致密封效果下降，含氟密封圈安装过紧会使得含氟密封圈形变过大，厚度和强度降低，使得含氟密封圈不能发挥自身的高耐磨强度，因此密封圈安装时需要反复调整压紧的力度，甚至使用工具进行测量，导致作为定期更换耗材的封圈体更换十分的麻烦，更换维护时间长的问题。

2、本实用新型一种高耐磨强度的含氟密封圈的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

3、一种高耐磨强度的含氟密封圈，包括内密封圈体；所述内密封圈体上部设置有上环体，上环体外侧下部环绕设置有上齿块，上环体下部间隔环绕设置有上限位块，上限位块处于上齿块的间隔处，上环体外侧凸出至内密封圈体的外侧，内密封圈体和上环体和下环体和中圈体均为含氟橡胶材质，内密封圈体下部设置有下环体，下环体外侧上部环绕阵列设置有下齿块，下环体顶部间隔设置有下限位块，下环体外侧凸出至内密封圈体外侧，下环体为中部向外侧逐渐向下倾斜的环形结构，上环体为中部向外侧逐渐向上倾斜的环形结构，上环体和下环体垂直间隔设置，上齿块和下齿块为交错设置，上限位块和下限位块交错设置，上限位块和下限位块均为与上环体底部的斜面和下环体顶部的斜面平行设置，内密封圈体外侧环绕设置有中圈体，中圈体外侧上部和下部均环绕设置有外凹槽，中圈体上部和下部的外凹槽为交错设置，中圈体处于上环体和下环体之间，中圈体与上环体和下环体为不同颜色设置，上限位块和中圈体顶部凹槽滑动连接，下限位块和中圈体底部凹槽滑动连接，上环体和下环体均向中部受力时，中圈体沿着上限位块和下限位块向外侧滑动，外凹槽和上齿块和下齿块嵌入连接，上齿块和下齿块对向移动。

4、本实用新型至少包括以下有益效果：

5、1、本实用新型内密封圈体安装压紧时，上环体和下环体向着内密封圈体的一侧进行变形，上齿块和下齿块对向移动为交错重叠的状态，通过查看上齿块和下齿块上下重叠的状态，控制内密封圈体的压紧受力，使得控制内密封圈体保持合理的压紧受力，保持内密封圈体密封效果的同时避免因压紧力度过大导致过度磨损的情况，使得内密封圈体达到最佳的高耐磨强度使用工况。

6、2、本实用新型上环体和下环体向着内密封圈体的一侧进行变形过程中，上环体和下环体由外侧向上下倾斜转为水平，上环体和下环体共同挤压中圈体向外侧移动变形，外凹槽和上齿块和下齿块进行嵌入，辅助查看对上环体和下环体的压紧力度，结合上齿块和下齿块的位置，双重效果更加方便人员查看对内密封圈体的压紧力度，降低内密封圈体安装至合适压紧力度的难度，降低更换难度，降低更换维护的时间。

7、3、本实用新型中圈体和上环体和下环体为不同颜色，中圈体为背景更容易看清上齿块和下齿块的位置，有利人员的观察内密封圈体压紧力度的情况。

技术特征：

1.一种高耐磨强度的含氟密封圈，其特征在于：高耐磨强度的含氟密封圈包括内密封圈体(1)；所述内密封圈体(1)上部设置有上环体(2)；所述内密封圈体(1)下部设置有下环体(3)；所述内密封圈体(1)外侧环绕设置有中圈体(4)；所述上环体(2)外侧下部环绕设置有上齿块(201)，上环体(2)下部间隔环绕设置有上限位块(202)，上限位块(202)处于上齿块(201)的间隔处，上环体(2)外侧凸出至内密封圈体(1)的外侧。

2.如权利要求1所述一种高耐磨强度的含氟密封圈，其特征在于，所述下环体(3)外侧上部环绕阵列设置有下齿块(301)，下环体(3)顶部间隔设置有下限位块(302)。

3.如权利要求1所述一种高耐磨强度的含氟密封圈，其特征在于，所述下环体(3)外侧凸出至内密封圈体(1)外侧，下环体(3)为中部向外侧逐渐向下倾斜的环形结构。

4.如权利要求1所述一种高耐磨强度的含氟密封圈，其特征在于，所述上环体(2)为中部向外侧逐渐向上倾斜的环形结构，上环体(2)和下环体(3)垂直间隔设置。

5.如权利要求2所述一种高耐磨强度的含氟密封圈，其特征在于，所中圈体(4)外侧上部和下部均环绕设置有外凹槽(401)，中圈体(4)上部和下部的外凹槽(401)为交错设置，中圈体(4)处于上环体(2)和下环体(3)之间，中圈体(4)与上环体(2)和下环体(3)为不同颜色设置。

6.如权利要求2所述一种高耐磨强度的含氟密封圈，其特征在于，所述上齿块(201)和下齿块(301)为交错设置，上限位块(202)和下限位块(302)交错设置，上限位块(202)和下限位块(302)均为与上环体(2)底部的斜面和下环体(3)顶部的斜面平行设置。

7.如权利要求2所述一种高耐磨强度的含氟密封圈，其特征在于，所述上限位块(202)和中圈体(4)顶部凹槽滑动连接，下限位块(302)和中圈体(4)底部凹槽滑动连接。

8.如权利要求5所述一种高耐磨强度的含氟密封圈，其特征在于，所述上环体(2)和下环体(3)均向中部受力时，中圈体(4)沿着上限位块(202)和下限位块(302)向外侧滑动，外凹槽(401)和上齿块(201)和下齿块(301)嵌入连接，上齿块(201)和下齿块(301)对向移动。

技术总结
本技术公开了一种高耐磨强度的含氟密封圈，含氟密封圈技术领域，解决了含氟密封圈安装过紧会使得含氟密封圈不能发挥自身的高耐磨强度，压紧力度不好监测的问题。一种高耐磨强度的含氟密封圈，包括内密封圈体；所述内密封圈体上部设置有上环体；所述内密封圈体下部设置有下环体；所述内密封圈体外侧环绕设置有中圈体；所述上环体外侧下部环绕设置有上齿块，上环体下部间隔环绕设置有上限位块，上限位块处于上齿块的间隔处，上环体外侧凸出至内密封圈体的外侧。本实用上环体和下环体的压紧力度，结合上齿块和下齿块的位置，双重效果更加方便人员查看对内密封圈体的压紧力度，降低内密封圈体安装至合适压紧力度的难度。

技术研发人员：庞晨杰,王华阳
受保护的技术使用者：苏州鑫泓电子科技有限公司
技术研发日：20221215
技术公布日：2024/1/11