一种CVD金刚石涂层设备用隔热真空罩结构的制作方法

本技术属于金刚石涂层设备领域，具体涉及一种cvd金刚石涂层设备用隔热真空罩结构。

背景技术：

1、传统的cvd金刚石涂层设备用的隔热真空罩实用过程中，需要在对上真空罩内外进行较好的隔热的情况下也要起到较好的保温效果，传统均利用材质本身的物理特性或者单纯的降温液进行持续导热，其隔热恒温效果均不加，材质本身受局限而液体导热降温隔热进出口的温度有差异，会影响涂层效果。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种cvd金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，以解决传统的cvd金刚石涂层设备用的隔热真空罩使用过程中，需要在对上真空罩3内外进行较好的隔热的情况下也要起到较好的保温效果，传统均利用材质本身的物理特性或者单纯的降温液进行持续导热，其隔热恒温效果均不加，材质本身受局限而液体导热降温隔热进出口的温度有差异，会影响涂层效果的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种cvd金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，包括基座以及设置于基座上的操作台，还包括设置于基座后侧的电动伸缩设备以及可跟随电动伸缩设备伸缩而上下移动的上真空罩，所述上真空罩上设置有恒温机构；

3、所述恒温机构包括设置于上真空罩上的下真空罩，所述下真空罩上设置有转动组件，所述转动组件外接恒温输液机构；

4、所述转动组件包括设置于下真空罩上下两端的第一环形管道和第二环形管道且均通过密封轴承与下真空罩转动连接，所述第一环形管道和第二环形管道上均开设有开口且两个开口对称开设，所述第一环形管道和第二环形管道之间固定连接有竖杆。

5、优选的，所述第一环形管道顶部设置有中转盒子，所述中转盒子与恒温输液机构相连接。

6、优选的，所述恒温输液机构包括与中转盒子固定连接且相连通的液体输送管，所述液体输送管外接输液泵。

7、优选的，所述第二环形管道外侧加工有轮齿，所述基座上设置有电机且电机的输出轴上固定设置有齿轮与第二环形管道上的轮齿啮合连接。

8、优选的，所述电动伸缩设备与上真空罩之间固定连接有连接杆，所述上真空罩上设置有功能凸管。

9、本实用新型的技术效果和优点：通过第二环形管道利用轮齿与电机啮合连接，利用电机带动第二环形管道转动，而第二环形管道通过竖杆带动第一环形管道转动，并且利用两个对称开设的开口进行进出水，并且随着第一环形管道和第二环形管道的持续转动实现进出水位置的循环变换，使本设备的隔热更加的均匀且效果较好，并且不会出现进出口温度差的情况发生，不会出现涂层不均匀的情况发生。

技术特征：

1.一种cvd金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，包括基座(6)以及设置于基座(6)上的操作台(7)，还包括设置于基座(6)后侧的电动伸缩设备(1)以及可跟随电动伸缩设备(1)伸缩而上下移动的上真空罩(3)，其特征在于：所述上真空罩(3)上设置有恒温机构；

2.根据权利要求1所述的一种cvd金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，其特征在于：所述第一环形管道(901)顶部设置有中转盒子(12)，所述中转盒子(12)与恒温输液机构相连接。

3.根据权利要求1所述的一种cvd金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，其特征在于：所述恒温输液机构包括与中转盒子(12)固定连接且相连通的液体输送管(8)，所述液体输送管(8)外接输液泵。

4.根据权利要求1所述的一种cvd金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，其特征在于：所述第二环形管道(902)外侧加工有轮齿(10)，所述基座(6)上设置有电机(5)且电机(5)的输出轴上固定设置有齿轮与第二环形管道(902)上的轮齿(10)啮合连接。

5.根据权利要求1所述的一种cvd金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，其特征在于：所述电动伸缩设备(1)与上真空罩(3)之间固定连接有连接杆(2)，所述上真空罩(3)上设置有功能凸管(4)。

技术总结
本技术公开了一种CVD金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，包括基座以及设置于基座上的操作台，还包括设置于基座后侧的电动伸缩设备以及可跟随电动伸缩设备伸缩而上下移动的上真空罩，所述上真空罩上设置有恒温机构，通过第二环形管道利用轮齿与电机啮合连接，利用电机带动第二环形管道转动，而第二环形管道通过竖杆带动第一环形管道转动，并且利用两个对称开设的开口进行进出水，并且随着第一环形管道和第二环形管道的持续转动实现进出水位置的循环变换，使本设备的隔热更加的均匀且效果较好，并且不会出现进出口温度差的情况发生，不会出现涂层不均匀的情况发生。

技术研发人员：梁根河
受保护的技术使用者：上海迪那科膜技术有限公司
技术研发日：20221220
技术公布日：2024/1/13