用于真空密封地封闭壁上的开口的封闭装置的阀板的制作方法

本发明涉及一种用于真空密封地封闭壁上的开口的封闭装置的阀板，其中，该阀板在其前侧具有用来相对于壁密封的密封圈，并且在其后侧具有用于与封闭装置的阀杆连接的凹陷。此外，本发明涉及一种具有这种阀板的封闭装置，该阀板与封闭装置的阀杆连接。

背景技术：

1、用于真空密封地封闭壁中的开口的封闭装置可以特别设计为真空阀的形式，该真空阀具有阀壳体，阀板布置在该阀壳体中。阀壳体的壁之一具有能够被阀板封闭的开口，在阀壳体的另一壁中存在另一开口，以在真空阀的打开状态下形成穿过阀壳体的通道。设计用于真空密封地封闭壁中的开口的封闭装置的另一种可能性在于真空门，由该真空门将真空室中的开口相对于围绕真空室的外部空间封闭(其中，真空门也可以视为真空阀的一种)。在这里，能由阀板封闭的开口可以直接布置在真空室的壁中，在该壁上安置有封闭装置。那么壁就不是封闭装置的一部分。

2、真空阀和真空门可能需要不时地维护阀板，特别是由于设置在其上的密封圈的磨损，用来相对于设置在壁上的密封面密封。特别是当使用腐蚀性工艺气体时，例如在半导体工业中使用这些工艺气体，这种磨损相对较高。为了维护阀板，必须能够将其从阀杆上拆下。为此，阀杆和阀板之间通常设有螺纹连接。

3、于是，ep 0 453 857 b1示出了一种真空阀，其中，连接装置被拧到阀板的背面上，阀板通过该连接装置与阀杆连接。连接装置既可绕平行于阀板纵向延伸的轴线移动，又可绕垂直于阀板纵向延伸的轴线移动，以便尽管在真空阀的关闭状态下存在公差，但仍实现设置在阀板前侧的弹性密封圈的均匀压缩。

4、从以前的使用中还已知一种角阀形式的真空阀，其中，阀杆的一端具有外螺纹，利用该外螺纹将阀杆直接旋入形成在阀板后侧上的盲螺纹孔中。在这里，阀板不能相对阀杆移动。

5、在us7,134,642b2和us3,837,617中公开了在阀板和阀杆之间的允许阀板相对于阀杆移动的其他连接装置。其中所示的阀板在其窄侧之一上具有开口，以便容纳阀杆的端部和/或连接装置的部件。

6、在工业上进行的真空过程中，通常希望所使用的真空组件将尽可能少的颗粒释放到真空中，以免损害真空过程的质量。然而，在部件以滑动方式彼此相对移动的情况下，会产生并释放许多颗粒。

技术实现思路

1、本发明的目的是，提供一种开头提到的类型的有利的阀板，其能够以简单的方式且可靠地与阀杆连接，且可从阀杆移除，其中，该连接能够直接利用阀杆进行，或通过与阀杆连接的连接装置进行。根据本发明，这通过具有权利要求1的特征的阀板来实现。

2、在根据本发明的阀板中，布置在阀板的与前侧相对的后侧上的凹陷，至少在凹陷的两个相对侧壁的区域中，分别连接上加宽部。在阀板中为每个存在的加宽部构造有螺纹孔，该螺纹孔在相应加宽部的侧壁上通入加宽部。通过相应的保持螺栓——保持螺栓旋入相应螺纹孔中并且以端部部分从螺纹孔突伸到加宽部中，阀板可与阀杆连接，确切地说，通过相应的保持螺栓的端部部分与凹槽的配合作用而连接，凹槽设置在连接部件上，该连接部件与阀杆的端部连接或者在阀杆的端部与其一体地构造。为了从阀杆松开阀板，保持螺栓因而可被拧紧至一定程度，使得其端部部分与所述的或相应的凹槽脱离接合。

3、有利地，阀板中的所述螺纹孔平行于阀板所在的平面延伸。特别地，它们布置成与阀板的纵向延伸部成大于45°的角度，优选地成90°的角度。

4、有益地，凹陷的加宽部在平行于阀板所在平面的所有方向上测量的尺寸小于凹陷的(没有这些加宽部)在对应方向上测量的尺寸。从阀板的凹陷开始，加宽部优选地沿彼此远离的方向延伸，这些方向平行于阀板的纵向延伸部。

5、有利地，阀板具有围绕带有加宽部的凹陷的密封面或这种密封件。因此，通过该密封面或密封件，可以实现在阀板和连接件之间的密封，该连接件与阀杆的端部连接，或者在阀杆的端部与其一体地形成，至少一个连接部件从该连接件突出。具有加宽部的凹陷的内部空间因此可以相对于周围空间密封，该周围空间例如是阀壳体的内部空间。如果在布置于阀板的凹陷中的那些部件之间的相对滑动运动期间形成颗粒，则可以通过密封件来防止这些颗粒从该内部空间逸出。

6、根据本发明的封闭装置具有根据本发明的阀板，该阀板与封闭装置的阀杆连接，其中，保持螺栓接合到布置在至少一个连接部件上的至少一个凹槽中。

7、优选地，至少一个连接部件从连接件突出，该连接件可松开地与阀杆的端部连接。特别地，可以在连接件和阀杆之间提供活动性。连接件因此可以是布置在阀板和阀杆之间的连接装置的一部分。然而，原则上，连接件与阀杆的端部一体地构造也是可以想象和可能的。

8、连接件有利地具有突伸到阀板的凹陷中的突伸部，其中，在突伸部和阀板之间形成有抗扭转。这尤其可以通过以下方式实现：连接件的突伸部具有不同于圆形形状的外围轮廓，该外围轮廓与凹陷的对应外围轮廓配合作用。

9、相应的保持螺栓的端部部分伸入所述的或相应的凹槽中，该凹槽有利地具有(在平行于相应的保持螺栓的纵向延伸并穿过其纵向中心轴线延伸的截面中观察)倾斜面，该倾斜面与相应的保持螺栓的锥形会聚的端部部分配合作用。结果，当保持螺栓与至少一个连接件连接时，连接件被压靠在阀板上。由此产生稳定的连接，其中，连接件和阀板之间的环形密封件也能够被压缩，该密封件围绕具有加宽部的凹陷。

技术特征：

1.一种用于真空密封地封闭壁(3)上的开口(2)的封闭装置的阀板，其中，所述阀板(1)在其前侧具有用来相对于所述壁(3)密封的密封圈(8)，并且在其后侧具有用于与所述封闭装置的阀杆(4)的连接的凹陷(29)，其特征在于，布置在所述阀板(1)的后侧上的所述凹陷(29)，至少在所述凹陷(29)的两个相对侧壁的区域中，分别连接上加宽部(30)，对于相应的加宽部(30)存在有螺纹孔(31)，该螺纹孔在相应的所述加宽部(30)的侧壁上通入所述加宽部(30)，其中，借助相应的保持螺栓(39)通过所述保持螺栓(39)的端部部分与凹槽(32a)的配合作用，所述阀杆(4)能与所述阀板(1)连接，其中所述保持螺栓旋入相应的所述螺纹孔(31)中并且以端部部分从所述螺纹孔(31)突伸到所述加宽部(30)中，所述凹槽设置在连接部件(32)上，该连接部件与所述阀杆(4)的端部连接或者在所述阀杆(4)的端部与其一体地构造。

2.根据权利要求1所述的阀板，其特征在于，所述螺纹孔(31)平行于所述阀板(1)所在的平面(14)延伸。

3.根据权利要求1或2所述的阀板，其特征在于，所述螺纹孔(31)各自布置成与所述阀板(1)的纵向延伸部成大于45°的角度。

4.根据权利要求3所述的阀板，其特征在于，所述螺纹孔(31)各自布置成与所述阀板(1)的纵向延伸部成90°的角度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的阀板，其特征在于，所述加宽部(30)的在平行于所述阀板(1)所在平面(14)的所有方向上的尺寸小于所述凹陷(29)的在对应方向上没有所述加宽部(30)的尺寸。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的阀板，其特征在于，所述加宽部(30)从所述阀板(1)中的凹陷(29)开始沿彼此远离的方向延伸，所述方向平行于所述阀板(1)的纵向延伸。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的阀板，其特征在于，所述阀板(1)具有围绕带有所述加宽部(30)的所述凹陷(29)的密封面(34)或密封件用于在所述阀板(1)与连接件(17a)之间的密封，所述连接件(17a)安置在所述阀杆(4)的端部上或者在所述阀杆(4)的端部上与其一体地构造，至少一个连接部件(32)从所述连接件(17a)突出。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的阀板，其特征在于，带有所述加宽部(30)的所述凹陷(29)布置在所述阀板(1)的在所述阀板(1)的背面上突出的部分(1a)中。

9.一种具有根据权利要求1至8中任一项所述的阀板(1)的封闭装置，所述阀板与所述封闭装置的阀杆(4)连接，其中，所述保持螺栓(39)接合到布置在至少一个连接部件(32)上的至少一个所述凹槽(32a)中。

10.根据权利要求9所述的封闭装置，其特征在于，连接件(17a)可拆卸地与所述阀杆(4)的端部连接或者在所述阀杆(4)的端部与其形成为一体，并且至少一个连接部件(32)从所述连接件(17a)突出。

11.根据权利要求10所述的封闭装置，其特征在于，所述连接件(17a)具有突伸部(17e)，所述突伸部伸入所述阀板(1)的凹陷(29)中，并且通过不同于圆形形状的外周轮廓被固定以防止相对于所述阀板(1)旋转，所述外周轮廓与所述凹陷(29)的对应的外围轮廓配合作用。

12.根据权利要求10或11所述的封闭装置，其特征在于，所述至少一个凹槽(32a)具有倾斜面，所述保持螺栓(39)的端部部分接合到所述至少一个凹槽中，该倾斜面与相应的保持螺栓(39)的锥形会聚的端部部分配合作用，其中，当所述保持螺栓(39)与所述至少一个连接部件(32)连接时，所述连接件(17a)压靠到所述阀板(1)上。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的封闭装置，其特征在于，所述连接件(17a)在围绕带有所述加宽部(30)的所述凹陷(29)的区域中通过环形密封件(33)相对于所述阀板(1)密封。

14.根据权利要求10至13中任一项所述的封闭装置，其特征在于，对于在所述阀板(1)中的所述凹陷(29)的相应加宽部(30)，存在相应的连接部件(32)，所述连接部件具有从所述连接件(17a)突出的柄部，所述柄部由相应的凹槽(32a)以环形方式包围，相应的所述保持螺栓(39)的端部部分伸入所述凹槽中。

15.根据权利要求10至14中任一项所述的封闭装置，其特征在于，所述连接件(17a)可移动地与所述阀杆(4)连接。

技术总结
一种用于真空密封地封闭壁(3)上的开口(2)的封闭装置的阀板，所述阀板(1)在其前侧具有用来相对于所述壁(3)密封的密封圈(8)，并且在其后侧具有用于与所述封闭装置的阀杆(4)连接的凹陷(29)。布置在所述阀板(1)的后侧上的所述凹陷(29)，至少在所述凹陷(29)的两个相对侧壁的区域中，分别连接上加宽部(30)。对于相应的加宽部(30)存在有螺纹孔(31)，该螺纹孔在相应的所述加宽部(30)的侧壁上通入所述加宽部(30)，其中，通过相应的保持螺栓(39)—所述保持螺栓旋入相应的所述螺纹孔(31)中并且以端部部分从所述螺纹孔(31)突伸到所述加宽部(30)中，通过所述保持螺栓(39)的端部部分与凹槽(32a)的配合作用，所述阀杆(4)可与所述阀板(1)连接，所述凹槽设置在连接部件(32)上，该连接部件与所述阀杆(4)的端部连接或者在所述阀杆(4)的端部与其一体地构造。

技术研发人员：菲比安·布切尔,菲利普·沃尔文德
受保护的技术使用者：VAT控股公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15