阀门机构、门阀装置及光伏电池生产设备的制作方法

本发明涉及光伏电池生产设备，尤其涉及一种阀门机构、门阀装置及光伏电池生产设备。

背景技术：

1、相关技术中，光伏电池生产常用到板式生产设备，具体为多个不同功能的板式处理室连接在一起，每个处理室通入的反应气体、功能是不同的。为隔绝各个处理室之间气体互串，同时不影响硅片载板从一个处理室进入另一个处理室，就需要一种能开闭的门阀装置，装在各处理室之间或处理室最外侧，按系统要求进行开闭动作。

2、目前一般通过电机减速器驱动门阀装置中阀门的开闭动作，由于减速器一般需要油润滑，而门阀装置一般需要在无油环境下工作，导致维护减速器的工艺流程繁琐，对光伏电池的生产效率有所影响，且门阀装置的使用寿命要求较高，一般需要运行百万次以上，而电机减速器的运转速度较快，其高速运行部件需要承受运转次数较多，造成其使用寿命短，进而影响整体门阀装置的使用寿命。

技术实现思路

1、本发明提供一种阀门机构、门阀装置及光伏电池生产设备，旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。

2、本发明提供一种阀门机构，包括：

3、阀门，用于封堵门阀装置腔室的阀开口；

4、翻转机构，用于与所述腔室转动配合，所述翻转机构与所述阀门相连接，所述翻转机构能够相对于所述腔室转动，以使所述阀门能够封堵或脱离所述阀开口；

5、气缸；

6、传动机构，包括与所述气缸的活塞杆相连接的齿条、与所述齿条相啮合的齿轮以及与所述齿轮相连接的第一传动轴，所述第一传动轴与所述齿轮的中轴线重合，且所述第一传动轴与所述翻转机构相连接；

7、其中，通过所述第一传动轴沿其中轴线转动，以使所述翻转机构能够相对于所述腔室转动。

8、根据本发明提供的一种阀门机构，还包括壳体，所述壳体包括通过一过渡口相连通的第一腔体和第二腔体，所述齿轮和所述第一传动轴均设置于所述第一腔体内，且所述第一传动轴贯穿所述壳体，所述齿条设置于所述第二腔体内，所述齿条与所述齿轮的啮合位置在所述过渡口处。

9、根据本发明提供的一种阀门机构，还包括设置于所述第二腔体内的导向套，所述导向套上设有与所述过渡口相连通的过孔，所述齿条设置于所述导向套内，且所述齿条的无齿侧与所述导向套摩擦接触。

10、根据本发明提供的一种阀门机构，所述腔室的侧壁贯穿设有安装孔，所述第一传动轴用于贯穿所述安装孔并伸入至所述腔室内部，所述第一传动轴与所述安装孔之间通过磁流体密封。

11、根据本发明提供的一种阀门机构，所述翻转机构包括：

12、第二传动轴，与所述第一传动轴相连接，通过所述第一传动轴沿其中轴线转动，以使所述第二传动轴能够沿其中轴线转动；

13、翻转臂，用于与所述腔室转动配合，且与所述阀门相连接；

14、驱动臂，与所述第二传动轴相连接；

15、连杆臂，一端与所述驱动臂转动连接，另一端与所述翻转臂转动连接。

16、根据本发明提供的一种阀门机构，当所述阀门封堵所述阀开口时，所述驱动臂与所述连杆臂之间具有夹角。

17、根据本发明提供的一种阀门机构，还包括基板以及设置于所述基板上的支撑件，所述基板用于设置于所述腔室内，所述第二传动轴设置于所述支撑件上，所述翻转臂背离所述阀门的一端与所述支撑件转动连接。

18、根据本发明提供的一种阀门机构，还包括用于对所述气缸供气的气路机构，所述气缸以及所述传动机构的数量均为两个，其中一所述气缸和所述传动机构位于所述第二传动轴的一侧，另一所述气缸和所述传动机构位于所述第二传动轴的另一侧，两所述第一传动轴分别与所述第二传动轴的两端相连接，两所述气缸分别通过供气通路与所述气路机构相连接。

19、本发明还提供一种门阀装置，包括：

20、腔室，包括至少两个阀开口；

21、上述的阀门机构，所述第一传动轴贯穿并伸入至所述腔室内，且与所述翻转机构相连接，所述翻转机构与所述腔室转动配合，其中，通过所述翻转机构相对于所述腔室转动，以使所述阀门能够封堵其中一个所述阀开口。

22、本发明还提供一种光伏电池生产设备，包括：

23、多个处理室；

24、上述的门阀装置，所述腔室与所述处理室相连接，且所述腔室的至少一个阀开口与所述处理室相连通。

25、本发明提供的一种阀门机构、门阀装置及光伏电池生产设备，通过气缸的活塞杆能够带动齿条做直线运动，进而带动齿轮旋转，则使第一传动轴能够带动翻转机构相对于腔室转动，由翻转机构带动阀门封堵或脱离腔室的阀开口，本发明采用气缸配合该传动机构控制阀门的开闭动作，相较于现有技术中电机减速器因其高速运行部件需要承受运转次数较多、造成其使用寿命短的缺陷而言，本发明采用的气缸及传动机构组成的驱动装置使用寿命高，能够满足门阀装置百万次以上的运转，且无需采用油润滑进行维护，不影响门阀装置的无油工作环境，降低了维护难度，提高了光伏电池的生产效率。

技术特征：

1.一种阀门机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的阀门机构，其特征在于，还包括壳体(8)，所述壳体(8)包括通过过渡口相连通的第一腔体和第二腔体，所述齿轮(6)和所述第一传动轴(7)均设置于所述第一腔体内，且所述第一传动轴(7)贯穿所述壳体(8)，所述齿条(5)设置于所述第二腔体内，所述齿条(5)与所述齿轮(6)的啮合位置在所述过渡口处。

3.根据权利要求2所述的阀门机构，其特征在于，还包括设置于所述第二腔体内的导向套(9)，所述导向套(9)上设有与所述过渡口相连通的过孔，所述齿条(5)设置于所述导向套(9)内，且所述齿条(5)的无齿侧与所述导向套(9)摩擦接触。

4.根据权利要求1所述的阀门机构，其特征在于，所述腔室(2)的侧壁贯穿设有安装孔，所述第一传动轴(7)用于贯穿所述安装孔并伸入至所述腔室(2)内部，所述第一传动轴(7)与所述安装孔之间通过磁流体密封。

5.根据权利要求1-4任一项所述的阀门机构，其特征在于，所述翻转机构包括：

6.根据权利要求5所述的阀门机构，其特征在于，当所述阀门(1)封堵所述阀开口(3)时，所述驱动臂(12)与所述连杆臂(13)之间具有夹角。

7.根据权利要求5所述的阀门机构，其特征在于，还包括基板(14)以及设置于所述基板(14)上的支撑件(15)，所述基板(14)用于设置于所述腔室(2)内，所述第二传动轴(10)设置于所述支撑件(15)上，所述翻转臂(11)背离所述阀门(1)的一端与所述支撑件(15)转动连接。

8.根据权利要求5所述的阀门机构，其特征在于，还包括用于对所述气缸(4)供气的气路机构(16)，所述气缸(4)以及所述传动机构的数量均为两个，其中一所述气缸(4)和所述传动机构位于所述第二传动轴(10)的一侧，另一所述气缸(4)和所述传动机构位于所述第二传动轴(10)的另一侧，两所述第一传动轴(7)分别与所述第二传动轴(10)的两端相连接，两所述气缸(4)分别通过供气通路与所述气路机构(16)相连接。

9.一种门阀装置，其特征在于，包括：

10.一种光伏电池生产设备，其特征在于，包括：

技术总结
本发明涉及光伏电池生产设备技术领域，提供一种阀门机构、门阀装置及光伏电池生产设备，包括阀门，其用于封堵门阀装置腔室的阀开口；翻转机构用于与腔室转动配合，翻转机构与阀门相连接，翻转机构能够相对于腔室转动，以使阀门能够封堵或脱离阀开口；传动机构包括与气缸的活塞杆相连接的齿条、与齿条相啮合的齿轮以及与齿轮相连接的第一传动轴，第一传动轴与翻转机构相连接。本发明采用气缸配合该传动机构控制阀门的开闭动作，相较于现有技术而言使用寿命高，能够满足门阀装置百万次以上的运转，且无需采用油润滑进行维护，不影响门阀装置的无油工作环境，降低了维护难度，提高了光伏电池的生产效率。

技术研发人员：刘松超,谭侨侨,卢周顺
受保护的技术使用者：三一硅能（株洲）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13