一种应用高分子膜片结构的单向流控部件的制作方法

本发明涉及阀门，更具体的说是涉及一种应用高分子膜片结构的单向流控部件。

背景技术：

1、单向流控部件如单向阀是一种只允许流体介质沿着一个方向流动的阀门，当单向阀上游压力高于下游压力一定值时阀门开启，当下游压力高于上游压力一定值时阀门关闭。半导体行业中所使用的单向阀要求开启压力小，使用时间长、开启次数高、可靠性强等特点。而现有半导体行业中所使用的单向阀中往往设置有便于阀芯复位的弹簧，而弹簧常常因具有腐蚀性的特气而被腐蚀，腐蚀后的弹簧会产生颗粒状异物，进而会污染高纯介质，不符合半导体行业中超洁净的要求。

2、因此，如何提供一种可以达到无颗粒污染，符合超洁净的要求，适合半导体行业需求的应用高分子膜片结构的单向流控部件是本领域技术人员亟需解决的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种可以达到无颗粒污染，符合超洁净的要求，适合半导体行业需求的应用高分子膜片结构的单向流控部件。

2、为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

3、一种应用高分子膜片结构的单向流控部件，包括：

4、阀体，所述阀体内部具有进气通道、出气通道和阀芯安装槽，所述进气通道的第一末端通道口位于所述阀芯安装槽的槽底面上，所述出气通道的第二末端通道口位于所述阀芯安装槽的一侧壁上；

5、阀芯，所述阀芯固定在所述阀芯安装槽内部，所述阀芯的一侧壁开设有与所述第二末端通道口连通的第一气体通道，所述阀芯底端与所述阀芯安装槽底端面之间间隔布置，且二者的空隙形成第二气体通道，所述第一末端通道口与所述第二气体通道连通，所述阀芯底端面上开设有与所述第一气体通道连通的安置槽；

6、隔膜，所述隔膜顶部置于所述安置槽中且可在所述安置槽中上下移动，所述隔膜底端面上具有一体成型的可与所述阀芯安装槽的槽底面密封接触，用于连通或关闭所述第二气体通道和所述第二末端通道口的密封凸缘。

7、经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本发明公开提供了一种应用高分子膜片结构的单向流控部件，当气体从进气通道进入时，进口压力大于出口压力，隔膜在气流压力作用下向上移动，从而使得密封凸缘不再与阀芯安装槽的槽底面接触，即打开第二气体通道和第二末端通道口，使第二气体通道内的气体经过出气通道流出；当气体从出气通道进入时，气体进入到第一气体通道，并向下推动隔膜，使得密封凸缘与阀芯安装槽的槽底面再次密封接触，即阻断了第二气体通道和第二末端通道口，从而实现单向打开，反向逆止的功能。因此，该单向流控部件中无弹簧可以达到无颗粒污染，符合超洁净的要求，适合半导体行业的需求；并且密封凸缘与阀芯安装槽的槽底面的接触属于线接触，比平面接触更可靠；同时，该单向流控部件可靠性强，反应灵敏，结构简单，使用方便，可以快速实现对气路的开启和关闭。

8、进一步的，所述阀芯上位于所述安置槽的槽口位置具有第一抵接面，所述隔膜上对应所述第一抵接面的位置具有第二抵接面，所述第二抵接面上设有膜片，所述膜片将所述第一抵接面与所述第二抵接面分隔开。

9、采用上述技术方案产生的有益效果是：避免隔膜与硬的金属阀芯直接接触起到缓冲保护的作用，从而可以延长隔膜的使用寿命。

10、进一步的，所述第一末端通道口的形状为向所述第二气体通道扩口的喇叭口状。

11、采用上述技术方案产生的有益效果是：由于第一末端通道口的通径增大，气体流速会减慢，可减少气体对隔膜的冲击，减少局部应力，可延长隔膜的使用寿命，同时流量也会相应的增大，提高气体的流量。

12、进一步的，所述隔膜为橡胶材质。

13、采用上述技术方案产生的有益效果是：弹性系数小，从而很小的压力差就可以实现单向流控部件的开启和关闭。

14、进一步的，所述阀芯通过固定螺帽压固定在所述阀芯安装槽上。

15、进一步的，所述阀芯顶部向上穿出所述阀芯安装槽，所述阀芯顶部外壁上具有止挡凸缘，所述固定螺帽套设在所述阀芯顶部，所述固定螺帽的内顶面与所述止挡凸缘顶端面压接。

16、采用上述技术方案产生的有益效果是：阀芯通过固定螺帽即可安装在阀体上，易于阀芯的拆装、更换操作。

17、进一步的，所述阀芯安装槽顶部的内壁上具有止挡凸台，所述止挡凸台和所述止挡凸缘之间压接有垫片。

18、采用上述技术方案产生的有益效果是：垫片可提高止挡凸台和止挡凸缘之间的挤压力，提高阀芯安装的稳固性。

技术特征：

1.一种应用高分子膜片结构的单向流控部件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种应用高分子膜片结构的单向流控部件，其特征在于，所述阀芯(2)上位于所述安置槽(23)的槽口位置具有第一抵接面(24)，所述隔膜(3)上对应所述第一抵接面(24)的位置具有第二抵接面(32)，所述第二抵接面(32)上设有膜片(4)，所述膜片(4)将所述第一抵接面(24)与所述第二抵接面(32)分隔开。

3.根据权利要求1或2所述的一种应用高分子膜片结构的单向流控部件，其特征在于，所述第一末端通道口(111)的形状为向所述第二气体通道(22)扩口的喇叭口状。

4.根据权利要求1或2所述的一种应用高分子膜片结构的单向流控部件，其特征在于，所述隔膜(3)为橡胶材质。

5.根据权利要求1或2所述的一种应用高分子膜片结构的单向流控部件，其特征在于，所述阀芯(2)通过固定螺帽(5)压固定在所述阀芯安装槽(13)上。

6.根据权利要求5所述的一种应用高分子膜片结构的单向流控部件，其特征在于，所述阀芯(2)顶部向上穿出所述阀芯安装槽(13)，所述阀芯(2)顶部外壁上具有止挡凸缘(25)，所述固定螺帽(5)套设在所述阀芯(2)顶部，所述固定螺帽(5)的内顶面与所述止挡凸缘(25)顶端面压接。

7.根据权利要求6所述的一种应用高分子膜片结构的单向流控部件，其特征在于，所述阀芯安装槽(13)顶部的内壁上具有止挡凸台(131)，所述止挡凸台(131)和所述止挡凸缘(25)之间压接有垫片(6)。

技术总结
本发明公开了一种应用高分子膜片结构的单向流控部件，包括：阀体，其内部具有进气通道、出气通道和阀芯安装槽，进气通道的第一末端通道口位于阀芯安装槽的槽底面上，出气通道的第二末端通道口位于阀芯安装槽的一侧壁上；阀芯，其固定在阀芯安装槽内部，阀芯的一侧壁开设有与第二末端通道口连通的第一气体通道，阀芯底端与阀芯安装槽底端面形成第二气体通道，第一末端通道口与第二气体通道连通，阀芯底端面上开设有与第一气体通道连通的安置槽；隔膜，其置于安置槽中，隔膜底端面上具有可与阀芯安装槽的槽底面密封接触的密封凸缘。该单向流控部件中无弹簧可以达到无颗粒污染，符合超洁净的要求，适合半导体行业的需求。

技术研发人员：段如锁,杨宗明,张荣耀
受保护的技术使用者：星奇（上海）半导体有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15