一种滚动脚杯的制作方法

本技术涉及可移动式脚杯，尤其是一种滚动脚杯。

背景技术：

1、现有的机械脚杯只具有高度调节与支撑功能，在设备需要移动的情况下需要在设备底部设置机械脚杯以及滚动脚轮，由于需要预留机械脚杯与滚动脚轮之间的安全距离，在设备空间受限的情况下可能无法安装滚动脚轮。

2、另外，在安装调试过程中，以半导体设备真空腔体机架与晶圆传送平台对接为例，在真空腔体机架底部安装了机械脚杯与滚动脚轮，需要先调整滚动脚轮高度，使真空腔体机架与晶圆传送平台对接后，再调整机械脚杯与地面接触，最后调整滚动脚轮脱离地面，使机械脚杯承担支撑力，安装调试过程较为复杂。

技术实现思路

1、为解决现有技术中的至少一个技术问题，本实用新型实施例提供一种滚动脚杯，结构紧凑占用空间小，且安装调试较为容易。为实现以上技术目的，本实用新型实施例采用的技术方案是：

2、本实用新型实施例提供了一种滚动脚杯，包括：

3、脚杯撑脚，用于支撑于地面；所述脚杯撑脚设有一内空间；

4、脚轮组件，用于脚杯撑脚脱离地面时进行行走；所述脚轮组件包括轮座、滚动球头、连杆；所述滚动球头装配于轮座中并共同位于脚杯撑脚的内空间，所述轮座的顶端与连杆的下端连接；所述连杆伸出脚杯撑脚的顶部，连杆2的上端用于连接机架并能够调节机架的高度；

5、高度调节件，安装在所述连杆上，用于调节脚杯撑脚相对于滚动球头的高度；

6、弹性支撑件，安装在脚杯撑脚的内空间中，一端与脚杯撑脚顶端设置的内台阶相抵，另一端与轮座顶端相抵。

7、进一步地，所述滚动脚杯还包括锁紧件，所述锁紧件安装在连杆上，用于将连杆与机架进行锁定。

8、进一步地，所述锁紧件为锁紧螺母，所述连杆为螺杆。

9、进一步地，所述连杆上设有扳手位。

10、进一步地，所述高度调节件为调节螺母。

11、进一步地，所述滚动脚杯还包括垫片，所述垫片套设在连杆上，位于高度调节件与脚杯撑脚顶部之间。

12、进一步地，所述弹性支撑件为支撑弹簧，套设在连杆下段。

13、进一步地，所述轮座的顶端设有环形槽，用于限制弹性支撑件的水平移动。

14、进一步地，所述脚杯撑脚底部具有沿地面方向延伸的扩展部。

15、本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

16、1）结构紧凑占用空间小，降低了设备安装的空间要求。

17、2）安装调试方便，提高了安装调试效率。

18、3）能够稳固地支撑于地面，使得安装的设备稳定。

技术特征：

1.一种滚动脚杯，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的滚动脚杯，其特征在于，

3.如权利要求2所述的滚动脚杯，其特征在于，

4.如权利要求3所述的滚动脚杯，其特征在于，

5.如权利要求1～4中任一项所述的滚动脚杯，其特征在于，

6.如权利要求1～4中任一项所述的滚动脚杯，其特征在于，

7.如权利要求1～4中任一项所述的滚动脚杯，其特征在于，

8.如权利要求7所述的滚动脚杯，其特征在于，

9.如权利要求1～4中任一项所述的滚动脚杯，其特征在于，

技术总结
本技术提供一种滚动脚杯，包括：脚杯撑脚，用于支撑于地面；所述脚杯撑脚设有一内空间；脚轮组件，用于脚杯撑脚脱离地面时进行行走；所述脚轮组件包括轮座、滚动球头、连杆；所述滚动球头装配于轮座中并共同位于脚杯撑脚的内空间，所述轮座的顶端与连杆的下端连接；所述连杆伸出脚杯撑脚的顶部，连杆的上端用于连接机架并能够调节机架的高度；高度调节件，安装在所述连杆上，用于调节脚杯撑脚相对于滚动球头的高度；弹性支撑件，安装在脚杯撑脚的内空间中，一端与脚杯撑脚顶端设置的内台阶相抵，另一端与轮座顶端相抵。本技术提供的滚动脚杯结构紧凑，安装调试方便。

技术研发人员：范雄,田文康,王兆丰
受保护的技术使用者：无锡尚积半导体科技有限公司
技术研发日：20230412
技术公布日：2024/1/12