一种半导体尾气管道不锈钢止回阀的制作方法

本技术涉及半导体设备，具体为一种半导体尾气管道不锈钢止回阀。

背景技术：

1、在泛半导体行业生产过程中，大量使用化学品和特殊气体，生产环节持续产生大量有毒有害气体的工艺废气，工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，废气处理设备是生产工艺中不可分割的组成部分，其安全稳定性直接关系到产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境。

2、现有的半导体管道有如下缺陷：

3、现有半导体管道在使用时，进气口内的气流会产生逆流的情况发生，当气体逆流后，逆流的气体会导致管路高温危险，进一步影响工作人员使用。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体尾气管道不锈钢止回阀，解决了现有半导体管道在使用时，进气口内的气流会产生逆流的情况发生，当气体逆流后，逆流的气体会导致管路高温危险，进一步影响工作人员使用的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种半导体尾气管道不锈钢止回阀，包括装置本体，所述装置本体，所述装置本体包括中间腔、上盖、下盖和管路止回装置，所述上盖安装在中间腔顶部，所述下盖安装在中间腔底部，所述管路止回装置安装在中间腔内部；

5、优选的，所述管路止回装置包括安装块、止回块和密封板，所述止回块安装在安装块顶部，所述安装块和止回块均呈圆环状结构，所述密封板呈圆形结构，所述密封板安装在安装块内侧。

6、优选的，所述上盖顶部设有上进气管，所述下盖底部设有下进气管，所述上进气管顶部和下进气管底部均设有安装环，所述安装环内侧设有安装凹槽。

7、优选的，所述上盖底部和下盖顶部均设有密封垫片，所述密封垫片为橡胶材质，所述，上盖和下盖表面外侧设有若干组呈环状等距方式分布的固定螺栓。

8、(三)有益效果

9、本实用新型提供了一种半导体尾气管道不锈钢止回阀。具备以下有益效果：

10、该种半导体尾气管道不锈钢止回阀内部中间用密封板隔开；在设备进口、出口都可安装，装在进气口更加有效的避免气体逆流引起管路高温危险；上盖加工有导流管，当有气体逆流返回时，通过导流管导向，将气体直接施压到密封板上，使密封更迅速，效果更佳，相比传统的技术，本实用新型通过逆止挡板的设计，结构更简单，动作更可靠，可以做到有效密封，避免磨损，该种半导体尾气管道不锈钢止回阀适用性强，可以更改进出口连接方式进而应用在走水管路中。

技术特征：

1.一种半导体尾气管道不锈钢止回阀，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)，所述装置本体(1)包括中间腔(2)、上盖(3)、下盖(4)和管路止回装置(5)，所述上盖(3)安装在中间腔(2)顶部，所述下盖(4)安装在中间腔(2)底部，所述管路止回装置(5)安装在中间腔(2)内部；

2.根据权利要求1所述的一种半导体尾气管道不锈钢止回阀，其特征在于：所述上盖(3)顶部设有上进气管(9)，所述下盖(4)底部设有下进气管(10)，所述上进气管(9)顶部和下进气管(10)底部均设有安装环(11)，所述安装环(11)内侧设有安装凹槽(12)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体尾气管道不锈钢止回阀，其特征在于：所述上盖(3)底部和下盖(4)顶部均设有密封垫片(14)，所述密封垫片(14)为橡胶材质，所述，上盖(3)和下盖(4)表面外侧设有若干组呈环状等距方式分布的固定螺栓(13)。

技术总结
本技术公开了一种半导体尾气管道不锈钢止回阀，包括装置本体，所述装置本体，所述装置本体包括中间腔、上盖、下盖和管路止回装置，所述上盖安装在中间腔顶部，所述下盖安装在中间腔底部，所述管路止回装置安装在中间腔内部；所述管路止回装置包括安装块、止回块和密封板，所述止回块安装在安装块顶部，所述安装块和止回块均呈圆环状结构，所述密封板呈圆形结构，所述密封板安装在安装块内侧。该种半导体尾气管道不锈钢止回阀可以有效的避免气体逆流引起管路高温危险，通过导流管导向，将气体直接施压到密封板上，使密封更迅速，效果更佳。

技术研发人员：崔汉博,崔汉宽
受保护的技术使用者：上海高笙集成电路设备有限公司
技术研发日：20230413
技术公布日：2024/1/13