气体平衡调整阀的制作方法

本技术属于真空设备，具体涉及气体平衡调整阀。

背景技术：

1、气压调节阀是用于气动系统中，对气相沉积工艺中的载气进行减压稳压、流量调节的部件，其作用是对气源压力和流量进行自动调节，以保持系统压力在设定条件下的稳定性和流量的恒定性。

2、在气相沉积系统和新型材料如石墨烯、碳管、mos2、复合稀土材料等新材料的制备以及新材料的热处理中，往往需要提供稳定气流、可控恒压的高温环境，对于气压控制目前市面主流设备都采用了，小孔径，刚性平面阀体，它具有调整范围小，反应迟钝，气压波动大等缺陷，很难满足需求。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供气体平衡调整阀，具备便于稳定调节气流的优点。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：气体平衡调整阀，包括阀壳，以及阀壳外壁上连通的进气口和出气口，所述阀壳的外壁固定连接有电机，所述电机穿入阀壳内部的输出端固定连接有螺杆，所述螺杆的外壁螺纹连接有在阀壳内滑动的阀杆，所述阀杆远离电机的一端螺纹连接有阀芯，所述阀芯的外壁设置有密封圈。

3、优选的，所述阀壳的外壁设置有感应开关，所述感应开关采用光电开关。

4、优选的，所述阀芯为圆锥体，且锥面与出气口的内壁贴合。

5、优选的，所述阀杆位于进气口的外壁设置有密封管，所述密封管可以伸缩。

6、优选的，所述阀杆包括杆体，所述杆体位于螺杆一侧的内壁开设有螺纹槽。

7、优选的，所述杆体远离螺纹槽的一端固定连接有螺纹头，所述螺纹头用于安装阀芯。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、1、通过电机控制螺杆转动，可以让螺杆控制阀杆在阀壳内滑动，这样就可以控制阀芯与出气口内壁的距离，这样就可以起到调整出气空间大小的效果，达到调整气体流量的目的。

10、2、电机采用伺服电动机，这样电机加光电开关，速度更快，反应更加迅速，在阀芯的锥面上加装柔性密封的密封圈可以让密封性能更好，调整范围更大，从而提高出气口的工作能力。

11、3、调节阀配套流量计使用，根据流量计的反馈利用伺服电机的精准不断调节气体流通截面面积实现气体流量的动态平衡。

技术特征：

1.气体平衡调整阀，包括阀壳(1)，以及阀壳(1)外壁上连通的进气口(10)和出气口(9)，其特征在于：所述阀壳(1)的外壁固定连接有电机(2)，所述电机(2)穿入阀壳(1)内部的输出端固定连接有螺杆(3)，所述螺杆(3)的外壁螺纹连接有在阀壳(1)内滑动的阀杆(4)，所述阀杆(4)远离电机(2)的一端螺纹连接有阀芯(5)，所述阀芯(5)的外壁设置有密封圈(6)。

2.根据权利要求1所述的气体平衡调整阀，其特征在于：所述阀壳(1)的外壁设置有感应开关(8)，所述感应开关(8)采用光电开关。

3.根据权利要求1所述的气体平衡调整阀，其特征在于：所述阀芯(5)为圆锥体，且锥面与出气口(9)的内壁贴合。

4.根据权利要求1所述的气体平衡调整阀，其特征在于：所述阀杆(4)位于进气口(10)的外壁设置有密封管(7)，所述密封管(7)可以伸缩。

5.根据权利要求1所述的气体平衡调整阀，其特征在于：所述阀杆(4)包括杆体(400)，所述杆体(400)位于螺杆(3)一侧的内壁开设有螺纹槽(401)。

6.根据权利要求5所述的气体平衡调整阀，其特征在于：所述杆体(400)远离螺纹槽(401)的一端固定连接有螺纹头(402)，所述螺纹头(402)用于安装阀芯(5)。

技术总结
本技术公开了气体平衡调整阀，包括阀壳，以及阀壳外壁上连通的进气口和出气口，所述阀壳的外壁固定连接有电机，所述电机穿入阀壳内部的输出端固定连接有螺杆，所述螺杆的外壁螺纹连接有在阀壳内滑动的阀杆，所述阀杆远离电机的一端螺纹连接有阀芯，所述阀芯的外壁设置有密封圈。通过电机控制螺杆转动，可以让螺杆控制阀杆在阀壳内滑动，这样就可以控制阀芯与出气口内壁的距离，这样就可以起到调整出气空间大小的效果，达到调整气体流量的目的。

技术研发人员：冉锐,冯松林,耿文举
受保护的技术使用者：四川景恒科技有限公司
技术研发日：20230501
技术公布日：2024/1/14