一种二级关断阀的制作方法

本技术涉及关断阀领域，尤其是一种二级关断阀。

背景技术：

1、二级关断阀主要应用于半导体行业，现有的气动关断阀基本都是单级驱动机构，不能实现两级驱动控制。

2、同时，现有关断阀是全量供给压力，当真空室返回大气压时，当全量的供给压力进入室内会引起室内气流紊乱，甚至会卷起微粒。

技术实现思路

1、本实用新型旨在解决上述问题，提供了一种二级关断阀，解决了二级关断阀两级驱动机构给气和排气的问题；解决了先小通道慢慢给气平稳压力，再大通道全量给气的问题。

2、一种二级关断阀，包括：下阀体和气缸，所述气缸包括两级驱动机构，可上下移动，所述气缸包括缸体、阀杆、第一活塞、第二活塞、套筒和阀芯，所述第二活塞位于缸体内部，所述第一活塞位于第二活塞内部，所述第一活塞和第二活塞将缸体内部分隔成三个腔体，所述第一腔体位于第一活塞、第二活塞、缸体和阀杆之间，所述第二腔体位于第一活塞、第二活塞、套筒和阀杆之间，所述第三腔体位于第二活塞、缸体和套筒之间，所述缸体顶部设有第一气源口，所述阀杆与第一活塞固定连接，所述阀杆内部设有通道，所述阀杆的通道两端分别与第一气源口和第二腔体相连通，所述缸体侧面设有第二气源口，所述第二气源口与第三腔体相连通，所述套筒与第二活塞固定连接，所述套筒与阀芯固定连接，所述阀芯上设有阀芯密封垫和阀杆密封垫。

3、在上述技术方案基础上，还包括第一弹簧、第二弹簧、第二密封圈和第四密封圈，所述气缸的缸体包括端盖和筒体，所述筒体与端盖固定连接，所述第一弹簧和第二弹簧位于第一腔体中，所述第一弹簧两端分别与端盖和第一活塞接触，所述第二弹簧两端分别与端盖和第二活塞接触，所述第二密封圈套装在第一活塞外侧，与第二活塞内壁滑动连接，所述第四密封圈套装在第二活塞外侧，与筒体内壁滑动连接。

4、在上述技术方案基础上，还包括密封保持圈和第三密封圈，所述密封保持圈的截面为矩形，所述密封保持圈内外两侧分别与阀杆和套筒贴合，所述密封保持圈与套筒固定，所述阀杆与密封保持圈滑动连接，所述第三密封圈内外两侧分别与套筒和第二活塞贴合，所述第三密封圈与第二活塞和套筒固定，所述密封保持圈为聚四氟乙烯制成。

5、在上述技术方案基础上，还包括第五密封圈、第六密封圈和第一密封圈，所述第五密封圈内外两侧分别与套筒和筒体贴合，所述第五密封圈和筒体固定，所述第六密封圈内外两侧分别与阀杆和套筒贴合，所述第六密封圈和套筒固定，所述第一密封圈内外两侧分别与筒体和下阀体贴合，所述第七密封圈和筒体固定。

6、在上述技术方案基础上，所述套筒上设有两组套筒介质通孔，所述套筒与阀芯固定连接，所述阀芯中间有阀芯小通道孔，所述阀芯上设有阀芯密封垫和阀杆密封垫，所述阀芯密封垫中间有阀芯密封垫小通道孔。

7、在上述技术方案基础上，所述筒体与下阀体固定连接，所述下阀体形成有入口、出口和阀座，所述入口和出口通过阀座相连通，所述阀芯密封垫和阀座均为回转体，所述阀芯密封垫为弹性材料制成。

8、本实用新型具有如下优点：通过在气缸顶部设有第一气源口，在气缸侧面设有第二气源口，解决了两级驱动机构给气和排气的问题；通过第一活塞带动阀杆动作，控制小通道启闭，第二活塞带动套筒及阀芯动作，控制大通道启闭，解决了先小通道慢慢给气平稳压力，再大通道全量给气的问题。

技术特征：

1.一种二级关断阀，其特征在于，包括：下阀体（19）和气缸，所述气缸包括两级驱动机构，可上下移动，所述气缸包括缸体、阀杆（8）、第一活塞（9）、第二活塞（10）、套筒（7）和阀芯（16），所述第二活塞（10）位于缸体内部，所述第一活塞（9）位于第二活塞（10）内部，所述第一活塞（9）和第二活塞（10）将缸体内部分隔成三个腔体，第一腔体（31）、第二腔体（32）和第三腔体（33），所述第一腔体（31）位于第一活塞（9）、第二活塞（10）、缸体和阀杆（8）之间，所述第二腔体（32）位于第一活塞（9）、第二活塞（10）、套筒（7）和阀杆（8）之间，所述第三腔体（33）位于第二活塞（10）、缸体和套筒（7）之间，所述缸体顶部设有第一气源口（20），所述阀杆（8）与第一活塞（9）固定连接，所述阀杆（8）内部设有通道，所述阀杆（8）的通道两端分别与第一气源口（20）和第二腔体（32）相连通，所述缸体侧面设有第二气源口（21），所述第二气源口（21）与第三腔体（33）相连通，所述套筒（7）与第二活塞（10）固定连接，所述套筒（7）与阀芯（16）固定连接，所述阀芯（16）上设有阀芯密封垫（17）和阀杆密封垫（18）。

2.根据权利要求1所述的一种二级关断阀，其特征在于：还包括第一弹簧（2）、第二弹簧（3）、第二密封圈（4）和第四密封圈（11），所述缸体包括端盖（1）和筒体（14），所述筒体（14）与端盖（1）固定连接，所述第一弹簧（2）和第二弹簧（3）位于第一腔体（31）中，所述第一弹簧（2）两端分别与端盖（1）和第一活塞（9）接触，所述第二弹簧（3）两端分别与端盖（1）和第二活塞（10）接触，所述第二密封圈（4）套装在第一活塞（9）外侧，与第二活塞（10）内壁滑动连接，所述第四密封圈（11）套装在第二活塞（10）外侧，与筒体（14）内壁滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种二级关断阀，其特征在于：还包括密封保持圈（5）和第三密封圈（6），所述密封保持圈（5）的截面为矩形，所述密封保持圈（5）内外两侧分别与阀杆（8）和套筒（7）贴合，所述密封保持圈（5）与套筒（7）固定，所述阀杆（8）与密封保持圈（5）滑动连接，所述第三密封圈（6）内外两侧分别与套筒（7）和第二活塞（10）贴合，所述第三密封圈（6）与第二活塞（10）和套筒（7）固定，所述密封保持圈（5）为聚四氟乙烯制成。

4.根据权利要求2所述的一种二级关断阀，其特征在于：还包括第五密封圈（12）、第六密封圈（13）和第一密封圈（15），所述第五密封圈（12）内外两侧分别与套筒（7）和筒体（14）贴合，所述第五密封圈（12）和筒体（14）固定，所述第六密封圈（13）内外两侧分别与阀杆（8）和套筒（7）贴合，所述第六密封圈（13）和套筒（7）固定，所述第一密封圈（15）内外两侧分别与筒体（14）和下阀体（19）贴合，所述第一密封圈（15）和筒体（14）固定。

5.根据权利要求1所述的一种二级关断阀，其特征在于：所述套筒（7）上设有两组套筒介质通孔（22），所述套筒（7）与阀芯（16）固定连接，所述阀芯（16）中间有阀芯小通道孔（25），所述阀芯（16）上设有阀芯密封垫（17）和阀杆密封垫（18），所述阀芯密封垫（17）中间有阀芯密封垫小通道孔（26）。

6.根据权利要求1所述的一种二级关断阀，其特征在于：所述下阀体（19）与筒体（14）固定连接，所述下阀体（19）形成有入口（23）、出口（24）、和阀座（27），所述入口（23）和出口（24）通过阀座（27）、阀芯小通道孔（25）、阀芯密封垫小通道孔（26）和套筒介质通孔（22）相连通，所述阀芯密封垫（17）、阀芯（16）和阀座（27）均为回转体，所述阀芯密封垫（17）和阀杆密封垫（18）为弹性材料制成。

技术总结
本技术涉及一种二级关断阀，气缸内有两级驱动，可上下移动，第一活塞和第二活塞将缸体内部分成三个腔体，第一腔体位于第一活塞和第二活塞上方，第二腔体位于第一活塞下方，第三腔体位于第二活塞下方，阀杆与第一活塞固定连接，套筒与第二活塞固定连接，套筒与阀芯固定连接，阀杆内设有通道，分别与第一气源口和第二腔体相通，气缸侧面设有第二气源口，与第三腔体相通。本技术通过在气缸顶部设有第一气源口，在气缸侧面设有第二气源口，解决了两级驱动机构给气和排气的问题；通过第一活塞带动阀杆动作，控制小通道启闭，第二活塞带动套筒及阀芯动作，控制大通道启闭，解决了先小通道慢慢给气平稳压力，再大通道全量给气的问题。

技术研发人员：姜华,宋坤,董克宁
受保护的技术使用者：青岛精锐机械制造有限公司
技术研发日：20230506
技术公布日：2024/4/24