一种高真空插板阀的制作方法

本技术涉及插板阀领域，具体涉及一种高真空插板阀。

背景技术：

1、高真空插板阀主要用于半导体腐蚀部门机台上，是隔绝两个相邻空间的重要阀体，高真空插板阀被广泛应用于各种真空设备上，用来隔绝两个不同真空度的区域或者隔绝真空环境与其他气体环境用来隔绝真空腔与外部联系。

2、现有的真空插板阀一方面启闭时阀体和阀板相接触的两密封面之间有相对滑动，在摩擦力作用下易产生擦伤，从而破坏密封性能，影响使用寿命，另一方面，结构复杂密封性能还有待提高，外部表面较为复杂不便清洁。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本申请提供一种高真空插板阀具体技术方案如下所示：

2、一种高真空插板阀，包括阀体、阀体底座、阀芯组件、滑动件和驱动所述阀芯组件往复运动的驱动组件，所述阀体与所述阀体底座内设置有容纳所述阀芯组件的活动腔体，所述阀体上设置有同外部装置连通的通孔，所述阀芯组件通过驱动组件活动地设置在所述活动腔体内，所述阀芯组件能够控制所述阀体打开与关闭，所述阀芯组件包括阀板、阀板底座和弹片，所述阀板底座能活动地设置在所述阀板内，通过所述阀板和所述阀板底座堵住阀体上与外部连通的通孔，所述阀板和所述阀板底座之间设置有弹片，所述弹片用于对所述阀板和所述阀板复位。

3、优选地，所述阀板内腔底面在活塞杆活动的方向上设有第一滑动槽，所述第一滑动槽的两侧对称设有第一限位柱，所述第一滑动槽呈由深到浅的递进弧形槽，所述阀板底座上设有与所述阀板对应第二滑动槽，所述第二滑动槽两侧也设有第二限位柱。

4、优选地，所述阀体外侧开设有“u”型凹槽，所述阀体和所述阀体底座外表面平齐设置。

5、优选地，所述阀板侧壁上设置有容纳所述弹片一端的第一限位槽，所述第一限位槽相对面开设有容纳所述弹片另一端的第二限位槽，所述弹片上设有与所述第一限位柱和所述第二限位柱对应第二限位通孔，所述第一限位柱和所述第二限位柱与所述第二限位通孔连接。

6、优选地，所述驱动组件包括气缸缸体、活塞、活塞杆、气缸塞、气缸端盖和气缸底座，所述活塞杆一端穿过所述气缸端盖与所述活塞固定连接，所述气缸端盖内设有第一气道和第二气道，所述活塞在所述缸体内活动间接带动活塞杆活动，所述活塞杆的另一端与穿过所述阀体底座与所述阀体内所述的阀芯组件连接。

7、优选地，所述活塞杆与所述阀芯组件连接的一端设有与所述第一滑动槽和所述第二滑动槽对应第一限位通孔。

8、优选地，所述第一限位通孔内设有能活动的所述滑动件，所述滑动件的两端分别抵靠在所述第一滑动槽和第二滑动槽中，所述活塞杆驱动滑动件在所述第一滑动槽和第二滑动槽中移动，所述滑动件为滑动杆。

9、优选地，所述阀板底面上还设有与所述阀体相密封的密封槽，所述阀体上和外部连通的通孔外侧设有密封槽，所述阀体底座上开设有与所述阀体相密封的密封槽，所述密封槽内设有密封圈。

10、优选地，所述驱动组件还包括第一缓冲件、第二缓冲件和导向杆，所述第一缓冲件和所述第二缓冲件分别设置在所述气缸端盖和气缸底座上，对活塞进行缓冲。

11、优选地，所述导向杆为两个，内部设有分别与所述气缸端盖连通的气道，所述导向杆在靠近所述气缸端盖和所述气缸底座处分别开设有出气孔。

12、本申请的有益效果：在打开或关闭时，阀芯组件内部的弹片的作用下将阀板底座固定在阀板内，在活塞杆的支撑下，阀芯组件与阀体相互之间不接触，从而防止阀体和阀板之间相摩擦，不会破坏密封性能，提高使用寿命；阀板与阀体之间设有密封件，活塞杆推动滑动杆在滑动槽内移动，滑动杆撑起阀板和阀板底座与阀体接触更紧密，进一步提高密封性。

技术特征：

1.一种高真空插板阀，其特征在于：包括阀体、阀体底座、阀芯组件、滑动件和驱动所述阀芯组件往复运动的驱动组件，所述阀体与所述阀体底座内设置有容纳所述阀芯组件的活动腔体，所述阀体上设置有同外部装置连通的通孔，所述阀芯组件通过驱动组件活动地设置在所述活动腔体内，所述阀芯组件能够控制所述阀体打开与关闭，所述阀芯组件包括阀板、阀板底座和弹片，所述阀板底座能活动地设置在所述阀板内，通过所述阀板和所述阀板底座堵住阀体上与外部连通的通孔，所述阀板和所述阀板底座之间设置有弹片，所述弹片用于对所述阀板和所述阀板复位。

2.根据权利要求1所述的高真空插板阀，其特征在于：所述阀板内腔底面在活塞杆活动的方向上设有第一滑动槽，所述第一滑动槽的两侧对称设有第一限位柱，所述第一滑动槽呈由深到浅的递进弧形槽，所述阀板底座上设有与所述阀板对应第二滑动槽，所述第二滑动槽两侧也设有第二限位柱。

3.根据权利要求1所述的高真空插板阀，其特征在于：所述阀体外侧开设有“u”型凹槽，所述阀体和所述阀体底座外表面平齐设置。

4.根据权利要求2所述的高真空插板阀，其特征在于：所述阀板侧壁上设置有容纳所述弹片一端的第一限位槽，所述第一限位槽相对面开设有容纳所述弹片另一端的第二限位槽，所述弹片上设有与所述第一限位柱和所述第二限位柱对应第二限位通孔，所述第一限位柱和所述第二限位柱与所述第二限位通孔连接。

5.根据权利要求2所述的高真空插板阀，其特征在于：所述驱动组件包括气缸缸体、活塞、活塞杆、气缸塞、气缸端盖和气缸底座，所述活塞杆一端穿过所述气缸端盖与所述活塞固定连接，所述气缸端盖内设有第一气道和第二气道，所述活塞在所述缸体内活动间接带动活塞杆活动，所述活塞杆的另一端与穿过所述阀体底座与所述阀体内所述的阀芯组件连接。

6.根据权利要求5所述的高真空插板阀，其特征在于：所述活塞杆与所述阀芯组件连接的一端设有与所述第一滑动槽和所述第二滑动槽对应第一限位通孔。

7.根据权利要求6所述的高真空插板阀，其特征在于：所述第一限位通孔内设有能活动的所述滑动件，所述滑动件的两端分别抵靠在所述第一滑动槽和第二滑动槽中，所述活塞杆驱动滑动件在所述第一滑动槽和第二滑动槽中移动，所述滑动件为滑动杆。

8.根据权利要求2所述的高真空插板阀，其特征在于：所述阀板底面上还设有与所述阀体相密封的密封槽，所述阀体上和外部连通的通孔外侧设有密封槽，所述阀体底座上开设有与所述阀体相密封的密封槽，所述密封槽内设有密封圈。

9.根据权利要求5所述的高真空插板阀，其特征在于：所述驱动组件还包括第一缓冲件、第二缓冲件和导向杆，所述第一缓冲件和所述第二缓冲件分别设置在所述气缸端盖和气缸底座上，对活塞进行缓冲。

10.根据权利要求9所述的高真空插板阀，其特征在于：所述导向杆为两个，内部设有分别与所述气缸端盖连通的气道，所述导向杆在靠近所述气缸端盖和所述气缸底座处分别开设有出气孔。

技术总结
本申请公开了一种高真空插板阀，包括阀体、阀体底座、阀芯组件、滑动件和驱动所述阀芯组件往复运动的驱动组件，所述阀芯组件能够控制阀体打开与关闭，所述阀芯组件包括阀板、阀板底座和弹片，所述阀体和所述阀体底座内有容纳所述阀芯组件的空腔，所述阀板底座能活动的设置在所述空腔内，通过所述阀板和所述阀板底座堵住阀体上与外部连通的通孔，所述阀板和所述阀板底座之间设置有弹片，所述弹片用于所述阀板和所述阀板复位；阀芯组件与阀体之间不接触，防止阀体和阀板之间摩擦，不会破坏密封性能，提高使用寿命；阀板与阀体之间设有密封件，活塞杆推动滑动杆在滑动槽内移动，滑动杆撑起阀板和阀板底座与阀体接触更紧密，进一步提高密封性。

技术研发人员：徐敏
受保护的技术使用者：无锡赛敏半导体科技有限公司
技术研发日：20230809
技术公布日：2024/2/6