一种真空阀的制作方法

本申请涉及真空溅射设备领域，尤其是涉及一种真空阀。

背景技术：

1、真空溅射是指在真空环境中，惰性气体离子从靶材表面上轰击出原子或原子团在基片上成膜的过程；真空溅射设备通常包含上料腔、下料腔和溅射腔，各腔之间通过真空阀间隔开，使各腔之间能够互相独立地进入真空或非真空状态。

2、中国专利公开了一种真空阀(公开号：cn102141160b)，包括带阀口的阀体，所述阀口具有轴线；包围阀口的阀座，所述阀座具第一阀座主分段和第二阀座主分段，这些阀座主分段在阀口的轴线的方向上相对错开地布置，并且通过第一和第二阀座连接段相互连接；闭合元件，该闭合元件可以沿着与阀口的轴线呈一定角度的闭合方向从阀口被开启的开启位置朝向阀口被密闭的闭合位置直线移动，并且可以与闭合方向相反地从闭合位置朝向开启位置直线移动；至少一个布置在闭合元件上的周边封闭的密封件，所述密封件具有对应于第一和第二阀座主分段以及第一和第二阀座连接段的第一和第二密封件主分段以及第一和第二密封件连接段，所述密封件在槽中延伸，该槽的横断面边界由两个侧壁和一个底壁形成；第一密封件主分段布置在闭合元件的相对于闭合方向靠前的端面上，并且具有中间部分，密封件在该中间部分中直线延伸，其特征在于，密封件至少在其纵向延展部分的位于第一密封件主分段的中间部分中的第一局部区域的范围内被夹紧板所夹紧，该夹紧板固定在闭合元件上，并且形成槽的两个侧壁的其中一个侧壁，并且至少在密封件的纵向延展部分的第二局部区域的范围内，形成槽的边界的两个侧壁和底壁由闭合元件构成，其中，针对于每一个布置于闭合元件上的周边封闭的密封件，在阀座上布置周边封闭的阀座密封件，当闭合元件在没有带材通过阀口的情况下处在闭合位置中时，该阀座密封件就会在其全部纵向延展部分的范围内压紧在闭合元件上的相应密封件上，并且在具有两个侧壁和一个底壁的阀座密封槽之中延伸。

3、上述真空阀的闭合件仅由驱动件来驱动，闭合件与阀体之间也仅通过驱动件相连接，稳定性较差。

技术实现思路

1、为解决上述现有技术的问题，本申请提供一种真空阀，使闭合件的运动更加稳定。

2、本申请采用的技术方案为：

3、一种真空阀，包括阀体、阀座、闭合件与驱动件；所述阀体开设有阀口；所述阀座设在阀体的安装面上；所述驱动件也设在阀体的安装面上且驱动闭合件靠近或远离阀座移动；所述的阀体与闭合件之间还设有至少一组滑动件；滑动件包括设在阀体安装面上的滑轨以及设在闭合件上的滑块；闭合件通过滑轨与滑块之间的滑动配合与阀体滑动连接。

4、滑动件连接阀体与闭合件，增强了闭合件运动时的稳定性；且本申请通过滑轨与滑块之间的滑动配合对闭合件的运动轨迹也做了限位，防止闭合件运动时出现偏移，进一步增强了稳定性。

5、根据本实用新型的实施方式，所述的滑动件至少设有两组，各滑动件之间沿直线等间距分布，且各滑动件之间的分布方向与闭合件的移动方向相垂直。

6、设置多组滑动件，进一步增强了闭合件运动时的稳定性。

7、根据本实用新型的实施方式，所述的滑轨通过螺栓连接的方式固定在阀体的安装面上。

8、根据本实用新型的实施方式，所述的闭合件靠近阀体的一面上开设有安装槽，所述的滑块螺栓连接在安装槽内。

9、将滑块安装在安装槽内，能够尽可能地减少闭合件与阀体安装面之间的距离，从而保证闭合件与阀座闭合时具有良好的密封效果。

10、根据本实用新型的实施方式，所述的阀体上连接有保险件；所述的保险件为扣件，且用于限位阀座、闭合件与阀体之间的距离。

11、所述的保险件用于限位阀座、闭合件与阀体之间的距离，防止闭合件沿阀体安装面的法线方向出现偏移，从而影响密封效果与整体真空闸阀的稳定性。

12、根据本实用新型的实施方式，所述的保险件包括限位部与设置在限位部两端的固定部，所述的阀座与闭合件配合在固定部、限位部与阀体围合形成的空间中；

13、固定部用于连接阀体与限位部；

14、限位部用于限位阀座、闭合件与阀体之间的距离。

15、所述的保险件与阀体的安装面之间围合形成封闭空间，阀座与闭合件就配合在该封闭空间中，进一步提升了保险件的限位功能。

16、根据本实用新型的实施方式，所述的限位部与固定部之间活动连接。

17、限位部与活动部之间可拆卸变换，使所述的保险件拆装更加方便。

18、根据本实用新型的实施方式，所述的固定部上开设有调节螺孔，所述调节螺孔为长条形；

19、限位部通过螺栓连接在调节螺孔内的不同位置，从而调整其与阀体之间的距离。

20、限位部能够调整其与阀体之间的距离，使保险件能够适应不同尺寸的闭合件与阀座，同时也使保险件能够自由调整限位部与闭合件之间的距离，自由控制限位部是否与闭合件之间产生摩擦，以适应不同的应用场景需求。

21、根据本实用新型的实施方式，所述的限位部上开设有镂空。

22、限位部上开设镂空能够减轻保险件的重量，减少成本。

23、根据本实用新型的实施方式，所述的固定部为角铁。

技术特征：

1.一种真空阀，包括阀体(1)、阀座(3)、闭合件(4)与驱动件(5)；所述阀体(1)开设有阀口(2)；所述阀座(3)设在阀体(1)的安装面上；所述驱动件(5)也设在阀体(1)的安装面上且驱动闭合件(4)靠近或远离阀座(3)移动；

2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述的滑动件(7)至少设有两组，各滑动件(7)之间沿直线等间距分布，且各滑动件(7)之间的分布方向与闭合件(4)的移动方向相垂直。

3.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述的滑轨(71)通过螺栓连接的方式固定在阀体(1)的安装面上。

4.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述闭合件(4)靠近阀体(1)的一面上开设有安装槽(46)，所述的滑块(72)螺栓连接在安装槽(46)内。

5.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述的阀体(1)上连接有保险件(8)；所述的保险件(8)为扣件，且用于限位阀座(3)、闭合件(4)与阀体(1)之间的距离。

6.根据权利要求5所述的真空阀，其特征在于，所述的保险件(8)包括限位部(81)与设置在限位部(81)两端的固定部(82)，所述的阀座(3)与闭合件(4)配合在固定部(82)、限位部(81)与阀体(1)围合形成的空间中；

7.根据权利要求6所述的真空阀，其特征在于，所述的限位部(81)与固定部(82)之间活动连接。

技术总结
一种真空阀，包括阀体、阀座、闭合件与驱动件；所述阀体开设有阀口；所述阀座设在阀体的安装面上；所述驱动件也设在阀体的安装面上且驱动闭合件靠近或远离阀座移动；所述的阀体与闭合件之间还设有至少一组滑动件；滑动件包括设在阀体安装面上的滑轨以及设在闭合件上的滑块；闭合件通过滑轨与滑块之间的滑动配合与阀体滑动连接；滑动件连接阀体与闭合件，增强了闭合件运动时的稳定性；且本申请通过滑轨与滑块之间的滑动配合对闭合件的运动轨迹也做了限位，防止闭合件运动时出现偏移，进一步增强了稳定性。

技术研发人员：李洪轲,兰品军,黄金华
受保护的技术使用者：佛山纳诺特科技有限公司
技术研发日：20231026
技术公布日：2024/6/11