一种真空传输闸板阀机构的制作方法

本技术涉及一种真空传输闸板阀机构，属于密封阀门。

背景技术：

1、真空传输闸板阀用于loadlock腔室和工艺腔室的大气侧的隔离，起到辅助传输晶圆，隔离真空腔室的作用。然而，现有的真空传输闸板阀大多数都是通过气缸驱动机构做i型或l型运动，来实现阀门开闭和密封功能。此种气缸驱动机构结构复杂，成本高昂。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空传输闸板阀机构，该机构结构简单，成本低，便捷实用。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种真空传输闸板阀机构，包括连接于真空腔室一侧的导轨、与所述导轨滑动连接的滑块以及与所述滑块连接的推杆，所述推杆的一端连接有直线执行器，另一端连接有闸板，所述直线执行器的输出端与所述推杆转动连接，直线执行器用于驱动所述推杆移动；所述导轨的两端均设置有导轨座，所述滑块与所述导轨其中一端的导轨座之间通过弹性件抵接。

4、在本实用新型的一种实施方式中，所述滑块转动连接有摆杆，所述摆杆的另一端与所述推杆转动连接。

5、在本实用新型的一种实施方式中，所述滑块还转动连接有连杆，所述连杆的另一端与所述推杆转动连接。

6、在本实用新型的一种实施方式中，所述推杆的一端与所述直线执行器连接，另一端向所述真空腔室弯折。

7、在本实用新型的一种实施方式中，所述推杆包括直杆段以及连接于所述直杆段上的弯折段，所述直杆段远离所述弯折段的一端与所述直线执行器的输出端连接，所述弯折段远离所述直杆段的一端与所述闸板连接；

8、在本实用新型的一种实施方式中，所述直杆段的底部与所述连杆连接，所述直杆段的顶部与所述摆杆连接。

9、在本实用新型的一种实施方式中，所述闸板靠近所述真空腔室的一侧设置有密封圈。

10、在本实用新型的一种实施方式中，所述导轨上方的导轨座固定连接有限位块，所述限位块位于所述导轨座远离所述真空腔室的一端。

11、在本实用新型的一种实施方式中，所述直线执行器位于所述导轨远离所述真空腔室的一侧，所述弹性件的一端与所述滑块抵接，另一端与所述导轨底端的导轨座抵接。

12、在本实用新型的一种实施方式中，所述弹性件为压缩弹簧。

13、本实用新型的有益效果为：

14、本实用新型提供的一种真空传输闸板阀机构结构简单，成本低，便捷实用，无需设置复杂的气缸驱动机构，工作过程仅靠一个直线执行器驱动。当该机构处于打开状态时，直线执行器处于复位状态，弹性件被滑块压缩到最低位置，闸板处于真空腔室开口下缘，此时真空腔室完全打开，可以方便地传输晶圆；当该机构处于光学关闭状态时，直线执行器顶出并带动推杆向上移动，同时推杆通过连杆带动滑块沿着导轨向上移动；当滑块移动到导轨顶端时，闸板刚好遮住真空腔室的开口；当该机构处于关闭状态时，直线执行器继续顶出，由于滑块已经处于导轨的最高位置，推杆被摆杆带动向右侧转动，当推杆接触到导轨上方的限位块的时候，闸板刚好压紧真空腔室的开口，起到密封的效果。该机构通过设置的滑块、弹性件、推杆、摆杆和连杆实现了闸板竖直方向上的运动以及转动，通过限位块控制闸板的转动角度，能够有效完成闸板对真空腔室的开闭和密封功能。

技术特征：

1.一种真空传输闸板阀机构，其特征在于，包括连接于真空腔室一侧的导轨、与所述导轨滑动连接的滑块以及与所述滑块连接的推杆，所述推杆的一端连接有直线执行器，另一端连接有闸板，所述直线执行器的输出端与所述推杆转动连接，直线执行器用于驱动所述推杆移动；所述导轨的两端均设置有导轨座，所述滑块与所述导轨其中一端的导轨座之间通过弹性件抵接。

2.根据权利要求1所述的真空传输闸板阀机构，其特征在于，所述滑块转动连接有摆杆，所述摆杆的另一端与所述推杆转动连接。

3.根据权利要求2所述的真空传输闸板阀机构，其特征在于，所述滑块还转动连接有连杆，所述连杆的另一端与所述推杆转动连接。

4.根据权利要求3所述的真空传输闸板阀机构，其特征在于，所述推杆的一端与所述直线执行器连接，另一端向所述真空腔室弯折。

5.根据权利要求4所述的真空传输闸板阀机构，其特征在于，所述推杆包括直杆段以及连接于所述直杆段上的弯折段，所述直杆段远离所述弯折段的一端与所述直线执行器的输出端连接，所述弯折段远离所述直杆段的一端与所述闸板连接。

6.根据权利要求5所述的真空传输闸板阀机构，其特征在于，所述直杆段的底部与所述连杆连接，所述直杆段的顶部与所述摆杆连接。

7.根据权利要求1所述的真空传输闸板阀机构，其特征在于，所述闸板靠近所述真空腔室的一侧设置有密封圈。

8.根据权利要求1所述的真空传输闸板阀机构，其特征在于，所述导轨上方的导轨座固定连接有限位块，所述限位块位于所述导轨座远离所述真空腔室的一端。

9.根据权利要求1所述的真空传输闸板阀机构，其特征在于，所述直线执行器位于所述导轨远离所述真空腔室的一侧，所述弹性件的一端与所述滑块抵接，另一端与所述导轨底端的导轨座抵接。

10.根据权利要求1-9任一项所述的真空传输闸板阀机构，其特征在于，所述弹性件为压缩弹簧。

技术总结
本技术公开了一种真空传输闸板阀机构，包括连接于真空腔室一侧的导轨、与所述导轨滑动连接的滑块以及与所述滑块连接的推杆，所述推杆的一端连接有直线执行器，另一端连接有闸板，所述直线执行器的输出端与所述推杆转动连接，直线执行器用于驱动所述推杆移动；所述导轨的两端均设置有导轨座，所述滑块与所述导轨其中一端的导轨座之间通过弹性件抵接。本技术提供的真空传输闸板阀机构结构简单，成本低，便捷实用，无需设置复杂的气缸驱动机构，工作过程仅靠一个直线执行器驱动，通过设置的滑块、弹性件、推杆、摆杆和连杆实现了闸板竖直方向上的运动以及转动，通过限位块控制闸板的转动角度，能够有效完成闸板对真空腔室的开闭和密封功能。

技术研发人员：陈艳威,安俊杰,徐超奎
受保护的技术使用者：无锡亘芯悦科技有限公司
技术研发日：20231211
技术公布日：2024/8/15