一种组合减振装置以及成型方法与流程

本发明涉及扫描电镜，具体涉及一种组合减振装置以及成型方法。

背景技术：

1、扫描电子显微镜(简称扫描电镜)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，其分辨率可达到纳米级甚至优于1.0纳米，在新材料、新能源、国防、科学研究等领域起着无法替代的作用。

2、扫描电镜使用高能电子束对样品进行扫描成像，为了保证成像分辨率，需要把电子束像光束一样准直和聚焦，而高能的电子束撞击空气分子会被吸收或散射，准直性会被破坏，因此扫描电镜样品室需要使用分子泵或其他真空泵进行抽真空。但是，分子泵在高速运转过程中会产生振动，且振动会传递到样品室，使扫描电镜成像的分辨率和清晰度明显下降，甚至图像出现明显的“毛刺”。传统的减振方式常选用弹性力减振，具体而言，在扫描电镜的轴向设置的两法兰之间安装波纹管，利用波纹管构成的减振结构提高成像质量，并在波纹管内部设有两个相勾合连接的限位条，同时令两个限位条分别与两个法兰连接，避免波纹管延长量过大时失去弹性。

3、但是，由于两个限位条常选用硬质材料制成，使得两个限位条勾合连接后为刚性连接，使得分子泵的振动可以通过两个限位件传递至样品室一侧，仍存在振动传递，影响成像的质量。

技术实现思路

1、因此，本发明提供一种组合减振装置，以解决现有技术中的两个限位条在安装后仍存在成像质量受振动影响问题。

2、具体地，本发明提供一种组合减振装置，包括：

3、安装组件，至少包括第一法兰和第二法兰，所述第一法兰用于与样品室连接，所述第二法兰与所述第一法兰间隔设置，所述第二法兰用于与泵体连接；

4、波纹管，所述波纹管轴向的两端分别与第一法兰和所述第二法兰连接，所述波纹管的外壁面、所述第一法兰和所述第二法兰以及模具围合形成减振腔；

5、减振件，所述减振件与所述减振腔适型设置，所述减振件安装于减振腔，在所述减振件中，至少轴向设置的两端以及覆盖于波纹管外壁的一侧具有弹性、并且轴向设置的两端分别与所述第一法兰和所述第二法兰固定连接。

6、可选地，上述的组合减振装置，

7、所述波纹管设有两个第一连接部和减振部，两个第一连接部分别与第一法兰和第二法兰连接，减振部设置于两个第一连接部之间、并且减振部轴向设置的两端分别与两个第一连接部连接，所述减振部的外壁面形成多个内凹的间隙；

8、其中，多个间隙、两个第一连接部的第一壁面、第一法兰靠近第二法兰的第二壁面、第二法兰靠近第一法兰的第三壁面以及模具的第四壁面构成减振腔。

9、可选地，上述的组合减振装置，还包括：

10、连接件，所述连接件包括抵接部和第二连接部，所述抵接部嵌设于减振件，所述第二连接部的一端与所述抵接部连接，所述第二连接部的另一端穿设于减振件并延伸至减振件外。

11、可选地，上述的组合减振装置，

12、所述连接件设有多个，多个连接件分为两组，其中一组连接件的第二连接部与所述第一法兰连接固定、用于与组内连接件的抵接部限制减振件的一端远离样品室，另一组连接件的第二连接部与所述第二法兰连接固定、用于与组内连接件的抵接部限制减振件的另一端远离泵体。

13、可选地，上述的组合减振装置，

14、所述第一法兰和所述第二法兰均设有用于所述第二连接部穿设的通孔；

15、还包括紧固件，所述紧固件与所述第二连接部远离所述抵接部的一侧固定连接。

16、一种组合减振装置成型方法，应用于上述的组合减振装置，所述成型方法还使用模具，所述成型方法包括：

17、步骤s1：将第一法兰、第二法兰、波纹管、模具、连接件和紧固件完成安装；

18、步骤s2：配置减振胶液，并经灌胶孔填充进入减振腔内，注满后进行冷却；

19、步骤s3：拆除模具。

20、可选地，上述的组合减振装置成型方法，进行步骤s1前还包括：

21、步骤s4：确定模具尺寸。

22、可选地，上述的组合减振装置成型方法，所述步骤s4包括：

23、步骤s401：依据波纹管的弹性模量和其承载的泵体重量确定灌胶前波纹管的工作长度，得到模具的高度尺寸；

24、步骤s402：通过橡胶材质的阻尼系数确定灌胶模具的径向尺寸。

25、可选地，上述的组合减振装置成型方法，所述步骤s4还包括：

26、步骤s403：于第一法兰或第二法兰处进行钻孔，得到与减振腔连通的灌胶孔。

27、可选地，上述的组合减振装置成型方法，进行步骤s2中的配置减振胶液时，放入硬化剂，并利用真空脱泡机进行搅拌。

28、本发明提供的技术方案，具有如下优点：

29、本发明提供的组合减振装置，其包括安装组件、波纹管和减振件。其中，安装组件至少包括第一法兰和第二法兰，所述第一法兰用于与样品室连接，所述第二法兰与所述第一法兰间隔设置，所述第二法兰用于与泵体连接；所述波纹管轴向的两端分别与第一法兰和所述第二法兰连接，所述波纹管、所述第一法兰和所述第二法兰围合形成减振腔；所述减振件与所述减振腔适型设置，所述减振件安装于减振腔，所述减振件至少轴向设置的两端以及覆盖于波纹管外壁的一侧具有弹性、并且轴向设置的两端分别与所述第一法兰和所述第二法兰固定连接。

30、此结构的组合减振装置，通过将第一法兰、第二法兰和波纹管围合形成用于放置减振件的减振腔，在减振件的两端分别与第一法兰和第二法兰连接、并且样品室和泵体分别与第一法兰和第二法兰连接后，由于减振件与减振腔适型设置，并通过将减振件覆盖于波纹管外壁的一侧具有弹性，在波纹管压缩或拉伸时，可以对波纹管进行缓冲，使得组合减振装置具备现有方案设置限位条时避免波纹管失去弹性的能力，同时，通过将减振件两端具有弹性，使得泵体抽真空时产生的振动会被减振件吸收，实现减振效果，相比于现有方案，避免使用限位条造成刚性连接的现象发生，降低泵体振动对成像质量的影响，改善扫描电镜的成像质量。

技术特征：

1.一种组合减振装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的组合减振装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的组合减振装置，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求3所述的组合减振装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的组合减振装置，其特征在于，

6.一种组合减振装置成型方法，应用于权利要求1-5中任一项所述的组合减振装置，其特征在于，所述成型方法还使用模具(4)，所述成型方法包括：

7.根据权利要求6所述的组合减振装置成型方法，其特征在于，进行步骤s1前还包括：

8.根据权利要求7所述的组合减振装置成型方法，其特征在于，所述步骤s4包括：

9.根据权利要求8所述的组合减振装置成型方法，其特征在于，所述步骤s4还包括：

10.根据权利要求8所述的组合减振装置成型方法，其特征在于，进行步骤s2中的配置减振胶液时，放入硬化剂，并利用真空脱泡机进行搅拌。

技术总结
本发明属于扫描电镜技术领域，具体公开了一种组合减振装置以及成型方法。在组合减振装置中，通过将第一法兰、第二法兰和波纹管的外壁面围合形成用于放置减振件的减振腔，在减振件的两端分别与第一法兰和第二法兰连接、样品室和泵体分别与第一法兰和第二法兰连接后，由于减振件与减振腔适型设置、减振件覆盖于波纹管外壁的一侧具有弹性，可以缓冲波纹管的压缩程度和拉伸程度，使得组合减振装置具备避免波纹管失去弹性的能力，同时，将减振件两端具有弹性，使得泵体抽真空时产生的振动会被减振件吸收，实现减振效果，相比于现有方案，避免使用限位条造成刚性连接的现象发生，降低泵体振动对成像质量的影响，改善扫描电镜的成像质量。

技术研发人员：王宁,石晓倩,孟祥良,尹贻恒
受保护的技术使用者：北京中科科仪股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/27