一种真空烤箱加热管出线刀口密封结构及密封方法与流程

本发明涉及真空烤箱，具体来说，涉及一种真空烤箱加热管出线刀口密封结构及密封方法。

背景技术：

1、在真空烤箱在生产过程中，对于真空度的要求是非常高的，腔体的每出现一个漏点都会影响设备的整体效果。腔体的密封性对与一台烤箱设备的性能和整体使用效果有这较大的影响。

2、在一般对于真空腔体密封的密封方式是对于整个腔体进行满焊焊接，这种对于腔体的整体密封性有着一定的效果，但是对于和腔体的连接零件且需要可拆卸的零件就无法使用。

3、因此，设计一种适用于可拆卸零件的密封结构，是半导体行业必然的需求。

4、针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

1、针对相关技术中的问题，本发明提出一种真空烤箱加热管出线刀口密封结构及密封方法，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

2、本发明的技术方案是这样实现的：

3、本发明一方面：

4、一种真空烤箱加热管出线刀口密封结构，包括：加热管和外管，所述加热管外焊接有外螺柱，所述外管外焊接有法兰下安装块，其中；

5、所述加热管和所述外螺柱分别穿插于所述外管内，且所述外螺柱端部延伸至所述外管端部外套设有法兰上安装块和螺母，所述螺母与所述法兰上安装块贴合，且所述螺母与所述外螺柱啮合连接，所述法兰上安装块和所述法兰下安装块靠近一侧分别设有圆形刀口，所述圆形刀口内分别设有第一金属密封垫片和第二金属密封垫片。

6、进一步的，所述法兰上安装块和所述法兰下安装块直径相同，且所述法兰上安装块位于所述螺母和所述法兰下安装块之间。

7、进一步的，所述圆形刀口的开口倾斜角度为60°～80°。

8、进一步的，圆形刀口的开口倾斜角度为70°。

9、进一步的，所述第一金属密封垫片的直径大于所述第二金属密封垫片的直径，且所述第一金属密封垫片分别与所述法兰上安装块和所述法兰下安装块贴合，所述第二金属密封垫片分别与所述外螺柱和所述法兰上安装块贴合。

10、进一步的，所述第一金属密封垫片和所述第二金属密封垫片的材质分别为紫铜垫片。

11、本发明另一方面：

12、一种真空烤箱加热管出线刀口密封方法，包括以下步骤：

13、预先分别将法兰下安装块与外管进行满焊连接以及外螺柱与加热管进行满焊连接；

14、将焊接完成的外螺柱与加热管整体穿入外管腔内，且外螺柱与加热管的端部延伸至外管端部外，其中，外螺柱的螺口与外管端部齐平；

15、分别将第一金属密封垫片适配放入法兰下安装块的圆形刀口以及将第二金属密封垫片适配套入外螺柱上，且将法兰上安装块沿加热管端部套入，并将法兰上安装块的圆形刀口分别与第一金属密封垫片和第二金属密封垫片贴合；

16、进行沿加热管端部套入螺母，并将螺母适配外螺柱锁紧，实现第一金属密封垫片和第二金属密封垫片变形嵌入圆形刀口形成真空密封。

17、其中，还包括以下步骤：

18、预先分别对法兰上安装块和法兰下安装块开设圆形刀口，且圆形刀口的开口倾斜角度为70°。

19、本发明的有益效果：

20、本发明真空烤箱加热管出线刀口密封结构及密封方法，预先分别将法兰下安装块与外管进行满焊连接以及外螺柱与加热管进行满焊连接，将焊接完成的外螺柱与加热管整体穿入外管腔内，同时分别将第一金属密封垫片适配放入法兰下安装块的圆形刀口以及将第二金属密封垫片适配套入外螺柱上，且将法兰上安装块沿加热管端部套入，沿加热管端部套入螺母，并将螺母适配外螺柱锁紧，实现第一金属密封垫片和第二金属密封垫片变形嵌入圆形刀口形成真空密封吗，其通过金属密封的方式能够在高真空环境下提供良好的密封性能，实现有效密封，保证工作稳定和可靠性，具有良好的耐压性、耐腐蚀性和耐高温性，适应性广，可适用于各种高真空系统中的连接需求。

技术特征：

1.一种真空烤箱加热管出线刀口密封结构，其特征在于，包括：加热管(7)和外管(8)，所述加热管(7)外焊接有外螺柱(3)，所述外管(8)外焊接有法兰下安装块(5)，其中；

2.根据权利要求1所述的真空烤箱加热管出线刀口密封结构，其特征在于，所述法兰上安装块(2)和所述法兰下安装块(5)直径相同，且所述法兰上安装块(2)位于所述螺母(1)和所述法兰下安装块(5)之间。

3.根据权利要求1所述的真空烤箱加热管出线刀口密封结构，其特征在于，所述圆形刀口的开口倾斜角度为60°～80°。

4.根据权利要求3所述的真空烤箱加热管出线刀口密封结构，其特征在于，圆形刀口的开口倾斜角度为70°。

5.根据权利要求1或4所述的真空烤箱加热管出线刀口密封结构，其特征在于，所述第一金属密封垫片(6)的直径大于所述第二金属密封垫片(4)的直径，且所述第一金属密封垫片(6)分别与所述法兰上安装块(2)和所述法兰下安装块(5)贴合，所述第二金属密封垫片(4)分别与所述外螺柱(3)和所述法兰上安装块(2)贴合。

6.根据权利要求1所述的真空烤箱加热管出线刀口密封结构，其特征在于，所述第一金属密封垫片(6)和所述第二金属密封垫片(4)的材质分别为紫铜垫片。

7.一种真空烤箱加热管出线刀口密封方法，用于权利要求1-6中的任意一项所述的真空烤箱加热管出线刀口密封结构的密封方法，其特征在于，包括以下步骤：

8.根据权利要求7所述的真空烤箱加热管出线刀口密封方法，其特征在于，还包括以下步骤：

技术总结
本发明公开了一种真空烤箱加热管出线刀口密封结构及密封方法，涉及真空烤箱技术领域，包括：加热管和外管，所述加热管外焊接有外螺柱，所述外管外焊接有法兰下安装块，所述加热管和所述外螺柱分别穿插于所述外管内，且所述外螺柱端部延伸至所述外管端部外套设有法兰上安装块和螺母，所述螺母与所述法兰上安装块贴合，且所述螺母与所述外螺柱啮合连接，所述法兰上安装块和所述法兰下安装块靠近一侧分别设有圆形刀口。本发明通过金属密封的方式能够在高真空环境下提供良好的密封性能，实现有效密封，保证工作稳定和可靠性，具有良好的耐压性、耐腐蚀性和耐高温性，适应性广，可适用于各种高真空系统中的连接需求。

技术研发人员：刘汉东,吴疆,刘继昌
受保护的技术使用者：合肥真萍电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/26