一种气动阀的制作方法

本申请涉及半导体制造设备，特别涉及一种气动阀。

背景技术：

1、普通的气动阀在通路形成时，流体的通路方向是双向均可流通的，取决于两边哪方的压力高，从压力高的方向流向压力低的方向，无特别定向。普通的单向逆止阀具有固定流体流动方向的功能，能够防止流体由于憋压等情况造成倒灌现象，但是普通单向逆止阀无开启和关断功能。

2、在实际生产中，如有气动阀需要实现单向逆止功能，一般的处理方法是在气动阀前段增加单向阀，将单向阀和气动阀通过隔膜阀和管路进行连接，由于专门的单向阀尺寸比较长，即使是大型机台中，增加单向阀也会导致设备体积尺寸较大，使得机台中的空位过小。在实际生产中，单向阀连接气动阀后，可能存在无法进行其他改动的问题。由此，在安装空间比较局限的情况下，无法解决气动阀与单向逆止功能并存。另外，一些现场管路需要气动阀加装单向阀新需求的，可能因为无法更换盘面而无法改造。

3、由此，现有的气动阀存在无法兼顾单向逆止功能和尺寸以及控制流体通路开、关的问题，需要提供一种兼具开、关的可控性和单向逆止功能，且能够安装在很小空间的新型气动阀。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种气动阀，用于解决现有技术中气动阀无法兼具单向逆止功能、开关可控以及减小设备尺寸以节约安装空间的问题。

2、本申请实施例提供一种气动阀，包括：气动控制部、流体入口管路和流体出口管路，所述流体入口管路和所述流体出口管路组成流体通路，所述气动控制部控制所述气动阀的开关，以开通或阻断所述流体通路，所述流体入口管路中设置有单向逆止组件，以防止流体回流。

3、在一些实施例中，所述流体入口管路包括第一入口管路和第二入口管路，所述第一入口管路和所述第二入口管路可拆卸连接，所述第一入口管路和所述第二入口管路的连接处设置逆止腔，所述单向逆止组件容置于所述逆止腔内。

4、在一些实施例中，所述逆止腔的孔径大于所述逆止腔两侧管路的孔径，用于所述单向逆止组件的限位。

5、在一些实施例中，所述单向逆止组件包括自所述第一入口管路向所述第二入口管路方向依次同轴设置的逆止膜片、簧片和支撑台，所述逆止膜片直径大于所述流体入口管路的孔径，且小于所述支撑台直径，所述支撑台直径与所述逆止腔孔径匹配。

6、在一些实施例中，所述簧片为环形，所述支撑台上设置圆柱形凸台，所述凸台卡设在所述簧片的环形内，所述逆止膜片朝向所述簧片一侧设置凸缘，用于卡住所述簧片外沿。

7、在一些实施例中，所述簧片的环形具有倾角，所述倾角自所述圆柱形凸台向所述逆止膜片倾斜，以使所述簧片与所述支撑台之间留有缝隙，所述流体通过所述缝隙流向所述支撑台。

8、在一些实施例中，所述支撑台设置若干通孔，所述通孔被配置在所述凸台以外对应所述簧片的位置，用于通过所述流体。

9、在一些实施例中，所述流体入口管路第一入口管路端部设置有第一接合面，所述第一接合面设置第一螺孔，所述流体入口管路第二入口管路端部设置有第二接合面，所述第二接合面设置有第二螺孔，通过螺栓穿过所述第一螺孔和第二螺孔接合所述第一入口管路和所述第二入口管路。

10、在一些实施例中，包括密封垫片，所述密封垫片设置在所述第一接合面与所述第二入口管路的连接处，用于密封所述连接处。

11、在一些实施例中，所述流体入口管路第一入口管路端部外表面设置第一台阶，所述流体入口管路第二入口管路内设置第二台阶，所述第一台阶与所述第二台阶对应配合，用于使所述第二入口管路嵌套在所述第一入口管路内，所述密封垫片设置在所述第一台阶和所述第二台阶连接处。

12、如上所述，本发明的气动阀，具有以下有益效果：在气动阀的流体入口管路内部设置单向逆止组件，既实现了流体通路的定向及开启、关断的可控性，又具有尺寸小的优点，极大地节省了安装空间。

技术特征：

1.一种气动阀，包括：气动控制部、流体入口管路和流体出口管路，所述流体入口管路和所述流体出口管路组成流体通路，所述气动控制部控制所述气动阀的开关，以开通或阻断所述流体通路，其特征在于，所述流体入口管路中设置有单向逆止组件，以防止流体回流。

2.根据权利要求1所述的气动阀，其特征在于，所述流体入口管路包括第一入口管路和第二入口管路，所述第一入口管路和所述第二入口管路可拆卸连接，所述第一入口管路和所述第二入口管路的连接处设置逆止腔，所述单向逆止组件容置于所述逆止腔内。

3.根据权利要求2所述的气动阀，其特征在于，所述逆止腔的孔径大于所述逆止腔两侧管路的孔径，用于所述单向逆止组件的限位。

4.根据权利要求3所述的气动阀，其特征在于，所述单向逆止组件包括自所述第一入口管路向所述第二入口管路方向依次同轴设置的逆止膜片、簧片和支撑台，所述逆止膜片直径大于所述流体入口管路的孔径，且小于所述支撑台直径，所述支撑台直径与所述逆止腔孔径匹配。

5.根据权利要求4所述的气动阀，其特征在于，所述簧片为环形，所述支撑台上设置圆柱形凸台，所述凸台卡设在所述簧片的环形内，所述逆止膜片朝向所述簧片一侧设置凸缘，用于卡住所述簧片外沿。

6.根据权利要求5所述的气动阀，其特征在于，所述簧片的环形具有倾角，所述倾角自所述圆柱形凸台向所述逆止膜片倾斜，以使所述簧片与所述支撑台之间留有缝隙，所述流体通过所述缝隙流向所述支撑台。

7.根据权利要求6所述的气动阀，其特征在于，所述支撑台设置若干通孔，所述通孔被配置在所述凸台以外对应所述簧片的位置，用于通过所述流体。

8.根据权利要求2所述的气动阀，其特征在于，所述流体入口管路第一入口管路端部设置有第一接合面，所述第一接合面设置第一螺孔，所述流体入口管路第二入口管路端部设置有第二接合面，所述第二接合面设置有第二螺孔，通过螺栓穿过所述第一螺孔和第二螺孔接合所述第一入口管路和所述第二入口管路。

9.根据权利要求8所述的气动阀，其特征在于，包括密封垫片，所述密封垫片设置在所述的第一接合面与所述第二接合面的连接处，用于密封所述连接处。

10.根据权利要求9所述的气动阀，其特征在于，所述流体入口管路第一入口管路端部外表面设置第一台阶，所述流体入口管路第二入口管路内设置第二台阶，所述第一台阶与所述第二台阶对应配合，用于使所述第一入口管路嵌套在所述第二入口管路内，所述密封垫片设置在所述第一台阶和所述第二台阶连接处。

技术总结
本申请提供一种气动阀，包括：气动控制部、流体入口管路和流体出口管路，流体入口管路和流体出口管路组成流体通路，气动控制部控制气动阀的开关，以开通或阻断流体通路，流体入口管路中设置有单向逆止组件，以防止流体回流。本申请的气动阀既实现了气动阀流体的定向及开启、关断的可控性，又具有尺寸非常小的优点，同时还能节省安装空间。

技术研发人员：王晓冰,殷梓卿,赵森,史佳玉,袁浩,崔江伟,彭素素,陈子扬,胡方瑞,时元斌
受保护的技术使用者：北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司
技术研发日：20240403
技术公布日：2024/11/4