一种低振高洁净真空阀的制作方法

本技术涉及真空阀，尤其涉及一种低振高洁净真空阀。

背景技术：

1、传输阀的作用就是在维持既定真空度需求的同时，来传输各种物料。主要是工作在各种工艺腔体之间。目前传输门使用最多的场合就是半导体行业的晶圆传输、液晶等有机面板的传输。这类产品有共同的特点就是极易被污染粒子损坏，因此传输阀最重要的特性就是低粒子性。金属阀门的粒子产生主要来源于金属零部件之间的摩擦，会产生各种金属碎屑。因此要提高传输阀的低粒子性就需要尽可能避免发生金属摩擦。目前国内传输阀多是阀板直上直下型运动，这样会造成阀板与壳体的金属摩擦，故当前国内的半导体设备公司多是采用进口的低粒子传输阀，这样不仅增加了企业的成本，因为国外的技术封锁，也面临着断供的风险。因此目前传输阀市场随着国产化替代的兴起，将会有巨大的市场前景。

2、当前在传统真空领域应用较广泛的阀门大都采用如下形式的设计：

3、1.直接由单作用气缸驱动阀板进行上下运动，通过传统阀芯结构进行密封；

4、2.同样采用单作用气缸驱动阀板上下运动的同时，将阀板密封圈改为异形结构进行挤压密封；

5、但是以上形式的设计存在以下问题：

6、1.开关阀时，阀芯金属面与阀体金属面直接接触，易磨损产生粉尘和污染颗粒；

7、2.异形密封圈的材料为橡胶，在多次挤压后易产生严重磨损，进而产生污染颗粒。

8、以上缺点导致传统传输阀不符合半导体等高端市场的应用要求。

9、半导体行业对晶圆的质量要求非常高，任何粒子的污染或振动都可能导致产品质量下降或废品率增加。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型解决了目前真空阀易磨损产生粉尘和污染颗粒以及振动较多的问题。

2、一种低振高洁净真空阀，包括气缸筒，所述气缸筒下端设置有气缸座，气缸座下端设置有顶盖，顶盖下端设置有阀壳，所述气缸筒内部设置有阀杆，阀杆顶端与气缸筒固定连接，阀杆底端与连接块固定连接。

3、进一步地，还包括阀壳底部设置有横向气缸，连接块与横向气缸固定连接，横向气缸底部还设置有调节阀，横向气缸与调节阀固定连接，横向气缸外侧设置有阀板固定块，横向气缸与阀板固定块固定连接，阀板与阀板固定块固定连接。

4、进一步地，还包括气缸筒为倒置锥筒，气缸筒顶部设置有关阀气嘴，气缸筒内部设置有活塞，活塞表面设置有活塞密封圈，活塞底部与阀杆连接。

5、进一步地，还包括阀杆内部设置有阀杆中心气路，阀杆中心气路两侧设置有阀杆边缘气路。

6、进一步地，还包括连接块底部预留有行程空腔。

7、进一步地，还包括阀壳底部设置有阀口，阀口为矩形通槽。

8、进一步地，还包括阀板为矩形平板，其表面水平方向平行设置有两条梯形凹槽，凹槽内部设置有阀板密封圈，阀板密封圈设置在阀口边缘外侧。

9、进一步地，还包括横向气缸顶部设置有横向气缸盖，横向气缸中心处设置有横向气缸活塞，横向气缸与阀板间设置有阀板缓冲垫。

10、本实用新型的有益效果：

11、1.阀门低粒子性能：通过杜绝物料通过阀口的腔体内的金属摩擦，最大限度的减少了低粒子的产生；

12、2.低振动性能：通过增加各个轴向运动处的导向环，使阀门的开关过程更加稳定；

13、3.模块化设计，易拆卸：阀门整体结构采用模块化设计，避免了零件之间的焊接，因此在拆卸零部件时更加的简易和方便；

14、4.气缸、活塞结构紧凑：独特的气缸、活塞结构大幅优化了真空阀安装的空间需求。

技术特征：

1.一种低振高洁净真空阀，其特征在于，包括气缸筒（1），所述气缸筒（1）下端设置有气缸座（2），气缸座（2）下端设置有顶盖（3），顶盖（3）下端设置有阀壳（4），所述气缸筒（1）内部设置有阀杆（5），阀杆（5）顶端与气缸筒（1）固定连接，阀杆（5）底端与连接块（7）固定连接；

2.根据权利要求1所述的一种低振高洁净真空阀，其特征在于，还包括阀杆（5）内部设置有阀杆中心气路（501），阀杆中心气路（501）两侧设置有阀杆边缘气路（502）。

3.根据权利要求1所述的一种低振高洁净真空阀，其特征在于，还包括连接块（7）底部预留有行程空腔（703）。

4.根据权利要求1所述的一种低振高洁净真空阀，其特征在于，还包括阀壳（4）底部设置有阀口（41），阀口（41）为矩形通槽。

5.根据权利要求1所述的一种低振高洁净真空阀，其特征在于，还包括阀板（8）为矩形平板，其表面水平方向平行设置有两条梯形凹槽，凹槽内部设置有阀板密封圈（81），阀板密封圈（81）设置在阀口（41）边缘外侧。

6.根据权利要求1所述的一种低振高洁净真空阀，其特征在于，还包括横向气缸（6）顶部设置有横向气缸盖（61），横向气缸（6）中心处设置有横向气缸活塞（62），横向气缸（6）与阀板（8）间设置有阀板缓冲垫（63）。

技术总结
本技术公开了一种低振高洁净真空阀，包括气缸筒，所述气缸筒下端设置有气缸座，气缸座下端设置有顶盖，顶盖下端设置有阀壳，所述气缸筒内部设置有阀杆，阀杆顶端与气缸筒固定连接，阀杆底端与连接块固定连接，阀门低粒子性能：通过杜绝物料通过阀口的腔体内的金属摩擦，最大限度的减少了低粒子的产生；低振动性能：通过增加各个轴向运动处的导向环，使阀门的开关过程更加稳定；模块化设计，易拆卸：阀门整体结构采用模块化设计，避免了零件之间的焊接，因此在拆卸零部件时更加的简易和方便；气缸、活塞结构紧凑：独特的气缸、活塞结构大幅优化了真空阀安装的空间需求。

技术研发人员：王莲冀,魏琼林,郭宇潇,周思遥,林江,罗一
受保护的技术使用者：成都中科唯实仪器有限责任公司
技术研发日：20240428
技术公布日：2024/12/19