一种电磁隔断/充气阀的制作方法

文档序号:5584483阅读:246来源:国知局
专利名称:一种电磁隔断/充气阀的制作方法
技术领域
本实用新型公开一种电磁隔断/充气阀,特别适于跨接在真空泵与真空系统中间使用,属在衔铁和闭合元件之间有附加机构的阀技术的改进。
电磁隔断/充气阀是真空技术领域中应用最广泛的一种阀门,是粗真空系统部分机械泵不可缺少的配套阀门,是保护机械泵和真空系统的重要阀门,它安装在机械泵与真空系统之间的机械泵的抽气口上,其电源接在机械泵的电源上,当机械泵停止工作或断电时,该阀门自动将真空系统管道封闭,同时向机械泵里充气(大气)以防止机械泵油返到真空系统里,当起动泵时,阀门自动打开并将充气孔堵死。然而,现有的各种电磁隔断/充气阀并未起到应有的作用,当泵停止工作或断电时,虽然能向机械泵充气防止机械泵油直接返到真空系统里,但不可避免的也将大气充到真空系统里,因而又必然的将油蒸汽带到真空系统里,如果一个真空系统保持为负压时(这是很多用户的习惯作法),当重新起动机械泵时又不可避免的将大气灌到真空系统里,并因而必然的将油蒸汽也带到真空系统里,含有水蒸汽的大气(大气都含有水蒸汽)和油蒸汽进入真空系统是极其有害的,特别是对高真空和超高真空系统就更有害,它不仅影响真空度,更影响真空的质量,对真空工作质量(镀膜等)产生严重的不良影响,由于停泵,开泵和断电将大气和油蒸汽吸入真空系统的问题一直是困扰着真空系统工作者的问题。
本实用新型的目的就是针对上述存在的问题而提供一种当泵在开启或停止过程中或在停、断电事故中都能有效的保证不向真空系统返油、不灌大气的一种使用可靠、性能稳定、结构简单、制造容易,适用广泛的电磁隔断/充气阀。
本实用新型的目的是这样实现的,其是由具有直角两通阀门和电磁铁结合而成的一种电磁隔断/充气阀,由一具两重直通道的阀体,在阀体内与密封面相配合的阀瓣、串接并压在电磁铁与阀体后止口之间的阀盖、穿插在电磁铁与阀瓣后套筒内的衔铁等组成,其特征是在衔铁与阀瓣之间还附加设置有延时差动机构,其组成为在衔铁前端与阀瓣后套筒相穿插位置处开有一长条孔,其中穿插有与阀瓣后套筒相固接的销钉,在衔铁与阀瓣套筒之间还预置有预拉弹簧穿套在衔铁前端,在阀体内与阀瓣后套筒之间还预置穿套有预紧弹簧,被压紧在阀盖与阀瓣之间,在圆环状阀盖体内沿径向设置有一排气阀组件,其上在阀杆所在位置处的阀盖体上开有一轴向通孔与阀体腔之间形成通道,在与排气阀阀杆所在对应位置处的衔铁上,沿轴向还开有凹槽,其上排气阀组件由弹簧、阀杆、O型密封组成,其上部开有通孔与大气相通。
本实用新型一种电磁隔断/充气阀的提出不仅能在停泵或断电时保证机械泵不向真空系统返油、又可保证在停泵、断电和启动泵时大气不会进入真空系统中,从而也就可靠的杜绝了大气将油蒸汽带入到真空系统的这一不理想的情况发生,也就从根本上保证了真空系统能在高性能、高质量的状态下运行。


图1为本实用新型电磁隔断/充气阀结构示意图。
图2为图1左视图。
下面结合实施例进一步阐明本实用新型技术特征。
实施例 一种真空镀膜机上使用的电磁隔断/充气阀(见图1)本实施例是本实用新型电磁隔断/充气阀在真空镀膜机上应用的一种实施方案,本实施例中电磁隔断/充气阀的水平接口与真空镀膜机接口相连,其垂直接口与真空泵抽气口相连,泵阀同步控制,本实施例中的电磁隔断/充气阀由一具两垂直通道的阀体(1)、在阀体内与密封面相配合的阀瓣(2)、″O″型密封圈(3)、串接在电动磁铁(17)与阀体(1)后止口之间的用″O″型密封圈(10)密封的阀盖(15)、经端盖(18)由螺杆(19)穿接在一起、以及由穿插在电磁铁(17)与阀瓣后套筒内的衔铁(16)等组成,其特征是在衔铁(16)与阀瓣(2)之间还附加设置有延时差动机构,其组成为在衔铁前端与阀瓣套筒相穿插位置处开有一长条孔(5),其中穿插有与阀瓣(2)后套筒相固接的销钉(6),在衔铁(16)与阀瓣后套筒之间还预置有预拉弹簧(4),穿套在衔铁(16)前端,在阀体(1)内与阀瓣后套筒(2)之间还预置穿套有预紧弹簧(7),被压紧在阀盖(15)与阀瓣(2)之间,在圆环状阀盖(15)体内沿径向设置有排气阀组件,其所在位置处的阀盖体上开有一通孔(9)与阀体内腔形成通道,在与排气阀阀杆(11)所在对应位置处的衔铁上沿轴向还开有凹槽(8);上述排气阀组件由弹簧(13)、″O″型密封圈(14)、阀杆(11)组成,阀上有气孔(12)与大气相通。
本实施例阀体(1)两垂直通道还可设计成具有任一夹角的″V″型通道形状,以适应各种不同设备的使用要求。
本实施例阀体两垂直通道连接法兰即可采用快速接头的连接方式,也可采用螺旋连接方式进行连接。
图1为本实施例电磁隔断/充气阀在停止工作状态时的结构位置示意图。工作时,当启动真空泵的瞬间由于泵阀同步控制、电磁隔断/充气阀的电动磁铁同步启动,带动衔铁向左运动,这时排气阀中的弹簧(13)将阀杆(11)压下进入衔铁凹槽(8)中,使排气阀闭合断绝与外大气通路,与此同时真空泵将阀体(1)腔内抽成真空,直到衔铁前端的长条孔(5)另一端面与销钉(6)相接并带动阀瓣(2)左转,从而打开真空系统进行抽气作业,这样长条孔一侧面与销钉之间的延时间隙就为阀瓣的打开向后推迟一段时间,在这段时间里由排气阀先行动作封闭系统与大气通路,同时又使真空泵对阀体(1)腔内抽气,就可保证当打开真空系统对可绝对保证没有大气进入到真空系统,即镀膜机内,同样,当停止泵抽工作时,电磁铁断电衔铁失去约束,这时在预紧弹簧(7)的回弹作用迅速将阀瓣(2)压向阀体(1),密封面封闭真空系统即镀膜机腔体,这之后由于衔铁上的长条孔与销钉之间有一段延时间隙,在预拉弹簧(4)的拉回作用使衔铁继续向右移动,则同时又使排气阀门的阀杆离开衔铁凹槽中而上移压缩弹簧(13)打开排气阀,使令阀体(1)腔内与外界大气相通,使外界大气向真空泵内充气以防止泵内油蒸汽进入真空系统通道内。这样本实施例电磁隔断/充气阀通过延时差动机构的协调动作,可使泵在停止工作时先将真空系统封闭,然后再打开排气阀向真空泵中充气,当启动泵工作时,则先将排气阀关闭并抽出真空泵内的大气,然后再打开真空系统进行抽真空作业,就不仅能在停泵或断电对保证真空泵不向真空系统返油,又能在停泵、断电和启动泵时完全可靠的使大气不能进入真空系统,因而也十分可靠的保证使大气不能将油蒸汽带入到真空系统,这就从根本上提高了真空系统的工作质量,使真空镀膜机的性能有了很大的提高。本实施例电磁隔断/充气阀性能稳定,工作可靠,结构简单,制造容易,可在更广泛的领域内得到应用。
本实施例中排气阀还可采用针阀结构。
凡与本实用新型具同一构思的所有实施方案都属本实用新型保护范围之内。
权利要求1.一种电磁隔断/充气阀,由一具两重直通道的阀体,在阀体内与密封面相配合的阀瓣、串接并压在电磁铁与阀体后止口之间的阀盖、穿插在电磁铁与阀瓣后套筒内的衔铁等组成,其特征是在衔铁与阀瓣之间还附加设置有延时差动机构,其组成为在衔铁前端与阀瓣后套筒相穿插位置处开有一长条孔,其中穿插有与阀瓣后套筒相固接的销钉,在衔铁与阀瓣套筒之间还预置有预拉弹簧穿套在衔铁前端,在阀体内与阀瓣后套筒之间还预置穿套有预紧弹簧,被压紧在阀盖与阀瓣之间,在圆环状阀盖体内沿径向设置有一排气阀组件,其上在阀杆所在位置处的阀盖体上开有一轴向通孔与阀体腔之间形成通道,在与排气阀阀杆所在对应位置处的衔铁上,沿轴向还开有凹槽,其上排气阀组件由弹簧、阀杆、O型密封组成,其上部开有通孔与大气相通。
2.按照权利要求1所述的电磁隔断/充气阀,由一具两垂直通道的阀体(1)、在阀体内与密封面相配合的阀瓣(2)、″O″型密封圈(3)、串接在电动磁铁(17)与阀体(1)后止口之间的用″O″型密封圈(10)密封的阀盖(15)、经端盖(18)由螺杆(19)穿接在一起、以及由穿插在电磁铁(17)与阀瓣后套筒内的衔铁(16)等组成,其特征是在衔铁(16)与阀瓣(2)之间还附加设置有延时差动机构,其组成为在衔铁前端与阀瓣套筒相穿插位置处开有一长条孔(5),其中穿插有与阀瓣(2)后套筒相固接的销钉(6),在衔铁(16)与阀瓣后套筒之间还预置有预拉弹簧(4),穿套在衔铁(16)前端,在阀体(1)内与阀瓣后套筒(2)之间还预置穿套有预紧弹簧(7),被压紧在阀盖(15)与阀瓣(2)之间,在圆环状阀盖(15)体内沿径向设置有排气阀组件,其所在位置处的阀盖体上开有一通孔(9)与阀体内腔形成通道,在与排气阀阀杆(11)所在对应位置处的衔铁上沿轴向还开有凹槽(8);上述排气阀组件由弹簧(13)、″O″型密封圈(14)、阀杆(11)组成,阀上有气孔(12)与大气相通。
3.按照权利要求1或2所述的电磁隔断/充气阀,其特征是阀体(1)两垂直通道还可设计成具有任一夹角的″V″型通道形状。
4.按照权利要求1或2所述的电磁隔断/充气阀,其特征是阀体两垂直通道连接法兰即可采用快速接头的连接方式,也可采用螺旋连接方式进行连接。
专利摘要本实用新型公开一种电磁隔断/充气阀,其由具有直角两通阀门和电磁铁结合组成,在衔铁和阀瓣之间还附加设置有延时差动机构,使该电磁隔断/充气阀串接在真空系统与真空泵之间,使用时使泵在运转和停止工作过程中,都能完好的保证不向真空系统返油和灌入大气,进而保证了真空系统的高质量运行状态。
文档编号F16K1/00GK2392039SQ99224990
公开日2000年8月16日 申请日期1999年9月3日 优先权日1999年9月3日
发明者刘立宁 申请人:刘立宁
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