专利名称：一种三层式管道加热块的制作方法
技术领域：
本实用新型属半导体及太阳能技术领域，特别是涉及一种三层式管道加热块。
背景技术：
在目前的工业生产中，很多行业需要气体作为工业原料。特别是目前发展迅猛的 半导体，太阳能，发光二极管和平面显示行业，需要大量的硅烷等气体，以满足工艺生产的需要。 为了在有限的容积内包装更多的气体，通常气体源采用的是高压气体储存方式， 一般钢瓶内的气体会被加压到150个大气压左右，这样高压气体释放到常压后体积能够膨 胀到150倍。这样就大大节省的气体的包装，运输费用。 而气体体积膨胀过程是个吸热的过程，例如在管道内输送的气体经过减压阀降 低气体压力的过程中，若额外提供足够的热量给管道和减压阀，则管道和减压阀会由于被 气体减压过程吸收了过多的热量而温度降低，甚至达到零摄氏度以下，产生结露，结霜的现 象。在这种情况下若继续输送气体，则可能导致加压阀冻伤，损坏，或气体流量无法达到设 计要求。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种采用三层加热铝块，在铝块的浇铸过 程中不与气体管路部分接触，从而避免了整体式气体管路加热块在浇铸过程中，不锈钢气 体管路由于受热而氧化，损伤，造成不锈钢的抗腐蚀能力与洁净度大大降低，进而影响输送 气体的品质的三层式管道加热块。 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是提供一种三层式管道加热块， 包括加热铝块，导热硅胶，气体管路及相应电器控制盒，所述的加热铝块与温度传感器组成 闭环控制，所述的加热铝块包括左部加热铝块、中部加热铝块和右部加热铝块，左部加热铝 块和中部加热铝块之间有第一气体管路，中部加热铝块和右部加热铝块之间有第二气体管 路，中部加热铝块的上顶部有电器控制盒，左部加热铝块和第一气体管路、第一气体管路和 中部加热铝块、中部加热铝块和第二气体管路、第二气体管路和右部加热铝块之间均填充 导热硅胶。 所述的加热铝块内预埋过温保护开关。 有益效果 本实用新型采用三层加热铝块控制，在铝块的浇铸过程中不与气体管路部分接
触，从而避免了整体式气体管路加热快在浇铸过程中，不锈钢气体管路由于受热而氧化，损
伤，造成不锈钢的抗腐蚀能力与洁净度大大降低，进而影响所输送气体的品质。 整个加热系统主要为加热器件、温度传感器组成的闭环控制，若由于任何原因导
致加热失控，为避免温度过高导致可能潜在的危险，加热块内预埋的过温保护开关能够在
特定的温度自动切断加热环路的供电，以保证系统安全。
图1为本实用新型的主视图。 图2为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本 实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容 之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申 请所附权利要求书所限定的范围。 如图1、2所示， 一种三层式管道加热块，包括加热铝块，导热硅胶，气体管路及相 应电器控制盒，所述的加热铝块与温度传感器组成闭环控制，所述的加热铝块包括左部加 热铝块1、中部加热铝块3和右部加热铝块5，左部加热铝块1和中部加热铝块3之间有第 一气体管路2，中部加热铝块3和右部加热铝块5之间有第二气体管路4，中部加热铝块3 的上顶部有电器控制盒6，左部加热铝块1和第一气体管路2、第一气体管路2和中部加热 铝块3、中部加热铝块3和第二气体管路4、第二气体管路4和右部加热铝块5之间均填充 导热硅胶。 在加热铝块中埋有加热器件，温度传感器及过温保护开关。在实际应用中，三块铝 块夹住气体管路，加热铝块与气体管路中用导热硅胶填充，以增加热传递。由于铝块和导热 硅胶的导热系数很高，因此降低加热器件产生热量的热损失，增加管路气体的加热效率。
权利要求一种三层式管道加热块，包括加热铝块，导热硅胶，气体管路及相应电器控制盒，其特征在于所述的加热铝块与温度传感器组成闭环控制，所述的加热铝块包括左部加热铝块(1)、中部加热铝块(3)和右部加热铝块(5)，左部加热铝块(1)和中部加热铝块(3)之间有第一气体管路(2)，中部加热铝块(3)和右部加热铝块(5)之间有第二气体管路(4)，中部加热铝块(3)的上顶部有电器控制盒(6)，左部加热铝块(1)和第一气体管路(2)、第一气体管路(2)和中部加热铝块(3)、中部加热铝块(3)和第二气体管路(4)、第二气体管路(4)和右部加热铝块(5)之间均填充导热硅胶。
2. 根据权利要求1所述的一种三层式管道加热块，其特征在于所述的加热铝块内预 埋过温保护开关。
专利摘要本实用新型涉及一种三层式管道加热块，包括加热铝块，导热硅胶，气体管路及相应电器控制盒，所述的加热铝块与温度传感器组成闭环控制，所述的加热铝块包括左部加热铝块(1)、中部加热铝块(3)、右部加热铝块(5)之间有气体管路，中部加热铝块(3)的上顶部有电器控制盒(6)，加热铝块与气体管路之间均填充导热硅胶。本实用新型提高了气体管路的耐腐蚀性及输送气体的品质，加热块内预埋的过温保护开关能够在特定的温度自动切断加热环路的供电，以保证系统安全。
文档编号F17D1/05GK201539691SQ20092021034
公开日2010年8月4日 申请日期2009年9月29日 优先权日2009年9月29日
发明者于锋, 金悦 申请人:上海昕通半导体设备有限公司;上海正帆科技有限公司;上海亿欣电子科技有限公司