专利名称：节能型液态气体汽化器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种将液态气体转化成气态气体的汽化器。
背景技术：
随着现代工业的快速发展，各种气体在工业上的使用量逐渐增加，为了便于运输 和储存，用户通常购置液态气体然后再将之转化成气态气体供给需要使用气体的设备。目 前，液态气体通常存放在低温压力罐中，通过调压箱和汽化器将液态气体转化成气态气体， 其中汽化器的功能是将液态气体转化成气态气体。根据气体三种形态转换规律，要将液态 气体转化成气态，必须吸收大量的热量，若在转化过程中吸热不足将会影响转化速率和供 气压力。目前，常用的汽化器为管式结构，为了提高吸热效果，防止吸热不足，人们通过在管 道外增设吸热片和增加汽化器的外露表面来增大吸热量；为了更好地提高汽化效果，还有 人在汽化器管道外增设电加热器。在太阳能电池生产过程中，既有烧结炉、PECVD扩散炉、单 晶炉等设备需要循环冷却水进行冷却，又有许多设备需要使用氮气和氩气等气体，所用气 体都是由液态气体经汽化器转换提供的。在这类设备的生产过程中，都需要消耗能量，一方 面，所有用气设备所需的气体都要由汽化器来调配，而常规的管式汽化器转化效果受环境 温度影响很大，尤其在冬天，汽化管道外壁上会有大量的冷凝水附着，严重的话会在汽化管 道外壁上形成厚厚的冰块，这样会影响液体汽化器的汽化效果，造成气体使用地气压不足， 液化能力和汽化能力均不能达到生产的要求。最好的解决方案是在汽化器外增加电加热 器，但电加热器的使用成本太高。另一方面，烧结炉、PECVD扩散炉、单晶炉等设备在工作过 程中需要用循环冷却水进行冷却，在其冷却装置中必须配备专用的制冷设备。若将液态气 体汽化器与单晶炉或烧结炉或PECVD扩散炉设备的循环冷却装置结合起来，能大幅度降低 电能消耗，实现单晶炉或烧结炉或PECVD扩散炉设备排放热能的循环利用，寄予这一思路， 申请人:经过研究和试验，成功地研制出相应的节能型液态气体汽化器。
发明内容
本发明提供了 一种节能型液态气体汽化器。采用这种液态气体汽化器，既能满足液态气体向气态转化过程中的吸热要求，确 保供气压力的稳定性，又能满足单晶炉等排热设备的循环冷却需要，实现生产过程中余热 的再利用，大幅度降低能耗，节约生产成本。本发明所采用的技术方案是所述节能型液态气体汽化器，其特征是它包括液态气体导入管、集成转换管、气 体导出管、水箱、热水进口和冷水出口，集成转换管置于水箱中，且位于液态气体入口和气 体出口之间，集成转换管由多根金属支管并联连接而成，各金属支管相互连通，在水箱上设 有热水进口和冷水出口，且热水进口设置在气体导出管的一侧，冷水出口设置在液态气体 导入管的一侧。进一步，在水箱的外表设有保温层。
本发明的工作原理如下
储存在压力罐内的液态气体经调压箱降压后流入本发明的液态气体导入管中，然 后流入集成转换管，通过金属支管分流，液态气体经集成转换管进行热面积的扩大，由于集 成转换管置于水箱中，水箱内由单晶炉或烧结炉或PECVD扩散炉等放热设备循环冷却装置 提供热水，从热水进口流入，从冷水出口流出，液态气体由水箱中的热水提供转换热能，排 出的冷却水再由冷水管输入排热设备的冷却装置中。这样，既能确保液态气体汽化器的汽 化效果，使得气体导出管所输出的气体压力稳定，又能为其它排热设备提供冷却水。采用这 种液态气体汽化器，既能满足液态气体向气态转化过程中的吸热要求，确保供气压力的稳 定性，又能满足单晶炉等排热设备的循环冷却需要，实现生产过程中余热的再利用，大幅度 降低能耗，节约生产成本。
图1为本发明的结构示意图；图2为本发明的一种应用方案原理示意图；图中1_液态气体导入管；2-集成转换管；21-金属支管；3-气体导出管；4-水 箱；5-热水进口 ；6-冷水出口 ；7-保温层；8-压力罐；9-调压箱；10-冷水管；11-单晶炉； 12-单晶炉冷却装置；13-热水管；14-热水池；15-循环泵；16-输气管。
具体实施例方式下面结合
本发明的具体实施方案本发明所述节能型液态气体汽化器，如附图1、图2所示，它由液态气体导入管1、 集成转换管2、气体导出管3、水箱4、热水进口 5、冷水出口 6和保温层7组成，集成转换管 2置于水箱4中，且位于液态气体导入管1和气体导出管3之间，集成转换管2由多根金属 支管21并联连接而成，各金属支管21相互连通，在水箱4上设有热水进口 5和冷水出口 6， 且热水进口 5设置在气体导出管3的一侧，冷水出口 6设置在液态气体导入管1的一侧，在 水箱4的外表设有保温层7。图2是本发明在单晶炉设备上的热能循环利用的工作原理图，储存在压力罐8内 的液态气体经调压箱9降压后流入本发明中，即从液态气体导入管1流入集成转换管2中， 然后通过金属支管21分流，同时进行吸热面积的扩大，促使液态气体吸热汽化，液态气体 经过本发明的气态转化产生的气体经输气管16供给单晶炉11使用。由于单晶炉11在生产 过程中会产生大量的热量，需要用冷却水进行连续冷却，所排出热水经热水管13排入热水 池14中，再由循环泵15抽出从热水进口 5流入水箱4中，为液态气体转化提供转换热能， 形成的冷水则从冷水出口 6流出，经冷水管10输入单晶炉冷却装置12中。这样就能将单 晶炉冷却装置12所排出的热水用于液氮的汽化。采用这种液态气体汽化器，既能满足液态 气体向气态转化过程中的吸热要求，确保供气压力的稳定性，又能满足单晶炉等排热设备 的循环冷却需要，实现生产过程中余热的再利用，大幅度降低能耗，节约生产成本。
权利要求
一种节能型液态气体汽化器，其特征是它包括液态气体导入管(1)、集成转换管(2)、气体导出管(3)、水箱(4)、热水进口(5)和冷水出口(6)，集成转换管(2)置于水箱(4)中，且位于液态气体导入管(1)和气体导出管(3)之间，集成转换管(2)由多根金属支管(21)并联连接而成，各金属支管(21)相互连通，在水箱(4)上设有热水进口(5)和冷水出口(6)，且热水进口(5)设置在气体导出管(3)的一侧，冷水出口(6)设置在液态气体导入管(1)的一侧。
2.根据权利要求1所述节能型液态气体汽化器，其特征是在水箱(4)的外表设有保 温层(7) ο
全文摘要
本发明公开了一种节能型液态气体汽化器，它利用放热设备所产生的热水使集成转换管中的液态气体吸热汽化，它包括液态气体导入管、集成转换管、气体导出管、水箱、热水进口、冷水出口和保温层，集成转换管置于水箱中，且位于液态气体导入管和气体导出管之间，集成转换管由多根金属支管并联连接而成，各金属支管相互连通，在水箱上设有热水进口和冷水出口。这种汽化器既有很好的汽化效果，输气压力稳定，又能为其它排热设备提供冷却水。能很好地实现生产过程中余热的再利用，大幅度降低能耗，节约生产成本。
文档编号F17C7/04GK101876399SQ20101013469
公开日2010年11月3日 申请日期2010年3月19日 优先权日2010年3月19日
发明者姚伟忠 申请人:常州亿晶光电科技有限公司