专利名称：管路系统及管路系统泄露检测方法
技术领域：
本发明涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种管路系统及管路系统泄露检测方法。
背景技术：
在集成电路制造领域，半导体器件都需要经过许多的工艺步骤才得以完成，而这些工艺步骤几乎都需要使用化学试剂来完成。例如，在湿法刻蚀过程中，需要使用氢氟酸、 硫酸以及氨水等化学试剂；在化学机械研磨过程中，则需要使用柠檬酸溶液。因此，在半导体工厂中，都会设置有管路系统，利用管路系统的管路的配置及控制装置等元件，将化学试剂配送至各个工艺机台。随着管路系统的管路数量越来越多，由于老化、腐蚀、磨损等原因， 在两个管路的连接处发生化学试剂泄漏是很难避免的。目前，管路系统泄漏的检测方法主要有两类直接检测法和间接检测法。直接检测法主要采用物理或化学的方法，如铺设湿度传感器、安装导流开关等方法直接探测泄漏的液体，例如申请号为94204155. 0以及942^766. 4等中国专利均是基于泄漏的液体直接触发传感器而实施检测的。间接泄漏法是指根据管路泄漏所造成的流量、压力、声音等物理状态参数的变化而实施测量，其主要检测方法有负压波法、质量平衡法、实时模型法、压力梯度法、应力波法、声波法等，基于间接检漏法实施检测的检测装置较多，例如申请号为 200510020194. 2的中国专利公开的便携式的管道泄漏检测仪。但是，在上述的这些检测方法中，均是基于液体泄漏到达一定程度时才能检测到泄漏特征量的变化，而对于管路的化学试剂的微量泄漏则无法及时预测。因此，在半导体工厂中，会安排工作人员定期检查管路系统，以通过肉眼观测来判断管路系统(尤其是两个管路的连接处)是否有化学试剂泄漏。但是，当仅有微量的化学试剂泄漏时，工作人员也是很难观测到的。而对于半导体制程而言，所使用的化学试剂均是具有强腐蚀性的酸性溶液或碱性溶液，这些化学试剂即使微量泄漏也会危害到无尘室内的工作人员的身体健康，并污染无尘室的环境，造成难以估量的损失。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种管路系统，以解决现有的管路系统无法有效检测化学试剂的微量泄漏的问题。本发明的另一目的在于，提供一种管路系统泄露检测方法，以有效检测管路连接处化学试剂的微量泄漏。为解决上述技术问题，本发明提供一种管路系统，所述管路系统包括第一管路以及与所述第一管路连接的第二管路，所述管路系统还包括设置于所述第一管路与所述第二管路连接处的PH试纸。可选的，在所述管路系统中，所述PH试纸粘附在所述第一管路与所述第二管路的连接处。
可选的，在所述管路系统中，所述PH试纸捆扎在所述第一管路与所述第二管路的连接处。可选的，在所述管路系统中，所述第一管路与所述第二管路通过螺纹连接。可选的，在所述管路系统中，所述第一管路与所述第二管路的连接处设置有阀门， 所述PH试纸设置于所述第一管路与所述阀门的连接处，所述PH试纸设置于所述第二管路与所述阀门的连接处。可选的，在所述管路系统中，所述第一管路与所述第二管路的连接处设置有法兰， 所述PH试纸设置于所述第一管路与所述法兰的连接处，所述PH试纸设置于所述第二管路与所述法兰的连接处。可选的，在所述管路系统中，所述第一管路与所述第二管路的连接处设置有卡套， 所述PH试纸设置于所述第一管路与所述卡套的连接处，所述PH试纸设置于所述第二管路与所述卡套的连接处。本发明还提供一种管路系统泄露检测方法，所述管路系统包括第一管路、与所述第一管路连接的第二管路、以及设置于所述第一管路与第二管路连接处的PH试纸，所述第一管路和第二管路内部容纳有化学试剂，所述化学试剂是酸性溶液或碱性溶液，所述管路系统泄露检测方法包括观察所述PH试纸的颜色是否变化；若所述PH试纸的颜色发生变化，则判断所述第一管路与第二管路的连接处发生化学试剂泄露；若所述PH试纸的颜色未发生变化，则判断所述第一管路与第二管路的连接处未发生化学试剂泄露。与现有技术相比，本发明具有以下优点本发明提供的管路系统包括设置于第一管路与第二管路连接处的PH试纸，一旦所述管路系统发生化学试剂泄漏，渗出的化学试剂会立即被PH试纸吸收，所述PH试纸的颜色就会发生变化，因此，工作人员在检查管路系统的过程中，可通过观察PH试纸的颜色是否变化来判断管路系统是否有化学试剂泄漏。
图1为本发明一实施例提供的管路系统的示意图；图2为本发明另一实施例提供的管路系统的示意图；图3为本发明再一实施例提供的管路系统的示意图；图4为本发明又一实施例提供的管路系统的示意图。
具体实施例方式下面将结合示意图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。 因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。本发明的核心思想在于，提供一种管路系统以及管路系统泄露检测方法，所述管路系统包括设置于第一管路与第二管路连接处的PH试纸，一旦所述管路系统发生化学试剂泄漏，渗出的化学试剂会立即被所述PH试纸吸收，所述PH试纸的颜色就会发生变化，因此，工作人员在检查管路系统的过程中，可通过观察所述PH试纸的颜色是否变化来判断所述管路系统是否有化学试剂泄漏。请参考图1，其为本发明一实施例提供的管路系统的示意图。如图1所示，所述管路系统100包括第一管路110、第二管路120以及PH试纸130，所述第二管路120与第一管路110连接，所述PH试纸130设置于所述第一管路110与第二管路120的连接处。所述PH 试纸130的成本低廉，并可有效检测管路系统100是否发生了化学试剂泄漏现象，若所述管路系统100发生了化学试剂泄漏，渗出的化学试剂会被PH试纸130吸收，所述PH试纸130 的颜色就会发生变化，因此，工作人员在检查管路系统100的过程中，可通过观察PH试纸 130的颜色是否变化，来判断所述管路系统100是否有化学试剂微量泄漏。在本发明一实施例中，所述第一管路110设置有内螺纹，所述第二管路120设置有外螺纹，所述第一管路110与第二管路120是通过螺纹直接连接的，所述PH试纸130设置于第一管路110与第二管路120的螺纹连接处。在本发明一实施例中，所述PH试纸130可利用双面胶粘附在所述第一管路110与第二管路120的连接处。然而应当认识到，也可利用其它方式将所述PH试纸130固定在第一管路110与第二管路120的连接处，例如，可利用扎带将PH试纸130捆扎在所述第一管路110与第二管路120的连接处。在本发明一实施例中，所述PH试纸130的长度大于所述第一管路110与第二管路 120的周长，以使PH试纸130覆盖第一管路110与第二管路120的连接处，从而确保在第一管路110与第二管路120连接处有化学试剂泄漏时，渗出的化学试剂会被PH试纸130吸收。请参考图2，其为本发明另一实施例所提供的管路系统的示意图。如图2所示，所述第一管路110与第二管路120的连接处设置有阀门140，所述阀门140可用于控制第一管路110与第二管路120中化学试剂的流量。在本发明另一实施例中，在所述第一管路110 与阀门140的连接处以及第二管路120与阀门140的连接处均设置PH试纸130，以有利于检测每个连接处是否有化学试剂的微量泄漏。当然，所述PH试纸130也可仅设置于第一管路110与阀门140的连接处；或者，所述PH试纸130仅设置于第二管路120与阀门140的连接处。请参考图3，其为本发明再一实施例所提供的管路系统的示意图，如图3所示，所述第一管路110与第二管路120的连接处设置有法兰150。在本发明再一实施例中，在所述第一管路110与法兰150的连接处以及第二管路120与法兰150的连接处均设置PH试纸 130，以有利于检测每个连接处是否有化学试剂的微量泄漏。当然，所述PH试纸130也可仅设置于第一管路110与法兰150的连接处；或者，所述PH试纸130仅设置于第二管路120与法兰150的连接处。请参考图4，其为本发明又一实施例所提供的管路系统的示意图。如图4所示，所述第一管路110与第二管路120的连接处设置有卡套160。在本发明又一实施例中，在所述第一管路110与卡套160的连接处以及第二管路120与卡套160的连接处均设置PH试纸 130，以有利于检测每个连接处是否有化学试剂的微量泄漏。当然，所述PH试纸130也可仅设置于第一管路110与卡套160的连接处；或者，所述PH试纸130仅设置于第二管路120 与卡套160的连接处。本发明实施例还提供一种管路系统泄露检测方法，所述管路系统的第一管路110 和第二管路120内部容纳有化学试剂，所述化学试剂是酸性溶液或碱性溶液，所述管路系统泄露检测方法包括观察PH试纸130的颜色是否变化；若所述PH试纸130的颜色发生变化，则判断所述第一管路110与第二管路120的连接处发生化学试剂泄露；若所述PH试纸130的颜色未发生变化，则判断所述第一管路110与第二管路120的连接处并未发生化学试剂泄露。即使仅有微量的化学试剂泄漏，利用本发明实施例提供的管路系统泄露检测方法也可及时有效的监测到，从而保障无尘室内工作人员的身体健康，并确保这些化学试剂不会危害无尘室的环境。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种管路系统，包括第一管路以及与所述第一管路连接的第二管路，其特征在于，所述管路系统还包括设置于所述第一管路与所述第二管路连接处的PH试纸。
2.如权利要求1所述的管路系统，其特征在于，所述PH试纸粘附在所述第一管路与所述第二管路的连接处。
3.如权利要求1所述的管路系统，其特征在于，所述PH试纸捆扎在所述第一管路与所述第二管路的连接处。
4.如权利要求1所述的管路系统，其特征在于，所述第一管路与所述第二管路通过螺纹连接。
5.如权利要求1所述的管路系统，其特征在于，所述第一管路与所述第二管路的连接处设置有阀门。
6.如权利要求5所述的管路系统，其特征在于，所述PH试纸设置于所述第一管路与所述阀门的连接处。
7.如权利要求5所述的管路系统，其特征在于，所述PH试纸设置于所述第二管路与所述阀门的连接处。
8.如权利要求1所述的管路系统，其特征在于，所述第一管路与所述第二管路的连接处设置有法兰。
9.如权利要求8所述的管路系统，其特征在于，所述PH试纸设置于所述第一管路与所述法兰的连接处。
10.如权利要求8所述的管路系统，其特征在于，所述PH试纸设置于所述第二管路与所述法兰的连接处。
11.如权利要求1所述的管路系统，其特征在于，所述第一管路与所述第二管路的连接处设置有卡套。
12.如权利要求11所述的管路系统，其特征在于，所述PH试纸设置于所述第一管路与所述卡套的连接处。
13.如权利要求11所述的管路系统，其特征在于，所述PH试纸设置于所述第二管路与所述卡套的连接处。
14.一种管路系统泄露检测方法，所述管路系统包括第一管路、与所述第一管路连接的第二管路、以及设置于所述第一管路与第二管路连接处的PH试纸，所述第一管路和第二管路内部容纳有化学试剂，所述化学试剂是酸性溶液或碱性溶液，所述管路系统泄露检测方法包括观察所述PH试纸的颜色是否变化；若所述PH试纸的颜色发生变化，则判断所述第一管路与第二管路的连接处发生化学试剂泄露；若所述PH试纸的颜色未发生变化，则判断所述第一管路与第二管路的连接处未发生化学试剂泄露。
全文摘要
本发明提供了一种管路系统以及管路系统泄露检测方法，所述管路系统包括第一管路、第二管路以及pH试纸，所述第二管路与所述第一管路连接，所述PH试纸设置于所述第一管路与所述第二管路的连接处，所述pH试纸可有效检测所述管路系统是否发生了化学试剂泄漏。
文档编号F17D5/00GK102269325SQ201010192509
公开日2011年12月7日 申请日期2010年6月4日 优先权日2010年6月4日
发明者姚念, 罗钰萌, 谭勇, 郗志通, 银宗强 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司, 武汉新芯集成电路制造有限公司