专利名称：一种液态源的汽化装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种汽化装置，尤其涉及一种液态源汽化装置。
背景技术：
液态源和特种气体一祥，是电子行业的重要原料。液态源常温下蒸汽压很低，以液态存在。但必须转化为气态，才能參与エ艺反应。如光纤预制棒的制造エ艺需要用到SiC14、GeC14、P0C13等液态源。用于芯层和包层的沉积エ艺。硅基太阳能电池生产中用到的P0C13，需要经过氮气携带进入扩散炉，生成PN结。薄膜太阳能电池成产用到的DEZn，蒸发后參与反应，生成TCO玻璃。半导体芯片制造用到的TE0S，经过蒸发进入反应腔，生成Si02绝缘层。芯片制造中用到的TCS，汽化后用于制造硅外延片。エ艺中化学品输送需要使用的输送设备是整个输送系统的关键，而汽化装置又是整个输送设备的核心部分。对于光纤行业，汽化装置的性能好坏将直接影响到预制棒的光学性能，决定了整个系统能否生产出合格预制棒。本申请人在申请号201120160974. 8的实用新型专利中公开了ー种液态源汽化装置，包括汽化容器，其中，所述汽化容器顶部开孔插有鼓泡管路、压カ表和液位计，所述汽化容器设有内部电加热棒和外部加热器，所述汽化容器出ロ处设置有质量流量计和蒸汽出ロ阀门。汽化过程在汽化容器中完成，井根据终端用量需求切換使用蒸发模式或鼓泡模式，来实现汽化过程的控制。但此装置的液位计和加热器焊接固定在装置本体上，装置不可根据需求更换不同材料、规格的液位计和加热器。因此装置的应用灵活性受到局限。本实用新型公布的装置，改良了液位计和加热器的应用形式，可根据需求更换不同的材质、规格的液位计内芯和加热器内芯，使系统压力、液位、温度控制的可操作性更强，装置维护更便利，液态源在汽化过程中的安全稳定性和应用范围、灵活性得到大幅度改善。
发明内容本实用新型的目的是在现有技术的基础上，提供一种液态源汽化装置，用于高纯液态源蒸发或鼓泡功能的实现，使系统在压力、液位、温度精确控制的同时具备更强的可操作性，装置维护更便利，液态源在汽化过程中的安全稳定性和应用灵活性得到大幅度改善。为了达到上述目的，本实用新型提供了一种液态源的汽化装置，其特征在于，汽化装置上设有液位计及加热器，所述液位计包括液位计套管，液位计套管内设有液位计内芯，液位计内芯的上端从液位计套管中露出，液位计套管的上端密封，浮球通过卡簧套于液位计套管外，置于1-100%中的任意液位区间；所述加热器包括加热器套管，加热器套管内设有加热器内芯，加热器内芯的上端从加热器套管中露出，加热器套管的上端密封。所述液位计内芯采用磁簧开关感应内芯。所述的液位计套管采用不锈钢，液位计套管上设有出线，所述出线采用200°C以上耐高温线。所述的浮球采用不锈钢316L。[0010]所述的加热器套管采用不锈钢316L。本实用新型中的液位计与加热器均使用套管与内芯分体式装配，可根据需求选用不同形式的液位计内芯和不同功率、材质的加热器内芯。本实用新型中的加热器由不锈钢加热套管和加热内芯组成，可根据需求更换不同功率、材质的加热内芯。本实用新型应用灵活性强，应用范围广，液位计及加热器的套管的上端都采用卡套、卡箍等快速密封部件，方便更换内芯，更换时不影响装置的正常工作，保证系统稳定性。本实用新型采用高级别材料保证高纯环境，避免污染高纯液态源，有效降低环境污染和人身伤害可能性。本实用新型在现有汽化装置的基础上，改变了液位计和加热器的应用形式，配置的液位计内芯和加热器内芯可根据需要更换材质和规格,使系统压カ、液位、温度控制的可操作性更强，装置维护更便利，液态源在汽化过程中的安全稳定性和应用范围、灵活性得到大幅度改善。
图I为本实用新型提供的一种液态源的汽化装置的结构示意图。图中I、汽化装置；5、限位卡簧；2、液位计套管；6、加热器套管；3、液位计内芯；7、加热器内芯。4、快速密封部件；
具体实施方式
以下结合附图与实施例对本实用新型进行详细描述。实施例如图I所示，为本实用新型提供的ー种新型液态源的汽化装置，在原来的汽化装置I上安装了一个液位计和ー个加热器。液位计由液位计套管2及液位计内芯3组成,液位计内芯3外套上液位计套管2，液位计内芯3的上端从液位计套管2中露出，然后用快速密封部件4将液位计套管2的上端密封，液位计与汽化装置I上端的法兰焊接，并用限位卡簧固定在汽化装置I上。加热器由加热器套管6及加热器内芯7组成，加热器内芯7外套上加热器套管，加热器内芯7的上端从加热器套管6中露出，然后用快速密封部件4将加热器套管6的上端密封，加热器与汽化装置I上端的法兰焊接固定。液位计采用浮球液位计，浮球采用不锈钢浮球，浮球固定在卡簧上，再将卡簧套在液位计套管外。液位计套管采用不锈钢套管，液位计内芯采用带有磁簧开关的感应内芯。液位计指示液位时，当汽化装置I内液位低于补液下限吋，控制阀门打开，开始向汽化装置I内补液，当浮球到达补液上限吋，补液停止。汽化装置I内的液体通过蒸发或鼓泡的方式达到饱和蒸汽压，以气态方式输出。液位计与加热器均使用套管与内芯分体式装配，可根据需求选用不同形式的液位计内芯和不同功率、材质的加热器内芯。更换维护液位计时,不需打开容器密封法兰，只需松开套管顶部快速密封部件，即可完成更换操作。液位计出线采用200°C以上耐高温线，液位计套管2的材质为不锈钢316L，外部经过电解抛光，适用于高纯介质，并且可以耐温180°C以上。加热器套管6采用不锈钢加热套管，不锈钢采用不锈钢316L，耐腐蚀性高，不会污染高纯液态源。加热器套管6及加热器内芯7可根据需求更换不同功率、材质的加热内芯，需要更换或维护加热器时，不需取出套管，只需松开套管顶部的卡套等快速密封部件，更换内芯即可，且更换时装置不需要排空，不需要打开容器法兰盖，不影响装置的正常 工作，保证系统稳定性，大幅度提高了装置应用的范围和灵活性。
权利要求1.一种液态源的汽化装置，其特征在于，汽化装置(I)上还设有液位计及加热器，所述液位计包括液位计套管(I)，液位计套管(2)内设有液位计内芯(3),液位计内芯(3)的上端从液位计套管(2)中露出，液位计套管(2)的上端密封，浮球通过卡簧套于液位计套管夕卜，置于1-100%中的任意液位区间；所述加热器包括加热器套管出)，加热器套管(6)内设有加热器内芯(7)，加热器内芯(7)的上端从加热器套管￠)中露出，加热器套管￠)的上端密封。
2.如权利要求I所述的ー种液态源的汽化装置，其特征在于，所述液位计内芯(3)采用磁簧开关感应内芯。
3.如权利要求I所述的ー种液态源的汽化装置，其特征在于，所述的液位计套管(2)采用不锈钢，液位计套管(2)上设有出线，所述出线采用200°C以上耐高温线。
4.如权利要求I所述的ー种液态源的汽化装置，其特征在于，所述的浮球采用不锈钢316L。
5.如权利要求I所述的ー种液态源的汽化装置，其特征在于，所述的加热器套管(6)采用不锈钢316L。
专利摘要本实用新型公开了一种液态源的汽化装置，其特征在于，汽化装置上还设有液位计及加热器，所述液位计包括液位计套管，液位计套管内设有液位计内芯，液位计内芯的上端从液位计套管中露出，液位计套管的上端密封，浮球通过卡簧套于液位计套管外，置于1-100％中的任意液位区间；所述加热器包括加热器套管，加热器套管内设有加热器内芯，加热器内芯的上端从加热器套管中露出，加热器套管的上端密封。本实用新型在现有汽化装置的基础上，改变了液位计和加热器的应用形式，配置的液位计内芯和加热器内芯可根据需要更换材质和规格，使系统压力、液位、温度控制的可操作性更强，装置维护更便利，液态源在汽化过程中的安全稳定性和应用范围、灵活性得到大幅度改善。
文档编号F17C7/04GK202452106SQ20122006694
公开日2012年9月26日 申请日期2012年2月27日 优先权日2012年2月27日
发明者张敏, 李东升, 缪南山, 龚小雷 申请人:上海正帆半导体设备有限公司, 上海正帆科技有限公司