技术总结
本实用新型创造提供了一种废液自动回收装置，配合蚀刻设备使用，包括依次连接的回收通道、气动阀、中间收集罐、气动隔膜泵、输送管道和收集罐，且气动阀的启动控制端通过第一电磁阀与第一压空管道密封连通，气动隔膜泵的气动控制端通过第二电磁阀与第二压空管道密封连通，中间收集罐内设有液位传感器；液位传感器、第一电磁阀和第二电磁阀均与控制器信号连接。本实用新型创造所述的废液自动回收装置，避免了作业人员直接接触腐蚀液，利用气动隔膜泵进行废液收集，提高了废液收集的速率和安全性，且利用中间收集罐作为缓冲，可以降低废液温度的同时，避免温度对气动隔膜阀的影响，采用自动液位控制启停，避免了人工调整带来的滞后性以及不确定性。
技术研发人员：初亚东
受保护的技术使用者：天津天物金佰微电子有限公司
技术研发日：2018.10.09
技术公布日：2019.09.20