一种控制气流紊流结构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体行业行业，具体是一种控制气流紊流结构。


背景技术：

2.现有气流紊流结构腔体内的空气无法快速挤出腔体，到达效果的时间达240秒-360秒，浪费原料和稳定控制时间长，无法保证产品良率，因此，为解决这一问题，亟需研制一种更为成熟的控制气流紊流结构。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种控制气流紊流结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
5.一种控制气流紊流结构，所述控制气流紊流结构包括：
6.外壳；
7.位于外壳外部的缓存腔外壳；
8.进气管，所述进气管设置在缓存腔外壳外部，用于外部气体导通；
9.环境腔装置，所述环境腔装置设置在缓存腔外壳外部；
10.位于环境腔装置外部的进气口；
11.位于进气口外部的若干个康达孔。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本装置采用以上结构，机械结构简单，气体控制更为稳定，减少了惰性气体的用量和调节控制的时间，降低了用量成本同时也降低了物料不良的成本，具有较高的实用性和市场前景，适合大范围推广使用。
附图说明
13.图1为一种控制气流紊流结构的结构示意图。
14.图2为一种控制气流紊流结构中什么的的结构示意图。
15.图中：1-外壳，2-缓存腔外壳，3-进气管，4-环境腔装置，5-进气口，6-康达孔，7-灯管，8-连接固定块。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.在本实用新型的一个实施例中：
18.一种控制气流紊流结构，其特征在于，所述控制气流紊流结构包括：外壳1；位于外
壳1外部的缓存腔外壳2；进气管3，所述进气管3设置在缓存腔外壳2外部，用于外部气体导通；环境腔装置4，所述环境腔装置4设置在缓存腔外壳2外部；位于环境腔装置4外部的进气口5；位于进气口5外部的若干个康达孔6。
19.在本实用新型的一个实施例中：
20.在所述缓存腔外壳2内部设置有缓存腔。
21.在本实用新型的一个实施例中：
22.在所述环境腔装置4内部设置有环境腔，缓存腔与环境腔连为一体设置，环境腔装置5为一个整体，与环境腔之间密封好之后其他维护和更换零件更方便，惰性气体通过进气管进入到缓存腔内，缓存腔与环境腔之间密闭连接，当腔内空气全部挤出腔外，调节进气量，惰性气体通过进气口和康达孔进入到环境腔中，利用康达效应，康达孔出气气流在灯管周围形成保护，随着气流加大，腔内惰性气体占据所有空间，达到产品要求的效果。
23.在本实用新型的一个实施例中：
24.在所述外壳1外部两侧分别设置有一个连接固定块8。
25.在本实用新型的一个实施例中：
26.在所述环境腔装置4外部设置有灯管7。
27.综上，本装置采用以上结构，机械结构简单，气体控制更为稳定，减少了惰性气体的用量和调节控制的时间，降低了用量成本同时也降低了物料不良的成本，具有较高的实用性和市场前景，适合大范围推广使用。
28.本实用新型的工作原理是：惰性气体通过进气管3充入到缓存腔内，气体通过一定的角度按照固定的流向将腔内的空气快速挤出，缓存腔内均为惰性气体，惰性气体通过进气口5和康达孔6充入到环境腔，确保环境腔装置4内的气流稳定和均匀。
29.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。


技术特征：
1.一种控制气流紊流结构，其特征在于，所述控制气流紊流结构包括：外壳；位于外壳外部的缓存腔外壳；进气管，所述进气管设置在缓存腔外壳外部，用于外部气体导通；环境腔装置，所述环境腔装置设置在缓存腔外壳外部；位于环境腔装置外部的进气口；位于进气口外部的若干个康达孔。2.根据权利要求1所述的控制气流紊流结构，其特征在于，在所述缓存腔外壳内部设置有缓存腔。3.根据权利要求2所述的控制气流紊流结构，其特征在于，在所述环境腔装置内部设置有环境腔。4.根据权利要求3所述的控制气流紊流结构，其特征在于，在所述外壳外部两侧分别设置有一个连接固定块。5.根据权利要求4所述的控制气流紊流结构，其特征在于，在所述环境腔装置外部设置有灯管。

技术总结
本实用新型公开了一种控制气流紊流结构，所述控制气流紊流结构包括：外壳；位于外壳外部的缓存腔外壳；进气管，所述进气管设置在缓存腔外壳外部，用于外部气体导通；环境腔装置，所述环境腔装置设置在缓存腔外壳外部；位于环境腔装置外部的进气口；位于进气口外部的若干个康达孔，本实用新型的有益效果是：本装置采用以上结构，机械结构简单，气体控制更为稳定，减少了惰性气体的用量和调节控制的时间，降低了用量成本同时也降低了物料不良的成本，具有较高的实用性和市场前景，适合大范围推广使用。用。用。


技术研发人员：李宏伟
受保护的技术使用者：常熟五临天光电科技有限公司
技术研发日：2021.09.15
技术公布日：2022/1/28