用于电子特气的汽化器及电子特气汽化系统的制作方法

1.本实用新型涉及汽化器技术领域，尤其涉及一种用于电子特气的汽化器及电子特气汽化系统。


背景技术：

2.电子特气是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体，广泛应用于半导体生产的各个工艺流程，从单个芯片生成到最后器件的封装，几乎每个环节都离不开电子气体。在半导体芯片制造领域，由于芯片制作技术已经发展到纳米级别，所以电子特气的纯度也必须在ppt以上，同时还要求将金属元素净化到10-9级至10-12级。纯度每提升一个n，以及粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级，都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。一旦电子特气的纯度或是净度不达标，轻则使得下游产品质量不过关，重则扩散污染整条产品线，造成产品全部报废。所以，必须保证电子特气在反应、提纯、充装、存储、运输、使用过程中不会被二次污染。
3.汽化器是将液体进行加热，转变成气体的设备。用于高纯电子特气汽化的汽化器，内表面处理必须达到电子级要求。进出口连接阀门和仪表也必须达到电子级要求。
4.现有的汽化器多用于普通物料的汽化，用于高纯电子特气汽化的汽化器报道较少。传统的汽化器，一般结构比较复杂，表面处理困难，表面处理很难达到电子级气体汽化的要求。


技术实现要素：

5.本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于电子特气的汽化器及电子特气汽化系统，可满足电子特气行业要求，结构简单，加热温度范围可调，效果好。
6.本实用新型是通过如下技术方案实现的：
7.一种用于电子特气的汽化器，包括筒体及电加热机构，所述筒体为卧式结构，筒体上设置有进料口及出料口，所述筒体一侧具有开口，所述电加热机构与筒体开口处可拆卸连接，包括电加热组件、电加热棒及电加热套管，所述电加热棒与筒体开口处密封连接，电加热棒一端延伸至筒体内并套设有所述电加热套管，电加热棒另一端延伸至筒体外并与所述电加热组件相固定，所述筒体外固定有测温口，所述测温口一端延伸至电加热套管内腔。
8.为了支撑筒体，所述筒体底端固定有支腿。
9.为了便于实现加热棒与筒体可拆卸，在本实用新型一较佳实施例中，所述电加热棒与筒体开口处通过法兰可拆卸连接。
10.进一步地，为了保证连接处的密封性，两法兰之间通过石墨缠绕垫密封连接。
11.为了准确检测电加热棒的温度，所述电加热棒上固定有测温热电阻。
12.为了保证设备的安全性，所述筒体上设置有压力表口、压力变送器口、安全阀口、液位开关口及排污口。
13.本实用新型还提供一种电子特气汽化系统，所述电子特气汽化系统具有上述汽化
器。
14.本实用新型的有益效果是：
15.(1)电加热棒外部有电加热套管，套管及汽化器内部表面处理可以达到电子级要求；
16.(2)电加热棒与筒体内装测温热电阻，其效果是实现温度双控制，控温精度更高；
17.(3)液位开关与进料的质量流量控制器相连锁，控制进料量，其效果是维持筒体内有一定的液位高度；
18.(4)汽化器的操作压力可以通过出料管上的气动调节阀调节，维持汽化压力稳定；
19.(5)汽化器的进料量可以控制和调整，汽化的温度通过串级控制更加精准，避免温度上升速度太快，维持汽化温度稳定。
附图说明
20.图1为本实用新型的用于电子特气的汽化器的主视图；
21.图2为图1的a-a向剖视图；
22.图3为本实用新型的电子特气汽化系统的原理图。
具体实施方式
23.下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。本实用新型所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「顶」、「底」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本实用新型，而非用以限制本实用新型。
24.如图1、图2所示的一种用于电子特气的汽化器，包括筒体1及电加热机构，所述筒体1为卧式结构，其底部固定有支腿2，筒体1顶部设置有与内腔相连通的进料口8及出料口9，筒体1左侧具有开口，所述电加热机构与筒体1开口处采用可拆卸方式连接，包括电加热组件5、电加热棒3及电加热套管4，所述电加热棒3具有多根，与筒体1开口处通过法兰连接，两法兰之间通过石墨缠绕垫6密封连接，电加热棒3右端延伸至筒体内并套设有所述电加热套管4，电加热套管4的左端与电加热棒3上的法兰焊接，电加热棒3左端延伸至筒体1外并与所述电加热组件5相固定，所述筒体1顶部固定有测温口13，所述测温口13向下延伸至电加热套管4内腔。另外，筒体1顶端还设置有与内腔相连通的压力表口10、压力变送器口11、安全阀口12，筒体1右侧设置有液位开关口7，筒体1底部设置有排污口13。
25.本实用新型的进料口8和出料口9用于物料的进料与汽化，压力表口10与压力变送器口11用于监测汽化器的压力变化，压力表为现场显示，压力变送器为远程传送。测温口13用于监测汽化器内介质的温度，安全阀口12用于操作超压时泄压，保证设备的操作安全，排污口13用于操作完成后排放汽化器内的废液，液位开关7用于监测汽化器内的液位。电加热棒3上带有测温热电阻，可以监测电加热棒3的温度。
26.如图3所示的电子特气汽化系统，具有上述汽化器14，来自高纯电气特气的液态物料经过质量流量控制器，通过进料口进入汽化器14，汽化器14通过液位开关与质量流量控制器进行连锁，以控制质量流量控制器的进料。当汽化器14内液位到达一定高度时，液位开
关的信号反馈给质量流量控制器，停止进料。低于一定液位时，质量流量控制器启动进料。电加热棒通电后发热，对物料进行加热，电加热棒的温度反馈至控制系统，以调节电加热棒的功率。电加热棒外面有电加热套管，避免与物料直接接触。液体物料在加热的作用下汽化成气体。汽化器的汽化压力通过出料管线上的气动调节阀进行调节，保证汽化压力稳定。气体通过出料口去产品充装或进入下一单元。
27.需要说明的，本实用新型未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
28.另外，在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
29.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种用于电子特气的汽化器，包括筒体及电加热机构，所述筒体为卧式结构，筒体上设置有进料口及出料口，其特征在于：所述筒体一侧具有开口，所述电加热机构与筒体开口处可拆卸连接，包括电加热组件、电加热棒及电加热套管，所述电加热棒与筒体开口处密封连接，电加热棒一端延伸至筒体内并套设有所述电加热套管，电加热棒另一端延伸至筒体外并与所述电加热组件相固定，所述筒体外固定有测温口，所述测温口一端延伸至电加热套管内腔。2.根据权利要求1所述的用于电子特气的汽化器，其特征在于：所述筒体底端固定有支腿。3.根据权利要求1所述的用于电子特气的汽化器，其特征在于：所述电加热棒与筒体开口处通过法兰可拆卸连接。4.根据权利要求3所述的用于电子特气的汽化器，其特征在于：两法兰之间通过石墨缠绕垫密封连接。5.根据权利要求1所述的用于电子特气的汽化器，其特征在于：所述电加热棒上固定有测温热电阻。6.根据权利要求1所述的用于电子特气的汽化器，其特征在于：所述筒体上设置有压力表口、压力变送器口、安全阀口、液位开关口及排污口。7.一种电子特气汽化系统，其特征在于：所述电子特气汽化系统具有如权利要求1-6任一项所述的汽化器。

技术总结
本实用新型涉及一种用于电子特气的汽化器及电子特气汽化系统，汽化器包括筒体及电加热机构，筒体上设置有进料口及出料口，筒体一侧具有开口，电加热机构与筒体开口处可拆卸连接，包括电加热组件、电加热棒及电加热套管，筒体外固定有测温口，测温口一端延伸至电加热套管内腔。本实用新型结构简单，加热温度范围可调，效果好，可满足电子特气行业要求。可满足电子特气行业要求。可满足电子特气行业要求。


技术研发人员：周礼 袁学伟 田相龙
受保护的技术使用者：艾生科（江苏）化工科技有限公司
技术研发日：2022.07.18
技术公布日：2022/11/28