一种用于装填固态金属有机源的钢瓶的制作方法

1.本实用新型涉及金属有机源纯化领域，尤其涉及一种用于装填固态金属有机源的钢瓶。


背景技术：

2.目前在制造金属有机源时，需要将固态金属有机源装填到钢瓶中，便于对其进行运输使用，而目前在对固态金属有机源进行装填，通常使用的就是普通的钢瓶，在使用时容易发生固态金属有机源残留的问题，造成固态金属有机源浪费。
3.专利号cn211118730u公开了一种固体mo源钢瓶，通过在mo源钢瓶内设置同轴内衬套瓶，进气从同轴内衬套瓶外侧流动进入，再从同轴内衬套瓶内侧流出，从而提高对mo源的利用，减少剩余残留。
4.但是在载气流动过程中，载气都是同向集中进行流动，与金属源接触面较小，从而不易对金属源充分利用，从而造成固态金属有机源残留偏多和固体分子溢散速率低且易出现板结、沟流等痛点问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是提供一种用于装填固态金属有机源的钢瓶，通过在瓶身内设置同轴内衬套瓶，并且在下端设置气流分散装置，通过气流分散装置将进气气流分散并进行方向的改变，提高了气流的均匀性，使载气与金属源充分接触，解决了背景技术中固态有机源板结、输出浓度不稳定和残留量偏多的问题。
6.本实用新型提供一种用于装填固态金属有机源的钢瓶，包括瓶身，瓶身上设有进气管道、出气管道和装填口；瓶身内设有同轴内衬套瓶，出气管道与瓶身之间形成夹角口，夹角口伸入到同轴内衬套瓶内，同轴内衬套瓶下端设置有气流分散装置，所述气流分散装置用于对进气气流方向的调整。
7.进一步改进在于：所述进气管道和出气管道分别设置在瓶身上部两侧，装填口设置在瓶身上部中间；进气管道上设置有进气阀门，出气管道上设置有出气阀门；进气管道上端设置有进气vcr接头，出气管道上端设置有出气vcr接头，进气vcr接头、出气vcr接头分别与客户mocvd系统接头连接。
8.进一步改进在于：进气阀门和出气阀门之间设有联板。
9.进一步改进在于：所述同轴内衬套瓶为圆柱型，同轴内衬套瓶设置在装填口下侧。
10.进一步改进在于：所述气流分散装置为筛板型，包括筛板，底部挡风盒，侧面挡风盒；所述筛板安装在同轴内衬套瓶下侧，底部挡风盒设置在筛板下方，侧面挡风盒设置在筛板与底部挡风盒端部之间。
11.进一步改进在于：筛板上设有通孔。
12.本实用新型的有益效果：本发明通过在瓶身内设置同轴内衬套瓶，增加载气流动距离，并且同轴内衬套瓶下端设置气流分散装置，通过气流分散装置对气流进行分散，调节
气流方向，使气流与金属有机源充分接触，从而提高金属有机源的使用率，现有的都是气流同方向与金属有机源接触，载气容易与金属有机源接触不充分，并且载气与金属有机源的接触，从而容易导致固体有机源输出浓度不稳定的问题；本申请通过装填口向同轴内衬套瓶内进行固态金属有机源的装填，通过进气管道和出气管道对金属有机源进行使用；通过同轴内衬套瓶增加载气流动距离，气流分散装置使载气分散流动并调整载气流动方向，使气流冲垂直向下改为了均匀向上方向，从而使载气与金属有机源充分接触，使金属有机源稳定输出，提高了金属有机源输出的均匀性。
附图说明
13.图1是本实用新型的结构示意图。
14.图2是气流分散装置结构示意图。
15.图3是筛板结构示意图。
16.其中：1-瓶身，2-进气管道，3-出气管道，4-装填口，5-同轴内衬套瓶，6-夹角口，7-气流分散装置，8-进气阀门，9-出气阀门，10-进气vcr接头，11-出气vcr 接头，12-联板，13-底部挡风盒，14-侧面挡风盒，15-筛板，16-通孔。
具体实施方式
17.为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
18.如图1-3所示，本实施例提供一种用于装填固态金属有机源的钢瓶，包括瓶身1，瓶身1上设有进气管道2、出气管道3和装填口4；进气管道2和出气管道3分别设置在瓶身1上部两侧，装填口4设置在瓶身1上部中间；进气管道2上设置有进气阀门8，通过进气阀门8控制进气，出气管道3上设置有出气阀门9，通过出气阀门9控制出气；进气阀门8和出气阀门9之间设有联板12，通过联板12保护两个阀门之间的间距不会发生变化；进气管道2上端设置有进气vcr接头10，出气管道3上端设置有出气vcr接头11，进气vcr接头10、出气vcr 接头11 分别与客户mocvd系统接头连接。
19.瓶身1内设有同轴内衬套瓶5，同轴内衬套瓶5为圆柱型，同轴内衬套瓶5设置在装填口4下侧，出气管道3与瓶身1之间形成夹角口6，夹角口6伸入到同轴内衬套瓶5内，同轴内衬套瓶5下端设置有气流分散装置7；通过进气管道2向瓶身1内进气，气流沿同轴内衬套瓶5自上而下，气流经过气流分散装置7，气流方向由垂直向下改为了均匀向上方向。
20.气流分散装置7为筛板型，包括筛板15，底部挡风盒13，侧面挡风盒14；所述筛板15安装在同轴内衬套瓶5下侧，筛板15上设有通孔16，底部挡风盒13设置在筛板15下方，侧面挡风盒14设置在筛板15与底部挡风盒13端部之间；气流通过筛板15上的通孔16均匀下移，再通过底部挡风盒13和侧面挡风盒14进行挡风导向，使气流向上流动。
21.在实际使用时，通过装填口4对固态金属有机源进行装填；通过进气管路2向瓶身1内通入载气，载气从同轴内衬套瓶5外侧向下流动与装填的金属有机源接触，载气通过筛板15上的通孔16进行分散流动，与装填的金属有机源接触更加充分，再通过底部挡风盒13和侧面挡风盒14导向，使气流方向由垂直向下改为了均匀向上方向，使载气将携带固态有机源升华蒸汽沿同轴内衬套瓶5内侧上升，载气通过夹角口6进入到出气管道3内，并沿出气阀
门9和出气管道3进入mocvd设备反应腔室，瓶身1内装填的固态有机源持续升华补偿空腔气态部分消耗，提高金属有机源的使用率。


技术特征：
1.一种用于装填固态金属有机源的钢瓶，包括瓶身（1），瓶身（1）上设有进气管道（2）、出气管道（3）和装填口（4）；其特征在于：瓶身（1）内设有同轴内衬套瓶（5），出气管道（3）与瓶身（1）之间形成夹角口（6），夹角口（6）伸入到同轴内衬套瓶（5）内，同轴内衬套瓶（5）下端设置有气流分散装置（7），所述气流分散装置（7）用于对进气气流方向的调整。2.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的钢瓶，其特征在于：所述进气管道（2）和出气管道（3）分别设置在瓶身（1）上部两侧，装填口（4）设置在瓶身（1）上部中间；进气管道（2）上设置有进气阀门（8），出气管道（3）上设置有出气阀门（9）；进气管道（2）上端设置有进气vcr接头（10），出气管道（3）上端设置有出气vcr接头（11），进气vcr接头（10）、出气vcr接头（11 ）分别与客户mocvd系统接头连接。3.如权利要求2所述的一种用于装填固态金属有机源的钢瓶，其特征在于：进气阀门（8）和出气阀门（9）之间设有联板（12）。4.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的钢瓶，其特征在于：所述同轴内衬套瓶（5）为圆柱型，同轴内衬套瓶（5）设置在装填口（4）下侧。5.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的钢瓶，其特征在于：所述气流分散装置（7）为筛板型，包括筛板（15），底部挡风盒（13），侧面挡风盒（14）；所述筛板（15）安装在同轴内衬套瓶（5）下侧，底部挡风盒（13）设置在筛板（15）下方，侧面挡风盒（14）设置在筛板（15）与底部挡风盒（13）端部之间。6.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的钢瓶，其特征在于：筛板（15）上设有通孔（16）。

技术总结
本实用新型提供一种用于装填固态金属有机源的钢瓶，包括瓶身，瓶身上设有进气管道、出气管道和装填口；瓶身内设有同轴内衬套瓶，出气管道与瓶身之间形成夹角口，夹角口伸入到同轴内衬套瓶内，同轴内衬套瓶下端设置有气流分散装置，所述气流分散装置用于对进气气流方向的调整。通过在瓶身内设置同轴内衬套瓶，并且在下端设置气流分散装置，通过气流分散装置将进气气流分散并进行方向的改变，提高了气流的均匀性，使载气与金属源充分接触，提高了金属有机源使用率。有机源使用率。有机源使用率。


技术研发人员：陈鹏 王伟 郑述安
受保护的技术使用者：安徽亚格盛电子新材料有限公司
技术研发日：2022.08.09
技术公布日：2023/1/5