一种特气供应高压测漏补偿设备的制作方法

本技术涉及特气供应领域，具体是指一种特气供应高压测漏补偿设备。

背景技术：

1、特气供应设备(气瓶柜、气瓶架、大宗特气供应系统)更换钢瓶后对钢瓶接口进行高压保压测试时受环境温度影响较大，特别是开放式硅烷站内大宗硅烷供应系统环境温度变化常常导致高压测漏功能失败。

2、经调查美国、法国、日本、韩国和中国等特气供应设备(气瓶柜gc、气瓶架gr、大宗特气供应系统bsgs)均没有高压测漏补偿功能。压力试验时直接读取压力数据，设定一个偏差值，没有考虑温度对压力试验的影响。

3、易燃易爆、有毒有害的特种气体气瓶柜每次更换钢瓶后压力试验受温度影响非常大，特别是夏季、冬季尤为明显。特别是自然性的硅烷气体，硅烷站为开放式建筑物，大宗硅烷供应系统压力试验受温度影响最大，现有硅烷bsgs系统换瓶后压力试验结果常常失败，现场只有凭借经验重新做压力试验或通过别的方式检测钢瓶接头有无泄漏。

4、因此一种特气供应高压测漏补偿设备亟待被研究。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是，针对以上问题提供一种特气供应高压测漏补偿设备。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种特气供应高压测漏补偿设备，包括钢瓶接头、工艺气出口、吹扫氮气、高压侧漏气体、真空产生器气源、排气口、排风口、扩充口和串口，所述钢瓶接头分设于两侧，钢瓶接头连接高压三通气动阀，钢瓶接头和高压三通气动阀之间安装有压力传感器，高压三通气动阀上串联过流量开关，过流量开关并联高压三通气动阀二和高压三通气动阀三，高压三通气动阀二串联两通手动阀和单向阀，高压三通气动阀三串联调压阀、压力传感器和低压两通气动阀，单向阀和两通手动阀之间通过低压三通气动阀并联高压三通气动阀三管路，低压两通气动阀上串联有过滤器和两通手动阀，两个钢瓶接头管路并联。

3、作为改进，工艺气出口通过压力传感器和两通手动阀连接在并联后的钢瓶接头管路靠近两通手动阀的一端。

4、作为改进，吹扫氮气通过低压两通气动阀、单向阀和高压两通气动阀连接到并联后的钢瓶接头管路靠近高压三通气动阀的一端。

5、作为改进，高压测漏气体通过单向阀和高压两通气动阀二连接到并联后的钢瓶接头管路靠近高压三通气动阀的一端，并且和吹扫氮气管路并联。

6、作为改进，真空产生器气源通过低压两通气动阀连接单向阀连接到钢瓶接头管路单向阀分路并联后的管路上，连接处设有真空产生器，真空产生器和钢瓶接头管路之间设有两通手动阀，真空产生器通过管路连接排气口。

7、作为改进，扩充口和串口通过压力传感器和两通手动阀并联在工艺气出口管路靠近两通手动阀一端的一条支路上。

8、作为改进，特气供应高压测漏补偿设备外侧设有壳体，壳体顶部设有排风口。

9、作为改进，连接扩充口和串口的管路靠近钢瓶接头的压力传感器上连接有plc，plc连接温度计。

10、本实用新型与现有技术相比的优点在于：室外硅烷站现场更换特气钢瓶后，需要对钢瓶接口进行高压保压测试，本专利技术将不在受室外环境温度变化的影响，测试结果准确率更高。降低了现场操作的误判率，提高了安全生产的技术要求。

技术特征：

1.一种特气供应高压测漏补偿设备，包括钢瓶接头(1)、工艺气出口(2)、高压测漏气体(3)、吹扫氮气(4)、真空产生器气源(5)、排气口(6)、排风口(7)、扩充口(8)和串口(9)，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种特气供应高压测漏补偿设备，其特征在于：工艺气出口(2)通过压力传感器(11)和两通手动阀(15)连接在并联后的钢瓶接头(1)管路靠近两通手动阀(15)的一端。

3.根据权利要求1所述的一种特气供应高压测漏补偿设备，其特征在于：吹扫氮气(4)通过第二低压两通气动阀(23)、单向阀(16)和高压两通气动阀(24)连接到并联后的钢瓶接头(1)管路靠近高压三通气动阀(10)的一端。

4.根据权利要求1所述的一种特气供应高压测漏补偿设备，其特征在于：高压测漏气体(3)通过单向阀(16)和高压两通气动阀二(25)连接到并联后的钢瓶接头(1)管路靠近高压三通气动阀(10)的一端，并且和吹扫氮气(4)管路并联。

5.根据权利要求1所述的一种特气供应高压测漏补偿设备，其特征在于：真空产生器气源(5)通过第三低压两通气动阀(26)连接单向阀(16)连接到钢瓶接头(1)管路单向阀(16)分路并联后的管路上，连接处设有真空产生器(27)，真空产生器(27)和钢瓶接头(1)管路之间设有两通手动阀(15)，真空产生器(27)通过管路连接排气口(6)。

6.根据权利要求1所述的一种特气供应高压测漏补偿设备，其特征在于：扩充口(8)和串口(9)通过压力传感器(11)和两通手动阀(15)并联在工艺气出口(2)管路靠近两通手动阀(15)一端的一条支路上。

7.根据权利要求1所述的一种特气供应高压测漏补偿设备，其特征在于：特气供应高压测漏补偿设备外侧设有壳体(28)，壳体(28)顶部设有排风口(7)。

8.根据权利要求1所述的一种特气供应高压测漏补偿设备，其特征在于：连接扩充口(8)和串口(9)的管路靠近钢瓶接头(1)的压力传感器(11)上连接有plc(18)，plc(18)连接温度计(22)。

技术总结
本技术公开了一种特气供应高压测漏补偿设备，包括钢瓶接头、工艺气出口、吹扫氮气、高压测漏气体、真空产生器气源、排气口、排风口、扩充口和串口。本技术与现有技术相比的优点在于：室外硅烷站现场更换特气钢瓶后，需要对钢瓶接口进行高压保压测试，本专利技术将不在受室外环境温度变化的影响，测试结果准确率更高。降低了现场操作的误判率，提高了安全生产的技术要求。

技术研发人员：顾文俊
受保护的技术使用者：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
技术研发日：20221019
技术公布日：2024/1/14