一种供气柜的管路结构的制作方法

本申请涉及供气管路技术的领域，尤其是涉及一种供气柜的管路结构。

背景技术：

1、在半导体实验室和研究所等场合进行实验研究的时候，经常会用到各种不同成分，不同比例的气体，在供气过程中存放气体的钢瓶是常见的设备。为使得气体存放钢瓶在供气时稳定放置，并且能够稳定地进行供气，通常将多个气体存放钢瓶固定放置于供气柜内。

2、供气管内设置有供气管路结构，供气管路结构包括主气管和多个固定并连通于支气管，主气管穿设于供气柜的柜壁设置，主管位于供气管外的部分设置有多个出气口。多个支管均位于供气柜内，多个气体存放钢瓶分别对应可拆卸连接并连通于多个支管，多个支管均设置有电磁阀，气体存放钢瓶通过主气管和支气管进行供气。

3、为满足实验研究中用到的混合气体，供气柜内的多个气体存放钢瓶储存的气体种类并不相同。当一种气体存放钢瓶内的气体用完时，将对应的支管的电磁阀关闭后，再对气体存放钢瓶进行更换。由于气体存放钢瓶体积和质量都比较大，更换所需时间较长，使得气体存放钢瓶的供气间断时间较长，而导致对实验研究的影响较大。

技术实现思路

1、为了供气柜的供气不发生间断，本申请提供一种供气柜的管路结构。

2、本申请提供的一种供气柜的管路结构采用如下的技术方案：

3、一种供气柜的管路结构，包括主管路和多个支管路，多个所述支管路均固定连接并连通于主管路，多个所述支管均固定连接并连通有换气管，所述支管路设置有第一电磁阀，所述换气管设置有第二电磁阀。

4、通过采用上述技术方案，将支管路和换气管分别连接上气体存放钢瓶，并将气体存放钢瓶的阀门打开。先将第一电磁阀开启、第二电磁阀关闭，主管路连接的气体存放钢瓶进行供气。当支管路连接的气体存放钢瓶内的气体消耗完后，关闭第一电磁阀，并开启第二电磁阀，由换气管连接的气体存放钢瓶进行供气，同时及时更换新的气体存放钢瓶并与支管路进行连接。气体存放钢瓶的气体用完更换时，有另一个气体存放钢瓶进行供气，使得在更换气体存放钢板时，供气不会发生间断或间断时间极短，以减小更换气体存放钢板对实验研究的影响。

5、可选的，所述主管路设置有气体压力表，所述气体压力表同时电连接于第一电磁阀和第二电磁阀，所述气体压力表用于控制第一电磁阀和第二电磁阀的交错开关。

6、通过采用上述技术方案，当气体压力表检测到主管路中的气体压力低于设定值时，就表示正在供气的气体存放钢瓶内的气体快用完了。此时气体压力表控制第一电磁阀关闭，第二电磁阀打开，由换气管连接的气体存放钢瓶进行供气。气体压力表检测到主管路中的气体压力再次低于设定值时，气体压力表控制第一电磁阀开启，第二电磁阀关闭，由支气管连接的气体存放钢瓶进行供气。由于气体压力表能够及时监测到正在供气的气体存放钢瓶内的气体是否消耗完毕，并能够控制第一电磁阀和第二电磁阀的交错开关，以能够及时切换气体存放钢瓶进行供气。

7、可选的，所述支管路和换气环均设置有清气件，所述清气件用于将气体存放钢瓶的阀门与第一电磁阀、气体存放钢瓶的阀门与第二电磁阀之间的气体清理回收。

8、通过采用上述技术方案，通过清气件将第一电磁阀和气体存放钢瓶的阀门之间的实验用气体进行清理回收，再将气体存放钢瓶相对主管路进行拆卸后，减小实验用气体弥漫出来而对实验人员的健康造成损害的可能性。第二电磁阀和气体存放钢瓶的阀门之间的气体也通过清气件进行清理回收。

9、可选的，清气件包括氮气管、输送管和设置于输送管的第三电磁阀，两个所述氮气管分别对应固定连接并连通于支管路和换气管，所述输送管同时固定连接并连通于支管路和换气管。

10、通过采用上述技术方案，氮气管连通有氮气气源，第一电磁阀和气体存放钢瓶的阀门均关闭后，开启第三电磁阀，氮气管向支管路输入氮气，氮气将第一电磁阀和气体存放钢瓶的阀门之间的实验用气体全部挤入输送管和换气管，再关闭第三电磁阀。再将气体存放钢瓶相对主管路进行拆卸，此时第一电磁阀和气体存放钢瓶的阀门之间不存在或极少存在试验用气体，以减小实验用气体弥漫出来而对实验人员的健康造成损害的可能性。第二电磁阀和气体存放钢瓶的阀门之间的气体也可通过氮气挤入输送管和支管路，以进行清理回收。

11、可选的，所述支管路设置有转动组件，所述转动组件用于使支管路和换气管相对主管转动。

12、通过采用上述技术方案，由于供气柜开口的空间有限，供气柜设置有一个转盘，支管路和换气管连接的气体存放钢管均固定放置于转盘上。转动组件使得支管路和换气管对应两个气体存放钢管进行转动，将需要更换的气体存放钢管转至供气柜开口处，以便于对支管路和换气管连接的气体存放钢管进行更换。

13、可选的，所述转动组件包括转动套座、转动管、滚动轴承和密封件，所述转动套座固定连接并连通于主管路，所述转动管穿设于转动套座，所述转动管通过滚动轴承转动连接于转动套座，所述密封件设置于转动套座，所述密封件用于对转动套座和转动管的连接处进行密封。

14、通过采用上述技术方案，转动管通过滚动轴承转动连接于转动管，使得支管路和换气管能够相对主管进行转动。密封件对转动套座和转动管的连接处进行密封，以减小气体从转动套座和转动管的连接处泄露出的可能性。

15、可选的，所述密封件包括两个固定连接于转动套座的密封垫，两个所述密封垫分布位于滚动轴承的两侧，两个所述密封垫与转动管过盈配合。

16、通过采用上述技术方案，两个密封垫使得转动相对转动套座转动的同时，能够对转动套座和转动管的连接处进行密封，以减小气体从转动套座和转动管的连接处泄露出的可能性。

17、可选的，所述转动管位于主管内的一端开口边沿向外弯折形成弯折部，所述主管内设置有密封盘，所述转动管穿设于密封盘，所述密封盘开设有至少一个环形槽，所述弯折部固定连接有至少一个卡环，至少一个所述卡环分别对应卡设并滑移于至少一个环形槽。通过采用上述技术方案，弯折部的卡环卡设于密封盘的环形槽中，增加主管路中的气体逸散至转动套座和转动管的连接处的逸散路径，进一步以减小气体从转动套座和转动管的连接处泄露出的可能性。卡环能够相对密封盘进行转动，使得增加气密性的同时不会对转动管向主管的转动进行阻碍。

18、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

19、1.气体存放钢瓶的气体用完更换时，有另一个气体存放钢瓶进行供气，使得在更换气体存放钢板时，供气不会发生间断或间断时间极短，以减小更换气体存放钢板对实验研究的影响；

20、2.通过清气件将第一电磁阀和气体存放钢瓶的阀门之间的实验用气体进行清理回收，再将气体存放钢瓶相对主管路进行拆卸后，减小实验用气体弥漫出来而对实验人员的健康造成损害的可能性；

21、3.转动管通过滚动轴承转动连接于转动管，使得支管路和换气管能够相对主管进行转动，将需要更换的气体存放钢管转至供气柜开口处，便于对支管路和换气管连接的气体存放钢管进行更换。

技术特征：

1.一种供气柜的管路结构，其特征在于：包括主管路（1）和多个支管路（2），多个所述支管路（2）均固定连接并连通于主管路（1），多个所述支管均固定连接并连通有换气管（3），所述支管路（2）设置有第一电磁阀（21），所述换气管（3）均设置有第二电磁阀（31）。

2.根据权利要求1所述的一种供气柜的管路结构，其特征在于：所述主管路（1）设置有气体压力表（11），所述气体压力表（11）同时电连接于第一电磁阀（21）和第二电磁阀（31），所述气体压力表（11）用于控制第一电磁阀（21）和第二电磁阀（31）的交错开关。

3.根据权利要求1所述的一种供气柜的管路结构，其特征在于：所述支管路（2）和换气环均设置有清气件（4），所述清气件（4）用于将气体存放钢瓶（8）的阀门与第一电磁阀（21）、气体存放钢瓶（8）的阀门与第二电磁阀（31）之间的气体清理回收。

4.根据权利要求3所述的一种供气柜的管路结构，其特征在于：清气件（4）包括氮气管（41）、输送管（42）和设置于输送管（42）的第三电磁阀（43），两个所述氮气管（41）分别对应固定连接并连通于支管路（2）和换气管（3），两个所述氮气管（41）分别对应位于第一电磁阀（21）和第二电磁阀（31）远离主管路（1）的一侧，所述输送管（42）同时固定连接并连通于支管路（2）和换气管（3）。

5.根据权利要求1所述的一种供气柜的管路结构，其特征在于：所述支管路（2）设置有转动组件（5），所述转动组件（5）用于使支管路（2）和换气管（3）相对主管转动。

6.根据权利要求5所述的一种供气柜的管路结构，其特征在于：所述转动组件（5）包括转动套座（51）、转动管（52）、滚动轴承（53）和密封件（54），所述转动套座（51）固定连接并连通于主管路（1），所述转动管（52）穿设于转动套座（51），所述转动管（52）通过滚动轴承（53）转动连接于转动套座（51），所述密封件（54）设置于转动套座（51），所述密封件（54）用于对转动套座（51）和转动管（52）的连接处进行密封。

7.根据权利要求6所述的一种供气柜的管路结构，其特征在于：所述密封件（54）包括两个固定连接于转动套座（51）的密封垫（541），两个所述密封垫（541）分布位于滚动轴承（53）的两侧，两个所述密封垫（541）与转动管（52）过盈配合。

8.根据权利要求6所述的一种供气柜的管路结构，其特征在于：所述转动管（52）位于主管内的一端开口边沿向外弯折形成弯折部（521），所述主管内设置有密封盘（6），所述转动管（52）穿设于密封盘（6），所述密封盘（6）开设有至少一个环形槽（61），所述弯折部（521）固定连接有至少一个卡环（522），至少一个所述卡环（522）分别对应卡设并滑移于至少一个环形槽（61）。

技术总结
本申请涉及一种供气柜的管路结构，包括主管路和多个支管路，多个所述支管路均固定连接并连通于主管路，多个所述支管均固定连接并连通有换气管，所述支管路设置有第一电磁阀，所述换气管设置有第二电磁阀。本申请具有供气柜的供气不发生间断的效果。

技术研发人员：马青,司庆超,陈瑛
受保护的技术使用者：盖斯博半导体科技（上海）有限公司
技术研发日：20230109
技术公布日：2024/1/11