一种失电一键供气装置的制作方法

本技术涉及供气控制装置，尤其涉及一种失电一键供气装置。

背景技术：

1、特气柜是特种气体供应系统中的主要起源设备，用于保障特种气体。特种气体在广泛的工业领域中都有应用，特别是在超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。特气柜是特种气体储存和供应的唯一设备，当下国家对国内半导体行业支持程度的提升，也对特气设备提出了更高的要求。

2、特气柜是一种自动供气、自动保护功能的气柜；同时，也提供通讯接口用于组网，实现后台实时监控，对全厂供气系统统一调度、协调和维护。所以，每台特气柜都是供气系统中的重要设备。随着设备的维护、维修、升级的需求，就不得不需要特气柜进行停用退出，这就会导致半导体生产设备断气停产。

3、因此，研发一种失电一键供气装置，成为本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种失电一键供气装置，新增了另一路供气装置，使特气柜可以在正常运行和失电的情况下，正常供气，具有操作简单、安全，使用方便以及不间断供气的特点。

2、本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种失电一键供气装置，包括原气源管路，所述原气源管路通过原气源管路首三通和原气源管路尾三通接入一键供气支路。

3、进一步地，所述一键供气支路包括左右分流三通、左支管、右支管和左右合流三通；所述左右分流三通输入端连接原气源管路首三通，而两个输出端分别连接左支管和右支管的输入端；所述左支管和右支管上分别连接有左电磁阀和右电磁阀，左电磁阀和右电磁阀连接至控制台；所述左支管和右支管的输出端连接至左右合流三通输入端，左右合流三通输出端连接至原气源管路尾三通。

4、进一步地，所述控制台上设有左控制开关、右控制开关和触摸屏，所述左控制开关、右控制开关分别设置在触摸屏的左右两侧。

5、进一步地，所述左控制开关和右控制开关均为气动旋钮开关。

6、原有的特气柜在维护、维修、升级的时候，需要将特气柜进行停用退出，再进行相应地工作，会影响半导体设备的生产。通过增加失电一键供气装置，进行升级优化后，可以使特气柜一边供气，一边进行维护、维修和升级，使半导体生产设备不会受到影响。

7、本实用新型与现有技术的优点是：原有技术相比，本实用新型的改进的效果显著，能在日常维护、维修和升级的过程中，保证特气柜供气的可靠性、安全性和稳定性，能有效地避免供气过程中出现的突发状况，比如，程序出错、系统死机、气柜断电、电磁阀损坏等，从而导致特气柜中断供气，增加这套失电一键供气装置，就能是厂务运行人员第一时间启用这套装置，实现特气的不间断供应，大大提高了特气柜实用性、安全性和可靠性。

技术特征：

1.一种失电一键供气装置，包括原气源管路，其特征在于：所述原气源管路通过原气源管路首三通和原气源管路尾三通接入一键供气支路；所述一键供气支路包括左右分流三通、左支管、右支管和左右合流三通；所述左右分流三通输入端连接原气源管路首三通，而两个输出端分别连接左支管和右支管的输入端；所述左支管和右支管上分别连接有左电磁阀和右电磁阀，左电磁阀和右电磁阀连接至控制台；所述左支管和右支管的输出端连接至左右合流三通输入端，左右合流三通输出端连接至原气源管路尾三通。

2.根据权利要求1所述的一种失电一键供气装置，其特征在于：所述控制台上设有左控制开关、右控制开关和触摸屏，所述左控制开关、右控制开关分别设置在触摸屏的左右两侧。

3.根据权利要求2所述的一种失电一键供气装置，其特征在于：所述左控制开关和右控制开关均为气动旋钮开关。

技术总结
本技术公开了一种失电一键供气装置，包括原气源管路，所述原气源管路通过原气源管路首三通和原气源管路尾三通接入一键供气支路。本技术与现有技术的优点是：原有技术相比，本技术的改进的效果显著，能在日常维护、维修和升级的过程中，保证特气柜供气的可靠性、安全性和稳定性，能有效地避免供气过程中出现的突发状况，比如，程序出错、系统死机、气柜断电、电磁阀损坏等，从而导致特气柜中断供气，增加这套失电一键供气装置，就能是厂务运行人员第一时间启用这套装置，实现特气的不间断供应，大大提高了特气柜实用性、安全性和可靠性。

技术研发人员：岳军,卫永平
受保护的技术使用者：上海赋利电子科技有限公司
技术研发日：20230602
技术公布日：2024/3/17