一种氩气泄漏检测装置及单晶炉的制作方法

本技术涉及单晶生长设备领域，特别是涉及一种氩气泄漏检测装置及单晶炉。

背景技术：

1、单晶炉中在晶棒生长过程中需要采用氩气进行保护，而晶棒生长完成后需要通过回收管路进行回收。若回收管路发生了泄漏，不仅造成氩气的浪费和损失，而且管路周围氧气分压会降低，引起工作人员的不适。

2、现阶段回收管路的气密性检测都是依靠定期拆卸检查实现，而回收管路的拆装过程十分繁琐，故回收管路的气密性检测频率很低，当发现管路存在泄漏点时，往往已经有大量氩气泄漏浪费，而且炉体内循环使用的氩气往往也已经被空气污染，引起单晶缺陷的增加。倘若提升检测频率，则会增加炉体的闲置时间，降低了单晶的生产效率。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对单晶生长效率低、缺陷多的问题，提供一种氩气泄漏检测装置及单晶炉。

2、一种氩气泄漏检测装置，包括：

3、回收管路；

4、非氩气传感器，位于回收管路内；及

5、扩容件，位于所述回收管路内并开设有通气口，所述扩容件具有封闭状态和打开状态，在打开状态下，所述通气口导通，以允许氩气从回收管路一端流动至另一端，在封闭状态下，所述回收管路和所述扩容件围成封闭的检测腔，且所述扩容件在所述回收管路轴向上可移动地设置，以改变所述检测腔的体积，所述非氩气传感器位于所述检测腔内。

6、本实用新型所述扩容件包括第一基板和第二基板，所述通气口位于所述第一基板上，所述第二基板相对所述第一基板活动设置，当所述扩容件处于打开状态时，所述第二基板对所述通气口进行避让，当所述扩容件处于封闭状态时，所述第二基板对所述通气口进行遮挡。

7、本实用新型所述回收管路的内壁凹陷形成沿自身轴向延伸的滑槽，第一基板的外缘设置有凸点，凸点滑动设置在滑槽内，以使第一基板在回收管路的周向上获得定位，所述第二基板转动设置在所述第一基板上并与所述第一基板贴合。

8、本实用新型所述第二基板上开设有避让缺口，所述通气口位于所述第一基板的外缘处，所述第一基板在所述通气口边缘处的部分朝向所述第二基板延伸形成限位板，当所述扩容件处于打开状态时，所述避让缺口和所述通气口连通，当所述扩容件处于封闭状态时，所述第二基板在所述避让缺口边缘处的部分抵接在所述限位板上。

9、本实用新型所述第二基板上开设有避让缺口，所述第二基板相对所述第一基板可转动设置，当所述扩容件处于打开状态时，所述第一基板和所述第二基板在所述回收管路轴向上分离，以使所述避让缺口和所述通气口连通，当所述扩容件处于封闭状态时，所述第一基板遮挡所述避让缺口，且所述第二基板在所述回收管路的轴向上定位于所述第一基板上。

10、本实用新型所述第一基板朝向所述第二基板的一面设置有弯折板，所述弯折板和所述第一基板围拢形成限位槽，当所述扩容件处于封闭状态时，所述第二基板在所述避让缺口边缘处的部分位于所述限位槽内。

11、本实用新型所述回收管路的内壁设置有沿所述回收管路轴向延伸的滑轨，所述通气口位于所述扩容件的外缘并且与所述滑轨端部在所述回收管路的轴向上相对，当所述扩容件处于打开状态时，所述扩容件与所述滑轨分离，当所述扩容件处于封闭状态时，所述滑轨穿过所述通气口，以对所述通气口进行填充。

12、本实用新型所述非氩气传感器安装在其中一个所述扩容件上，且该所述扩容件在所述回收管路的轴向上可活动设置。

13、本实用新型还包括动力机构，所述动力机构位于所述回收管路内，并控制所述扩容件在封闭状态和打开状态之间切换，以及驱动所述扩容件在所述回收管路上移动，或者，所述非氩气传感器上安装有无线传输模块，所述回收管路的材质为非金属。

14、一种单晶炉，包括氩气泄漏检测装置、炉体和回收罐，所述回收管路的两端分别连通至炉体和回收罐；

15、当扩容件处于打开状态下时，所述炉体通过所述回收管路向所述回收罐输送氩气；

16、当扩容件处于封闭状态下时，所述扩容件对所述炉体和所述回收罐之间的氩气流动进行阻断。

17、本实用新型的有益效果为：

18、扩容件处于打开状态时，回收管路可以正常传输氩气。

19、在不拆除回收管路的情况下，扩容件可以从打开状态转换为封闭状态，从而形成密闭的检测腔，通过扩容件的移动，逐渐增加检测腔的体积，从而降低检测腔内气压，使其低于回收管路外侧的大气压。随着扩容件的移动，检测腔的侧壁部分也发生变化，当回收管路侧壁上的泄漏点与检测腔连通，则回收管路外侧空气就会直接流入检测腔，从而被非氩气传感器检测到，在不拆除回收管路的情况下实现回收管路侧壁上气密性的检测，提升了气密性检测速度，进而极大提升炉体中单晶生产效率。气密性检测速度的提升，允许适当增加气密性检测频率，从而及时发现泄漏点，从而降低氩气被空气污染的概率，以此降低单晶中缺陷数量。

技术特征：

1.一种氩气泄漏检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，所述扩容件包括第一基板和第二基板，所述通气口位于所述第一基板上，所述第二基板相对所述第一基板活动设置，当所述扩容件处于打开状态时，所述第二基板对所述通气口进行避让，当所述扩容件处于封闭状态时，所述第二基板对所述通气口进行遮挡。

3.根据权利要求2所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，所述回收管路的内壁凹陷形成沿自身轴向延伸的滑槽，所述第一基板的外缘设置有凸点，所述凸点滑动设置在所述滑槽内，以使所述第一基板在所述回收管路的周向上获得定位，所述第二基板转动设置在所述第一基板上并与所述第一基板贴合。

4.根据权利要求3所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，所述第二基板上开设有避让缺口，所述通气口位于所述第一基板的外缘处，所述第一基板在所述通气口边缘处的部分朝向所述第二基板延伸形成限位板，当所述扩容件处于打开状态时，所述避让缺口和所述通气口连通，当所述扩容件处于封闭状态时，所述第二基板在所述避让缺口边缘处的部分抵接在所述限位板上。

5.根据权利要求2所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，所述第二基板上开设有避让缺口，所述第二基板相对所述第一基板可转动设置，当所述扩容件处于打开状态时，所述第一基板和所述第二基板在所述回收管路轴向上分离，以使所述避让缺口和所述通气口连通，当所述扩容件处于封闭状态时，所述第一基板遮挡所述避让缺口，且所述第二基板在所述回收管路的轴向上定位于所述第一基板上。

6.根据权利要求5所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，所述第一基板朝向所述第二基板的一面设置有弯折板，所述弯折板和所述第一基板围拢形成限位槽，当所述扩容件处于封闭状态时，所述第二基板在所述避让缺口边缘处的部分位于所述限位槽内。

7.根据权利要求1所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，所述回收管路的内壁设置有沿所述回收管路轴向延伸的滑轨，所述通气口位于所述扩容件的外缘并且与所述滑轨端部在所述回收管路的轴向上相对，当所述扩容件处于打开状态时，所述扩容件与所述滑轨分离，当所述扩容件处于封闭状态时，所述滑轨穿过所述通气口，以对所述通气口进行填充。

8.根据权利要求1所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，所述非氩气传感器安装在其中一个所述扩容件上，且该所述扩容件在所述回收管路的轴向上可活动设置。

9.根据权利要求1所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，还包括动力机构，所述动力机构位于所述回收管路内，并控制所述扩容件在封闭状态和打开状态之间切换，以及驱动所述扩容件在所述回收管路上移动，或者，所述非氩气传感器上安装有无线传输模块，所述回收管路的材质为非金属。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括如权利要求1-权利要求9任一权利要求所述的氩气泄漏检测装置、炉体和回收罐，所述回收管路的两端分别连通至炉体和回收罐；

技术总结
本技术涉及一种氩气泄漏检测装置及单晶炉，包括：回收管路；非氩气传感器，位于回收管路内；及扩容件，位于所述回收管路内并开设有通气口，所述扩容件具有封闭状态和打开状态，在打开状态下，所述通气口导通，以允许氩气从回收管路一端流动至另一端，在封闭状态下，所述回收管路和所述扩容件围成封闭的检测腔，且所述扩容件在所述回收管路轴向上可移动地设置，以改变所述检测腔的体积，所述非氩气传感器位于所述检测腔内。通过扩容件的移动，逐渐增加检测腔的体积，从而降低检测腔内气压，当回收管路侧壁上的泄漏点与检测腔连通，则回收管路外侧空气就会直接流入检测腔，从而被非氩气传感器检测到。

技术研发人员：曹国峰,宋平,邱海龙,张瑞斌,乔海彪,寇旭东,张华庄,申龙飞,张涛,王永生,马刚,郝喜杰
受保护的技术使用者：内蒙古盛欧机电工程有限公司
技术研发日：20230829
技术公布日：2024/1/15