反应容器的管道接驳方法、装置、程序以及可读存储介质与流程

本发明属于碳化硅材料制造，特别涉及一种应用在碳化硅材料制造系统的反应容器的管道接驳方法、装置、程序以及可读存储介质。

背景技术：

1、碳化硅是一种具有代表性的陶瓷材料，由于其优异的物理、化学和电学性能，因此在整个工业领域得到广泛应用。

2、近年来，随着使用碳化硅材料的半导体加工部件的开发积极进展，碳化硅材料的重要性日益增加。特别地，碳化硅材料由于其高等离子体耐受性而被广泛用作半导体工艺部件中用于蚀刻工艺的部件。用于半导体蚀刻工艺零件的碳化硅材料是制造碳化硅的传统方法。由于用这种方法不能满足质量和性能，因此现有技术中，常采用化学气相沉积法制造。

3、化学气相沉积碳化硅采用含si气体如sih4、sicl2、sicl4和含c气体如c2h2、ch4、c3h8等的混合物作为原料气体，或ch3sicl3、ch3sih3，(ch3)3sih)等。有一些使用单片原材料的沉积方法，通过化学气相沉积制造碳化硅材料具有生产率低的缺点，因为该过程是在间歇式的化学气相沉积炉中进行的。然而，如果要将间歇式的化学气相沉积炉改进为连续式的化学气相沉积炉，则需要解决反应容器在移动后与气体供给系统之间的管道接驳问题。

技术实现思路

1、为了解决所述现有技术的不足，本发明第一方面公开了一种反应容器的管道接驳方法，应用于碳化硅材料的化学气相沉积，包括：

2、响应于反应容器到达指定位置后生成的准备信号，驱动第一管道向前移动以靠近反应容器的第二管道；

3、驱动电机转动以带动第一管道转动从而使得第一管道和第二管道螺纹连接；

4、响应于第一管道与第二管道连接完成后生成的完成信号，开始第一管道和第二管道之间的气体输送。

5、进一步的技术方案还可以是，在驱动电机转动以带动第一管道转动从而使得第一管道和第二管道螺纹连接的步骤中，包括：

6、响应于第一管道移动至设定位置后生成的就位信号，驱动电机转动以带动第一管道转动从而使得第一管道和第二管道螺纹连接。

7、进一步的技术方案还可以是，在驱动第一管道向前移动以靠近反应容器的第二管道的步骤中，还包括：

8、获取距离传感器检测第一管道和第二管道之间的距离所生成的距离数据，将距离数据与设定距离数据相对比；

9、若距离数据与设定距离数据相同，则生成就位信号。

10、进一步的技术方案还可以是，在驱动电机转动以带动第一管道转动从而使得第一管道和第二管道螺纹连接的步骤中，还包括：

11、持续获取电机的力矩数据，并将电机的力矩数据与设定的力矩数据进行对比；

12、若电机的力矩数据与设定的力矩数据之间的差值在预设的误差范围内，获取距离传感器的距离数据，并将该距离数据与设定距离数据进行对比；

13、若获取的距离数据大于设定距离数据，则将获取的距离数据设定为新的设定距离数据。

14、进一步的技术方案还可以是，在驱动第一管道转动以使得第一管道与第二管道螺纹连接的步骤中，还包括：

15、获取步骤：获取反应容器的气压数据，并将获取的气压数据与设定气压数据相比；

16、比对步骤：若获取的气压数据与设定气压数据之间的差值大于设定阈值，则判断第一管道和第二管道之间的密封性能减弱；

17、调整步骤：驱动电机转动设定角度；

18、检验步骤：设定时间间隔之后，再次将获取的气压数据与设定气压数据相比，若获取的气压数据与设定气压数据之间的差值小于设定阈值，则进行如下子步骤：

19、获取电机的力矩数据，并将获取的力矩数据设定为新的终止力矩数据；

20、否则，重复上述调整步骤和检验步骤。

21、进一步的技术方案还可以是，在第一管道与第二管道的气体输送过程中，还包括：

22、获取当前反应容器内的反应流程序；

23、判断反应容器是否处于保压状态；

24、若反应容器处于保压状态，间隔一定的时间获取气压数据，得到第一气压数据和第二气压数据；

25、将第一气压数据与第二气压数据相比对，得到第一气压差值；

26、若第一气压差值位于预设的气压偏差范围外，驱动电机转动设定角度；

27、获取电机的力矩数据，并将获取的力矩数据设定为新的终止力矩数据；

28、重复上述步骤，直至第一气压差值位于预设的气压偏差范围内。

29、进一步的技术方案还可以是，该管道接驳方法还包括；

30、获取距离传感器检测第一管道和第二管道之间的距离所生成的距离数据；

31、将获取的距离数据与设定的警告距离数据相比；

32、若获取的距离数据等于设定的警告距离数据，生成警告信号。

33、本发明第二方面还公开了一种计算机程序，所述计算机程序被执行时，能够实现上面所述的管道接驳方法。

34、本发明第三方面还公开了一种可读存储介质，所述可读存储介质内置有上面所述的计算机程序。

35、本发明第四方面还公开了一种反应容器的管道接驳装置，应用于碳化硅材料制造设备，包括：

36、第一管道，与气体供给系统连接，所述第一管道能够与反应容器上的第二管道螺纹连接，以实现气体的输送；

37、推动组件，与所述第一管道连接，用于推动所述第一管道沿着所述第一管道的长度延伸方向移动；

38、电机，与所述第一管道连接，用于驱动第一管道转动以使得所述第一管道能够与第二管道螺纹连接；

39、控制器，所述控制器用于：

40、响应于反应容器到达指定位置后生成的准备信号，驱动第一管道向前移动以靠近反应容器的第二管道；

41、驱动电机转动以带动第一管道转动从而使得第一管道和第二管道螺纹连接；

42、响应于第一管道与第二管道连接完成后生成的完成信号，开始第一管道和第二管道之间的气体输送。

43、进一步的技术方案还可以是，该管道接驳装置还包括：

44、距离传感器，与所述控制器电连接，所述距离传感器用于检测第一管道与第二管道之间的距离；

45、气压传感器，与所述控制器电连接，所述气压传感器用于检测反应容器内的气压。

46、本发明，能够在反应容器输送至任一腔室后，迅速地将反应容器与气体供给系统建立连接，以在反应容器内构建反应所需的气氛环境。

技术特征：

1.一种反应容器的管道接驳方法，应用于碳化硅材料的化学气相沉积，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的管道接驳方法，其特征在于，在驱动电机转动以带动第一管道转动从而使得第一管道和第二管道螺纹连接的步骤中，包括：

3.根据权利要求2所述的管道接驳方法，其特征在于，在驱动第一管道向前移动以靠近反应容器的第二管道的步骤中，还包括：

4.根据权利要求3所述的管道接驳方法，其特征在于，在驱动电机转动以带动第一管道转动从而使得第一管道和第二管道螺纹连接的步骤中，还包括：

5.根据权利要求2所述的管道接驳方法，其特征在于，在驱动第一管道转动以使得第一管道与第二管道螺纹连接的步骤中，还包括：

6.根据权利要求5所述的管道接驳方法，其特征在于，在第一管道与第二管道的气体输送过程中，还包括：

7.根据权利要求5所述的管道接驳方法，其特征在于，在第一管道与第二管道的气体输送过程中，还包括：

8.根据权利要求6或7所述的管道接驳方法，其特征在于，还包括；

9.一种计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被执行时，能够实现如权利要求1至8中任意一项所述的管道接驳方法。

10.一种可读存储介质，其特征在于，所述可读存储介质内置有权利要求9所述的计算机程序。

11.一种反应容器的管道接驳装置，应用于碳化硅材料制造设备，其特征在于，包括：

12.根据权利要求11所述的管道接驳装置，其特征在于，还包括：

技术总结
本发明属于碳化硅材料制造技术领域，公开了一种反应容器的管道接驳方法、装置、程序以及可读存储介质。其中，反应容器的管道接驳方法，包括：响应于反应容器到达指定位置后生成的准备信号，驱动第一管道向前移动以靠近反应容器的第二管道；驱动电机转动以带动第一管道转动从而使得第一管道和第二管道螺纹连接；响应于第一管道与第二管道连接完成后生成的完成信号，开始第一管道和第二管道之间的气体输送。本发明，能够在反应容器输送至任一腔室后，迅速地将反应容器与气体供给系统建立连接，以在反应容器内构建反应所需的气氛环境。

技术研发人员：朴钟熏,崔海珍,金锡津
受保护的技术使用者：苏州精材半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/3/3