专利名称：一种用于co的制作方法
技术领域：
本发明属于电化学领域，特别适用于大气监测、汽车尾气监控及其他科学研究。
一种用于大气监测的薄膜型传感器，其特征在于传感器由部分稳定的氧化锆等氧离子导体和钠矽慷(NASICON)或钠beta氧化铝双固体电解质构成，无参比电极；辅助电极由Ba(NO3)2等硝酸盐及Na2CO3等碳酸盐构成，氧化锆薄膜采用射频溅射技术制作，碳酸盐、硝酸盐采用厚膜技术制作，铂电极可用溅射等薄膜技术制作。
整个传感器的直径仅0.8～1.2cm，厚0.3～0.5cm，可同时测试大气中的CO2及NOx含量；信号以毫伏(mV)输出，易于和自控设备连接；应答时间20-30秒；使用温度350-450℃；不受氧或氮等气体干扰，可直接放置于大气中；测试范围1-150ppm NOx；0.01-0.5％CO2；计算公式及测试准确度CO2在673KlogC(质量％)＝3.933-0.01452E(mV)±0.0963；在723KlogC(质量％)＝4.206-0.01336E(mV)±0.0391。
NOx在673KlogC(ppm)＝3.412-0.02112E(mV)±0.269；在723KlogC(ppm)＝2.414-0.01120E(mV)±0.197。
本发明优点在于该传感器体积小，结构简单，成本低，而且可对CO2-NOx两种气体实现同时测量。
4-NASICON或Naβ-Al2O3片 2，7，9-铂电极 1，6，10-铂电极引线3-Na2CO3辅助电极 5-YSZ薄膜 8-Ba(NO3)2辅助电极
权利要求
1.一种用于CO2-NOx气体监测的薄膜型传感器，其特征在于传感器由部分稳定的氧化锆等氧离子导体和钠矽慷(NASICON)双固体电解质构成，无参比电极；辅助电极由Ba(NO3)2等硝酸盐及Na2CO3等碳酸盐构成，氧化锆薄膜采用射频溅射技术制作，碳酸盐、硝酸盐采用厚膜技术制作，铂电极可用溅射等薄膜技术制作。
2.如权利要求1所述的薄膜型传感器，其特征在于传感器由部分稳定的氧化锆等氧离子导体和钠beta氧化铝双固体电解质构成。
全文摘要
本发明属于电化学领域，特别适用于大气监测、汽车尾气监控及其他科学研究。特征在于传感器由部分稳定的氧化锆等氧离子导体和钠矽慷(NASICON)或钠beta氧化铝双固体电解质构成，无参比电极；辅助电极由Ba(NO
文档编号G01N27/407GK1403807SQ0214640
公开日2003年3月19日 申请日期2002年11月5日 优先权日2002年11月5日
发明者洪彦若, 孙加林, 王岭, 金从进 申请人:北京科技大学