放射线摄像装置和放射线摄像系统的制作方法

专利名称：放射线摄像装置和放射线摄像系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及适用于医疗用图像诊断装置、非破坏检查装置、使用放射线的分析装置等的放射线摄像装置和放射线摄像系统。再有，在本说明书中，除了α射线、β射线、γ射线等以外，假设可见光、X射线等电磁波也包含于放射线。
背景技术：
作为将放射线照射在被摄体上，检测透过被摄体的放射线的强度分布来获得被摄体的放射线图像的方法，目前在开发以下技术使用将微小的光电变换元件(photoelectric conversion device)、转换元件等构成的像素排列成格子状的光电变换装置，取得数字图像。在这些放射线摄像装置中，可及时显示取得的图像数据。
在现有的放射线摄像装置中，如果到达放射线摄像装置的放射线量在低区域，则到达信息量下降造成的量子噪声和装置带有的系统噪声的影响增大，图像的S/N比恶化。因此，为了确保取得图像的必要最低限度的质量，以获得最小限度的到达放射线量为目的，使用被称为曝光计等的X射线自动曝光控制(Automatic ExposureControlAEC)电路。如图8A和图8B所示，AEC电路中使用的放射线检测元件的AEC用放射线检测区域5有2～3个部位，例如无论胸部摄影和腹部摄影的哪一个都可使用。
此时，作为上述放射线摄像装置的摄像元件，在使用固体光检测元件的平板显示器(FPD)的情况下，如美国专利第5585638号中公开的那样，在FPD的前面配置与FPD分体的放射线检测元件，使AEC电路工作。
但是，在另外设置AEC控制用传感器，对入射的放射线量进行调整(AEC控制)的情况下，这种传感器的配置成为问题。即，为了在FPD的前面配置AEC控制用传感器，以使对图像摄像用传感器的摄像没有妨碍，需要使AEC控制用传感器造成的放射线的衰减非常小。因此，这将引起装置整体的成本上升。此外，由于不存在完全没有衰减的传感器，所以难以避免这部分的摄像图像的图像质量下降。

发明内容
本发明是鉴于这样的问题的发明，其目的在于，提供一种放射线摄像装置，可以抑制检测前的放射线衰减，同时可自动调整入射的放射线量。
从装置小型化和简化的要求、低成本化的要求、以及提高制造技术方面来看，本发明人认为可在FPD内部配置AEC用放射线检测元件。但是，这种情况下，期望将AEC用放射线检测元件不妨碍图像摄像用放射线检测像素的动作来配置。具体地说，期望将从构成FPD的绝缘基板通过TCP(Tape Carrier Package；载带封装)等印刷电路板读取信号部分的结构最佳化。这里，妨碍图像摄像用放射线检测像素的动作的原因在于，在FPD内配置AEC用放射线检测像素的结果，使其附近的图像摄像用放射线检测像素的布线图形与其他部分不同，从而布线电容增加，噪声增加，并且因图像摄像用放射线检测像素的孔径率显著下降造成图像质量下降等。
本发明的放射线摄像装置包括基板；变换部，包括在所述基板上矩阵状配置的多个第1半导体变换元件和分别连接到所述多个第1半导体变换元件上的开关元件，所述多个第1半导体变换元件将放射线变换为电信号；在所述基板上配置的多个第2半导体变换元件，将放射线变换成电信号，用于检测入射到所述变换部内的放射线的照射；以及布线，连接到所述多个第1半导体变换元件的各个元件，并且连接到多个印刷电路板；其中，在连接到从所述多个印刷电路板中选择的至少一个特定的印刷电路板的所述第1半导体变换元件集中配置的区域内，集中配置有所述第2半导体元件。
在本发明中，可根据由第2半导体变换元件检测出的放射线量来进行AEC控制。此时，由于第2半导体变换元件与第1半导体变换元件形成在同一基板上，所以不产生第2半导体变换元件造成的放射线衰减。而且，第2半导体变换元件集中配置在将连接到特定印刷电路板的第1半导体变换元件集中配置的区域内。即，将第2半导体变换元件以TCP等印刷电路板为单位集中配置。因此，第2半导体变换元件不妨碍第1半导体变换元件的动作。
通过以下参照附图的说明，本发明的其他特征和优点将更明显，其中，在所有附图中，相同的参考标号表示相同或类似部分。


构成本发明说明书一部分的附图和及其说明用于解释本发明的原理。
图1是表示本发明的第1优选实施方式的放射线检测装置布局的模式图。
图2是表示第1实施方式的放射线摄像装置的AEC用放射线检测区域的电路结构的等效电路图。
图3是表示AEC用放射线检测区域5的布局模式图。
图4是表示读取用TCPa和AEC用放射线检测区域5的连接关系的模式图。
图5是表示本发明的第2优选实施方式的放射线检测装置布局的模式图。
图6是表示本发明的第2优选实施方式的变形例的放射线检测装置布局的模式图。
图7A和图7B是表示AEC用放射线检测区域和肺部的位置关系的模式图。
图8A和图8B是表示现有的放射线摄像装置的AEC用放射线检测区域和肺部的位置关系的模式图。
图9是表示第1实施方式的变形例的模式图。
图10是表示本发明的优选实施方式的放射线摄像装置对放射线摄像系统的应用例的模式图。
图11是表示本发明的优选实施方式的TFT型传感器和AEC用电路的模式图。
图12是表示图11的驱动定时图的图。
具体实施例方式
以下，参照附图具体地说明本发明的优选实施方式的放射线摄像装置。
(第1实施方式)首先，说明本发明的第1优选实施方式。图1是表示本发明的第1优选实施方式的放射线摄像装置布局的模式图。
在本实施方式中，在绝缘基板1上，矩阵状地配置m列n行的摄像用放射线检测像素。在一个摄像用放射线检测像素中，设置由MIS型光电变换元件(第1半导体变换元件)和读取用的薄膜晶体管(TFT)(开关元件)构成的、将放射线变换成电信号的变换部。M列的摄像用放射线检测像素例如被划分成9个组，在每个组中连接到读取用TCP a1至a9的其中之一。此外，n行的摄像用放射线检测像素例如被划分成8个组，在每个组中连接到驱动用TCP d1至d9的其中之一。再有，在形成了布线的载带上通过TAB(TapeAutomated Bonding；载带自动键合)封装而构成读取用TCP a1至a9和驱动用TCP d1至d9。然后，将读取用TCP a1至a9连接到读取装置2，将驱动用TCP a1至a9连接到栅极驱动装置3。
如上述那样，在将m列的摄像用放射线检测像素划分为9个组，将n行的摄像用放射线检测像素划分为8个组的情况下，按照这些划分，m行n列的摄像用放射线检测像素被划分成72个像素区域4，一个像素区域4所述的摄像用放射线检测像素相互连接到同一读取用TCP和驱动用TCP。
而且，在本实施方式中，在上述72个像素区域4中的3个上，配置多个AEC用放射线检测像素，读取用TCP a3、a5和a7成为特定印刷电路板。在AEC用放射线检测像素中，设置TFT型传感器(第2半导体变换元件)。在本说明书中，在像素区域4内，将设置了这样的AEC用放射线检测像素的区域称为AEC用放射线检测区域5。
下面，说明AEC用放射线检测区域5的结构。图2是表示第1实施方式的放射线摄像装置的AEC用放射线检测区域5的电路结构的等效电路图，图3是表示AEC用放射线检测区域5的布局模式图。
在一个AEC用放射线检测区域5中，例如配置4行4列(16个)的摄像用放射线检测像素。从在图2和图3中上面起第a行、第b列的摄像用放射线检测像素中，设置光电变换元件Mba和薄膜晶体管Tba(a、b＝1、2、3、4)。而在第3列的摄像用放射线检测像素和第4列的摄像用放射线检测像素之间，将1列4行(4个)的AEC用放射线检测像素成列配置。在图2和图3中上面起第a行的AEC用放射线检测像素中，设置TFT传感器MA3a。
此外，第b列上配置的4个MIS型光电变换元件连接到共用的偏置线Vsb，由读取装置2施加固定偏置。第a行上配置的4个读取用TFT的栅电极连接到共用的栅极线Vga，通过栅极驱动装置3来控制栅极的导通/截止(ON/OFF)。而且，第b列上配置的4个读取用TFT的源极或漏极连接到共用信号线Sigb。信号线Sig1～Sig4连接到读取装置2。
下面，说明读取用TCP和驱动用TCP与像素内的电极的连接关系。图4是表示读取用TCP a和AEC用放射线检测区域5的连接关系的模式图。再有，在图2和图3中，表示将摄像用放射线检测像素4列配置，将AEC用放射线检测像素仅配置1列的AEC用放射线检测区域，而在图4中表示将摄像用放射线检测像素配置k列，将AEC用放射线检测像素排列多个的AEC用放射线检测区域。
如图4所示，在读取用TCP a中，封装放大器的半导体芯片(Amp IC)6。在半导体芯片6中，连接输入了来自摄像用放射线检测像素的信号线Siga1～Sigak的输出信号的信号输入线Sigc1～Sigck、以及放大从这些信号输入线输入的信号并输出到读取装置2的信号输出线。而在读取用TCP a中，设置连接摄像用放射线检测像素的偏置线Vsa1～Vsak并连络读取装置2的偏置连络线Vsc、以及连接到构成各列的AEC用放射线检测像素的TFT型传感器的栅极线GL、源极线SL、漏极线DL并连络读取装置2的备用布线G、备用布线S及备用布线D。在读取用TCP a中，还设置备用布线GND。
在驱动用TCP中，封装半导体芯片(驱动IC)(未图示)，在该半导体芯片中，在摄像用放射线检测像素的栅极线上连接施加栅极驱动脉冲的栅极脉冲输出线。
在AEC用放射线检测区域5内，在摄像用放射线检测像素的所有列之间，将偏置线Vsa1～Vsak共用，并连接到读取用TCP a的偏置连络布线Vsc。信号线Siga1～Sigak分别连接到读取用TCP a的信号线Sigc1～Sigck。此外，关于AEC用放射线检测像素的TFT型传感器，在AEC用放射线检测区域5内的所有列之间，将源极线SL、漏极线DL和栅极线GL分别共用，并连接到读取用TCP a的备用布线S、备用布线D、备用布线G。
在读取装置2中，设置读取从半导体芯片6输出的信号的读取电路7、向备用布线G供给恒定电压VG的直流电源8、向备用布线D供给恒定电压VD的直流电源9、连接备用布线S的放大器10、增益切换电路11和AD变换电路12。这里，虽没有图示，但连接到直流电源8、直流电源9、放大器10的布线以在读取装置2内被共用，分别与所有的读取用TCP的各备用布线连接那样进行配置。
下面，参照图2、图3和图4说明上述那样构成的第1实施方式的放射线摄像装置的动作。
在这样构成的放射线摄像装置上，如果向人体等被检体照射X射线，则该X射线因被检体而受到衰减，同时透过被检体，在荧光体层(未图示)上变换成可见光。然后，这种可见光入射到MIS型光电变换元件M11等上，变换成电荷。该电荷按照栅极驱动装置3施加的栅极驱动脉冲通过读取用TFT11等传送到信号线Sig1等中，通过读取装置2输出到外部。然后，MIS型光电变换元件M11等产生而没有被传送的电荷由共用偏置线Vs1等消除。
另一方面，对于TFT型传感器MA31～MA34，例如从直流电源8和9通过备用布线G和D在栅极和漏极电极间施加例如使TFT的半导体层耗尽的固定偏置。这样，通过施加固定偏置，从而始终输出与入射光对应的电荷。因此，通过用放大器(AMP)10放大该输出值，并进行加法运算，可以由读取装置检测X射线的总照射量。然后，根据X射线的总照射量来控制X射线的照射。
这里，图11表示作为AEC用放射线检测像素的TFT型传感器和AEC用电路的概念图，图12表示本实施方式的驱动定时图，使用图2、图4、图11和图12来说明驱动定时。
首先，通过向导通/截止电路1101输入X射线START信号，从X射线源1102照射X射线。该X射线因被检体而受到衰减，透过被检体，在荧光体1103上由MIS型光电变换元件(图2的Mab)和TFT型传感器MA波长变换为可感知的光(可见光)。这种波长变换的光入射到MIS型光电变换元件和TFT型传感器MA，在各元件中产生电荷。
TFT型传感器MA产生的电荷通过备用布线S由积分电路1105积分为电压值Vaec。在Vaec达到比较电路1106的设定值(例如，这里为2V)时，从比较电路1106将X射线截止的信号S1输入到导通/截止电路1101。由此切断X射线(参照图12)。
在上述说明和图11中，列举了使用模拟积分电路1105的例子，而如图4所示，也可以将TFT型传感器MA的输出进行A/D变换，写入存储器(未图示)，在运算电路中与设定值进行比较。
接着，读取由上述MIS型光电变换元件产生的电荷。参照图2，读取动作按第1行的M11～M41、接着第2行的M12～M42、接着第3行的M13～M43的顺序进行。首先，为了读取第1行的M11～M41，向开关元件(TFT)T11～T41的栅极布线Vg1提供栅极脉冲(参照图12)。由此，T11～T41为导通状态，将M11～M41中积蓄的电荷传送到信号线Sig1～Sig4。在信号线Sig1～Sig4中，附加读取电容(未图示)，M11～M41中积蓄的电荷通过TFT被传送到读取电容。例如，信号布线Sig1上附加的读取电容是连接到Sig1的T11～T41的各TFT的栅极/源极间电容(Cgs)的总和(4个部分)。Sig1～Sig4中传送的电荷由图4所示的与读取电路7连接的半导体芯片6(Amp IC)放大，分别传送保持读取电路7内的采样保持电容CL1～CL4(未图示)。接着，通过由图4所示的读取电路7内的移位寄存器(未图示)按读取电路7内的开关Sr1、Sr2、Sr3、Sr4(未图示)的顺序施加脉冲(参照图12)，CL1～CL4中保持的信号按CL1、CL2、CL3、CL4的顺序输出到读取电路7的外部。其结果，如图12所示，M11～M41的1行部分的光电变换信号作为Vout依次输出。第2行的M12～M42的读取动作、第3行的M13～M43及以后的读取动作也同样进行。这里，读取电路7是与以往公知的读取电路相同的电路，所以省略读取电路7内的结构。
根据这样的第1实施方式，由于在绝缘基板1上除了MIS型光电变换元件以外还设置AEC用的TFT型传感器，所以在X射线入射到MIX型光电变换元件期间，X射线不因AEC用放射线检测像素而衰减。因此，可以获得良好的图像质量。
再有，如果在AEC用放射线检测区域5内，则TFT型传感器可以选择性地配置在必要的部位。在与AEC用放射线检测像素相邻的摄像用放射线检测像素中，MIS型光电变换元件的孔径率会减少，但其面积减少部分可通过读取后的图像校正而容易地补偿。
此外，将集中构成连接到同一TCP的像素的几个像素区域4和AEC用放射线检测区域5进行设定，在该AEC用放射线检测区域5内配置AEC用放射线检测像素。因此，可将连接到AEC用放射线检测像素的布线(栅极布线GL、源极布线SL及漏极布线DL)容易地引出到读取用TCP。
而且，在各读取用TCP中，通过在其两侧端部设置备用布线G、S及D，将各备用布线G、S及D连接到读取装置2内地规定电路(直流电源8及9和放大器10)，可将AEC用放射线检测像素连接到规定的电路。因此，可低价制造放射线摄像装置。
本发明优选实施方式的读取用TCP的特征在于，具有多个备用布线，而且连接到必要的AEC区域的情况下，通过上述备用布线连接到规定的电路。即，读取用TCP有使用备用布线的情况和不使用的情况。
此外，通过将不使用的备用布线通过全部直接连接到地，对于外来噪声或静电，可保持更稳定的状态。
换句话说，通过使用配有备用布线的TCP，当然可进行AEC传感器驱动和读取输出，同时实现环境稳定性，并且不需要准备多种类的TCP，可获得高质量、低价格。
再有，在第1实施方式中，是AEC用放射线检测像素的布线连接到读取用TCP的结构，但如图9所示，也可以是连接到驱动用TCP的结构。这种情况下，例如，各像素的布局与图3的布局同样，关于布线的布局，AEC用放射线检测像素的源极线SL和漏极线DL分别通过接触孔CNT1、CNT2，分别连接到栅极布线层(与栅极布线GL相同的布线层)上配置的布线。而直流电源8和9及放大器10等被设置栅极驱动装置中。
此外，绝缘基板1上的偏置线不仅在AEC用放射线检测区域内共用，例如也可以在所有的像素区域4内共用。
而且，在图2和图3中，示出在一个AEC用放射线检测区域中设置4行4列(16个)像素的例子，但像素数不限于此。此外，在绝缘基板1上，例如也可以设置总计为2000×2000像素。
这里，在本实施方式中，作为第1半导体变换元件，示出了MIS型光电变换元件，但也可以使用PIN型光电变换元件。而且，关于摄像用放射线检测像素的结构，第1半导体变换元件和开关元件可以是同一层构成的平面型，也可以是在形成开关元件的层上形成第1半导体变换元件的叠层型。而且，第1半导体变换元件例如是将放射线直接变换成电信号、使用非晶硒(a-Se)和多晶CdS等直接变换膜的变换元件，也可以不使用闪烁体(scintillator)而使用将放射线直接变换为电信号的放射线摄像装置。
(第2实施方式)下面，说明本发明的第2优选实施方式。图5是表示本发明的第2优选实施方式的放射线摄像装置布局的模式图。
在本实施方式中，与第1实施方式同样，在绝缘基板1上矩阵状地配置m列n行的摄像用放射线检测像素。将m列的摄像用放射线检测像素例如划分为9个组。而将n行的摄像用放射线检测像素例如划分为8个组，在每个组中连接到驱动用TCP d1至d8的其中之一。在划分成9个组的m列的摄像用放射线检测像素中连接到驱动用TCP d1至d4的其中之一像素连接到读取用TCP a1至a9的其中之一，连接到驱动用TCP d5至d8的其中之一的像素连接到读取用TCP b1至b9的其中之一。
然后，按照这些划分，m行n列的摄像用放射线检测像素被划分为72个像素区域4，一个像素区域4所属的摄像用放射线检测像素相互连接到同一读取用TCP和驱动用TCP。读取用TCP a1至a9连接到读取装置2，读取用TCP b1至b9连接到读取装置2b，驱动用TCP d1至d8连接到栅极驱动装置3。读取用TCP b1至b9与读取用TCP a1至a9同样地构成，读取装置2b与读取装置2同样地构成。最好是在绝缘基板1的相互对置的两边上各配置相同数的读取用TCP a1～a9和读取用TCP b1～b9，以夹置将放射线变换成电信号的变换部。
在本实施方式中，在上述72个像素区域4内的6个上，配置多个AEC用放射线检测像素，读取用TCP a3、a5、a7、b3、b5及b7成为特定印刷电路板。
在这样构成的第2实施方式中，可以同时进行来自两行的摄像用放射线检测像素的读取。因此，与第1实施方式比较，可以用1/2的时间完成从摄像用放射线检测像素中读取数据。
此外，例如，通过绝缘基板1的相互对置的两边上平行的边界线，将n行摄像用放射线检测像素划分为上下各n/2行，可以将该边界线作为基准，线对称地配置AEC用放射线检测区域5。
此外，如图6所示，可将m列的摄像用放射线检测像素例如划分成8个组，将n行的摄像用放射线检测像素例如划分为9个组，同时除了栅极驱动装置3以外，还可设置栅极驱动装置3e。此时，可将m列的摄像用放射线检测像素划分为左右各m/2列，以它们的边界作为基准，线对称地配置AEC用放射线检测区域5。
这种情况下，可在栅极驱动装置3侧，在驱动用TCP d1至d8上追加驱动用TCP d9，同时在栅极驱动装置3e侧设置驱动用TCPe1至e9。驱动用TCP d9及e1至e9与驱动用TCP d1至d8同样地构成，栅极驱动装置3e与栅极驱动装置3同样地构成。因而，驱动用TCP d3、d5、d7、e3、e5及e7成为特定印刷电路板。
可是，在FPD的平面状与现有的银氯胶片同样为长方形，例如半切胶片尺寸为长方形的情况下，根据进行摄影的对象者(被检体)的体格，将FPD的纵向方向配置在纵或横的其中一个方向上来进行摄影。但是，这样在旋转使用FPD的情况下，装入在FPD中的AEC用放射线检测区域如图8所示那样在以往的2～3个部位不十分清楚。即，如图8A所示，在纵向放置FPD的纵向方向时，将2～3个部位的AEC用放射线检测区域5最佳化，以配置在肺部21的位置，但如图8B所示，在横向放置FPD纵向方向时，在AEC用放射线检测区域5中产生没有配置在肺部21位置的区域，不是最佳配置。
对此，在本发明的优选实施方式中，如图5或图6所示，在FPD的6个部位上设置了AEC用放射线检测区域5的情况下，如图7A和图7B所示，即使是纵向放置、横向放置的其中任何一个，AEC用放射线检测区域5也被配置在最佳位置。即，无论如图7A所示那样纵向放置FPD22，还是如图7B所示那样横向放置FPD22，相对于肺部21的AEC用放射线检测区域5的配置都是最佳的。
这样，在各TCP的两侧端部中设置备用布线，以TCP为单位来配置AEC用放射线检测区域，从而可以在必要的场所容易地进行其配置，所以无论纵向放置、横向放置，都可以在最佳位置配置AEC用放射线检测区域5，并且可以低价地制造放射线摄像装置。
这里，在本实施方式中，作为第1半导体变换元件，示出了MIS型光电变换元件，但也可以使用PIN型光电变换元件。而且，关于摄像用放射线检测像素的结构，第1半导体变换元件和开关元件可以是同一层构成的平面型，也可以是在形成开关元件的层上形成第1半导体变换元件的叠层型。而且，第1半导体变换元件例如是将放射线直接变换成电信号、使用非晶硒(a-Se)和多晶CdS等直接变换膜的变换元件，也可以不使用闪烁体而使用将放射线直接变换为电信号的放射线摄像装置。
(应用例)以下，说明采用本发明的优选实施方式的放射线摄像装置的放射线摄像系统。图10是表示本发明的优选实施方式的放射线摄像装置对放射线摄像系统的应用例的模式图。
X射线管6050产生的X射线6060透过患者或被检查者6061的胸部6062，入射到图1所示的放射线检测装置(放射线摄像装置)6040。在这种入射的X射线中包含患者6061身体的内部信息。对应于X射线的入射，闪烁体(荧光体)发光，传感器板的光电变换元件进行光电变换，获得电信息。放射线检测装置(放射线摄像装置)6040将该信息作为电信号输出到图像处理器6070。作为图像处理部件的图像处理器6070将从放射线检测装置(放射线摄像装置)6040输出的电信号变换为数字信号后，对该数字信号进行图像处理，并输出到控制室的显示部件的显示器6080。医生观察显示器6080上显示的图像，可以获得患者6061的身体内部信息。
图像处理器6070可将从放射线检测装置(放射线摄像装置)6040输出的电信号通过电话线路6090等传输处理部件向外地传送，可以显示在处于医生室等以外场所的显示部件(显示器)6081上。此外，将从放射线检测装置(放射线摄像装置)6040输出的电信号保存在光盘等记录部件中，使用该记录部件，外地的医生也可进行诊断。而且，通过记录部件的胶片处理器6100，也可以记录在胶片6110上。
这里，在本应用例中，放射线摄像装置也可以使用将放射线直接变换为电信号，例如是使用非晶硒(a-Se)和多晶CdS等直接变换膜的变换元件，可以不使用闪烁体而使用将放射线直接变换为电信号的放射线摄像装置。
如以上说明，根据本发明，由于将印刷电路板作为一个单位，集中配置第2半导体变换元件，所以在其设计上可以在必要的场所容易地进行其配置，可以低价地制造。
权利要求
1.一种放射线摄像装置，包括基板；变换部，包括在所述基板上矩阵状配置的多个第1半导体变换元件和分别连接到所述多个第1半导体变换元件上的开关元件，所述多个第1半导体变换元件将放射线变换为电信号；在所述基板上配置的多个第2半导体变换元件，将放射线变换成电信号，用于检测入射到所述变换部内的放射线的照射；以及布线，连接到所述多个第1半导体变换元件的各个元件，并且连接到多个印刷电路板；其中，在连接到从所述多个印刷电路板中选择的至少一个特定的印刷电路板的所述第1半导体变换元件集中配置的区域内，集中配置有所述第2半导体元件。
2.如权利要求1所述的放射线摄像装置，其中，在所述变换部中，将控制所述开关元件动作的控制布线和通过所述开关元件传送从所述第1半导体变换元件输出的信号的信号线相互垂直配置，所述特定的印刷电路板是连接所述信号线的印刷电路板。
3.如权利要求2所述的放射线摄像装置，其中，在所述基板的相互对置的两边上各配置相同数目的连接所述信号线的印刷电路板，以夹置所述变换部。
4.如权利要求3所述的放射线摄像装置，其中，在将所述第1半导体变换元件通过与所述两边平行的边界线区分为相同数目组成的两个组时，所述第2半导体变换元件以所述边界线作为对称轴进行线对称的配置。
5.如权利要求1所述的放射线摄像装置，其中，在所述变换部中，控制所述开关元件动作的控制布线和通过所述开关元件传送从所述第1半导体变换元件输出的信号的信号线相互垂直配置，所述特定的印刷电路板是连接所述控制线的印刷电路板。
6.如权利要求5所述的放射线摄像装置，其中，在所述基板的相互对置的两边上各配置相同数目的连接所述控制线的印刷电路板，以夹置所述变换部。
7.如权利要求6所述的放射线摄像装置，其中，在将所述第1半导体变换元件通过与所述两边平行的边界线区分为相同数目组成的两个组时，所述第2半导体变换元件以所述边界线作为对称轴进行线对称的配置。
8.一种放射线摄像系统，包括产生所述放射线的放射线源；权利要求1所述的放射线摄像装置，将从所述放射线源入射的放射线变换为电信号；图像处理部件，对从所述放射线摄像装置输出的电信号进行图像处理；以及显示部件，显示由所述图像处理部件进行了图像处理的电信号。
9.如权利要求8的放射线摄像系统，其中，还包括传送从所述图像处理部件输出的电信号的传送处理部件，所述图像处理部件通过该传送处理部件向所述显示部件输出所述信号。
全文摘要
将m行n列的摄像用放射线检测像素例如划分为72个像素区域，属于一个像素区域的摄像用放射线检测像素相互连接到相同的读取用TCP和驱动用TCP。在上述72个像素区域中，例如在3个区域(AEC用放射线检测区域)中，设置多个AEC用放射线检测像素。在AEC用放射线检测像素中，设置TFT型传感器。而且，在各读取用TCP中，在其两端部设置AEC用放射线检测像素的备用布线，通过读取各备用布线并连接到装置内的规定电路，将AEC用放射线检测像素连接到规定的电路，使AEC电路动作。
文档编号G01T1/29GK1517069SQ20041000246
公开日2004年8月4日 申请日期2004年1月20日 优先权日2003年1月27日
发明者石井孝昌, 森下正和, 山崎达也, 辻井修, 平井明, 田村敏和, 野中秀树, 也, 和, 树 申请人:佳能株式会社