专利名称：液位传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种测量液位的液位传感器。
背景技术：
在存放液体的容器中，有些具有用来测量液位的液位传感器。作为液位传感器，例如，有为人们所知的有浮子式传感器、使用超声波的传感器以及静电电容式传感器等等。
这里，在容器为例如高20mm，直径20mm这样的小型容器的情况下，在浮子式传感器中，由于不得不把浮子做得小，因此浮子自身的浮力变得过小，所以存在不足以支撑可变电阻器、光学器件、磁器件等与浮子连动的位置检测器件这一问题。另外，小型容器由于容积较小，液位的绝对值也变小，从而要求例如在高度方向上正负误差在0.5mm左右的高测量精度。在具有这样的特殊性的小型容器中，如果采用使用超声波的传感器，由于不能够完全确保发送接收超声波的距离，导致测量精度降低，无法高精度地测量液位。
与此相对，静电电容式传感器能够比浮子式传感器更加小型化，并且比使用超声波的传感器更高精度地测量液位。
静电电容式传感器中，将一对部分浸在液体内的测量用电极配置在沿着容器的垂直方向上。这里，由于液体中的感应率比空气中的感应率大，一对测量用电极中，浸在液体中的那部分的静电电容量变大。因此，液位越高，静电电容就越大，如果测出静电电容，就能够测量出液位。另外，在以往的液位传感器中，具有一对被完全浸没在液体中的参照用电极。通过该一对参照用电极所测量出的静电电容，能够计算出该温度下的液体的感应率。这样，如果使用该感应率测出测量用电极间的静电电容，就能够提高测量精度(参考例如专利文献1)
专利文献1特开平11-108735号公报。
然而，由于一对测量用电极与一对参照用电极之间容易产生静电耦合，容易导致测量用电极中的静电电容的测量值发生误差。特别是，如果将液位传感器小型化，由于测量用电极与参照用电极的接近，会更加容易发生误差。
发明内容
本发明为解决上述以前的问题，目的在于提供一种能够高精度地测量液位的液位传感器。
本发明为了解决上述问题，采用以下装置。
本发明的液位传感器，包括被配置在存放液体的容器内的、被输入规定信号的测量信号供给电极；以及被配置在距离上述测量信号供给电极规定距离处，测量对应于液面的高度而变化的电气特性的测量电极；以及用来测量上述测量信号供给电极与上述测量电极之间的电气特性，取得上述电气特性的参照值的参照电极，上述参照电极的一部分被电磁屏蔽。
这样的液位传感器，由于参照电极一部分被屏蔽，参照电极中被屏蔽的部分，不会与测量电极或者测量信号供给电极之间产生静电耦合。该液位传感器，通过驱动电极与测量电极之间的电气特性、以及在参照电极中没有被屏蔽的部分所测量的电气特性，来测量液位。
作为优选方式，在上述液位传感器中，上述参照电极，在与测量电路相连接的信号导通部的前端，具有测量上述参照值的参照用测量部，上述信号导通部被电磁屏蔽。
这样的液位传感器，在将参照用测量部所得到的信号导入到测量电路中的过程中，能够防止信号中附加噪声。特别是，由于参照用测量部位于容器的底面附近，因此很容易得到检测液位时的基准。
作为优选方式，在上述液位传感器中，用防水性的绝缘膜覆盖上述测量信号供给电极、上述测量电极、上述参照电极以及上述参照电极的屏蔽。
这样的液位传感器，能够防止导电性的各个电极与屏蔽层以及液体间的接触。
作为优选方式，在上述液位传感器中，上述参照电极被设置在绝缘材料上，上述参照电极的屏蔽包括在上述绝缘材料上沿着上述参照电极而设置在其两侧的一对屏蔽电极，以及一对屏蔽层使上述绝缘材料被夹持在中间。
这样的液位传感器，由于屏蔽电极以及屏蔽层被设置成将参照电极包围住，因此能够巩固参照电极的电磁屏蔽。
作为优选方式，上述液位传感器中，上述测量电极与上述测量信号供给电极之间的距离，大致等于某一个上述屏蔽电极以及上述屏蔽层与上述测量信号供给电极之间的距离。
这样的液位传感器，能够使测量信号供给电极震荡产生的信号，均等地传播给测量电极、屏蔽电极以及屏蔽层。
作为优选方式，上述液位传感器中，上述测量信号供给电极、上述测量电极以及上述参照电极各自的前端位置齐平。
这样的液位传感器，通过使各个电极的前端齐平，能够从相当深的位置测量液位。
作为优选方式，上述液位传感器中，上述参照电极，除了其前端部分之外的部分，至少是能够浸在液体中的部分被屏蔽。
该液位传感器中，在能够测量液位的范围内，由于除了用来取得参照值的部分之外，因为参照电极被屏蔽，所以即使液位变化，除参照电极的参照值测量部分以外，也不会与测量信号供给电极发生静电耦合。
作为优选方式，上述液位传感器中，上述测量电极与上述测量信号供给电极以及上述参照电极被设置为互相靠近，且使各个电极成为被长条型的绝缘膜覆盖的长条膜型。
该液位传感器，能够防止导电性的各个电极与屏蔽层或液体接触。另外，由于是长条型，因此安装变得更容易，能够可靠地固定电极间的距离。
发明效果通过本发明，由于将参照电极的一部分屏蔽，因此能够防止被屏蔽的部分与测量电极或者测量信号供给电极之间的静电耦合。这样，增强了参照电极抵抗外部电磁噪声的能力，从而能够提高液位的测量精度。另外，通过膜覆盖各个电极被浸没在液体中的部分，更易于安装。
另外，如果将参照电极除了前端部分之外都屏蔽起来，就更容易测量容器底面附近的电气特性。
另外，如果使测量信号供给电极到测量电极之间的距离，与测量信号供给电极到屏蔽之间的距离大致相等，就使得来自测量信号供给电极的信号的传播大致均等，从而降低测量误差。
另外，如果使各个电极的前端相对容器的底面的高度相同，那么即使只有少量的液体，也能够测量液位。
图1是本发明的实施方式中的液位传感器的整体构成图。
图2是说明液位传感器的传感器部的示意图。
图3是液位传感器的传感器部的分解立体图。
图4是说明液位传感器的实测值的一个测量例的图。
图中2-传感器部，3-测量电路，4、7-保护膜(绝缘膜)，5-第1绝缘膜(绝缘材料)，6-第2绝缘膜(绝缘材料)，9、15-屏蔽层，10-测量电极，10a、11a、13a-下端(前端)，11-驱动电极(测量信号供给电极)，12-第1屏蔽电极，13-参照电极，14-第2屏蔽电极，25-参照用测量部，r1、r2-距离，h0-基准位置。
具体实施例方式
下面对照附图对实施本发明的最佳方式进行详细说明。
如图1所示，本实施方式中的液位传感器，包括被固定在容器1中的传感器部2，以及与传感器部2电连接的测量电路3。
如图2以及图3所示，传感器部2为细长的薄膜状，按照长边方向一侧的基端2a与测量电路3相连接，前端2b位于容器1的底面附近那样固定。另外，从基端2a到前端2b之间，传感器部2的宽度变宽。最好使从该宽度扩展部分8开始的前端浸在液体中。
传感器部2按顺序层积有保护膜4、第1绝缘膜5、第2绝缘膜6以及保护膜7。各个膜4、5、6、7由聚对苯二甲酸乙二(醇)酯(PET)、聚酯、尼龙、液晶聚合体等吸水率低的绝缘材料制成。
在位于某一侧的最外层的保护膜4上，以薄片状设置有宽度为保护膜4的宽度的一半左右的屏蔽层9。第1绝缘膜5被紧贴在保护膜4上，与保护膜4一起夹持屏蔽层9。在该第1绝缘膜5上，沿着第1绝缘膜5的长边方向间隔一定的距离大致并列地配置有各个线状的测量电极10、驱动电极(测量信号供给电极)11、第1屏蔽电极12、参照电极13、第2屏蔽电极14。第2绝缘膜6被密合在第1绝缘膜5上，与第1绝缘膜5一起夹持各个电极10、11、12、13、14。在该第2绝缘膜6上，以薄片状设置有宽度为第2绝缘膜6的宽度的一半左右的屏蔽层15。另外，保护膜7被密合在第2绝缘膜6上，与第2绝缘膜6一起夹持屏蔽层15。
另外，如图2所示，第2绝缘膜6以及保护膜7，在传感器部2的基端2a侧比保护膜4以及第1绝缘膜5短，在相当于传感器部2的上部的基端2a侧，各个电极10、11、12、13、14分别以规定的长度露出来。
如图2以及图3所示，驱动电极11以规定的线宽以及厚度被设置在第1绝缘膜5的面17上从基端到前端的附近处。该驱动电极11的上端，与位于传感器部2的基端2a侧的测量电路3(参考图1)相连接，被输入规定的驱动用交流信号。另外，驱动电极11的下端(前端)11a，位于第1绝缘膜5的前端5a的上方，距离第1绝缘膜5的前端5a为规定的距离r1。
测量电极10，被设置在面17上位于距离驱动电极11规定距离处。测量电极10的线宽以及厚度与驱动电极11相同。测量电极10的上端与位于传感器部2的基端2a侧的测量电路3相连接。另外，测量电极10的下端(前端)10a位于第1绝缘膜5的前端5a的上方，距离第1绝缘膜5的前端5a为规定的距离r1。
该测量电极10与驱动电极11形成电容器件。其静电电容值由测量电极10与驱动电极11的表面积、电极间距离以及感应率决定。相对空气的感应率来说，液体的感应率非常大。因此，测量电极10与驱动电极11之间的静电电容，大致与浸在液面下的表面积，也即从测量电极10与驱动电极11的下端到后述的液面之间的长度成正比。
另外，在面17上，第1屏蔽电极12被设置在与测量电极10相对驱动电极11大致对称的位置上。也即，驱动电极11到测量电极10之间的距离，与驱动电极11到第1屏蔽电极12之间的距离大致相同。第1屏蔽电极12的上端接地。另外，第1屏蔽电极12的下端(前端)12a位于第1绝缘膜5的前端5a的上方，距离第1绝缘膜5的前端5a为规定的距离r2。并且距离r2大于距离r1。
参照电极13，被设置在面17上距离驱动电极11更远处。参照电极13的线宽以及厚度与驱动电极11相同。参照电极13的上端与位于传感器部2的基端2a侧的测量电路3相连接。另外，参照电极13的下端(前端)13a位于第1绝缘膜5的前端5a的上方，距离第1绝缘膜5的前端5a为规定的距离r1。
第2屏蔽电极14被设置在面17上，与第1屏蔽电极12共同夹着参照电极13。也即，参照电极13到第2屏蔽电极14之间的距离，与参照电极13到第1屏蔽电极12之间的距离大致相等。第2屏蔽电极14的上端接地。另外，第2屏蔽电极14的下端(前端)14a位于第1绝缘膜5的前端5a的上方，距离第1绝缘膜5的前端5a为规定的距离r2。
另外，屏蔽层9被设置在与屏蔽电极12、14以及屏蔽层15重合处。具体的说，屏蔽层15的宽度大致等于屏蔽电极12与14的电极间的距离加上各个屏蔽电极12、14的宽度。另外，屏蔽层9的下端(前端)与屏蔽电极12、14一样，位于第1绝缘膜5以及第2绝缘膜6的前端的上方，距离第1绝缘膜5以及第2绝缘膜6的前端为规定的距离r2。这里，屏蔽层9由导电性材料制成。经过形成在第1绝缘膜5上的导电穿孔部20，与第2屏蔽电极14电连接。另外，导电穿孔部20，例如可以通过给形成在第1绝缘膜5上的穿孔镀上导电性的材料而形成。
屏蔽层15由导电性材料形成，形状与屏蔽层9相同。另外，屏蔽层15，形成在第2绝缘膜6与第1绝缘膜5的面17相密合的面的相反侧的面21上。其下端(前端)位于和屏蔽电极12、14以及屏蔽层9相同的位置上。另外，该屏蔽层15，经形成在第2绝缘膜6上的导电穿孔部23，与第2屏蔽电极14电连接。
屏蔽层9与屏蔽层15，通过第1绝缘膜5以及第2绝缘膜6，被设置在夹持参照电极13以及屏蔽电极12、14的位置上。因此，一对屏蔽电极12、14与一对屏蔽层9、15，按照将参照电极13包围起来那样，且保持电连接设置。由于一对屏蔽电极12、14如上所述接地，因此一对屏蔽电极12、14与一对屏蔽层9、15形成参照电极13的电磁屏蔽。
参照电极13，在下端13a的附近，从屏蔽突出的部分形成参照用测量部25，被屏蔽的部分作为信号导通部26。参照用测量部25与驱动电极11形成电容器件。其静电电容值由参照用测量部25以及驱动电极11的表面积、电极间距离与感应率决定。参照用测量部25的长度为规定的距离r2减去规定的距离r1所得到的长度，将此时的静电电容(感应率)的值设为液位测量时的参照值。信号导通部26，其上端与测量电路3相连接，用来将参照用测量部25所产生的规定信号输入给测量电路30。
另外，各个电极10、11、12、13、14与屏蔽层9、15，通过在贴合有规定厚度的导电性材料的薄膜4、5、6上，将导电材料部分地蚀刻而形成。另外，传感器部2的宽度扩展部分8上，各个电极10、11、12、13、14之间的配置间隔也以第1屏蔽电极12为中心相应地变大。
如图1所示，测量电路3具有例如产生方波交流信号的震荡电路31。该震荡电路31包括3个反向器32、33、34所构成的串联电路，与该串联电路的输入端及输出端相连接的电阻器35以及与反向器32的输入端以及反向器33的输出端相连接的电容器36。串联电路的输出端与传感器部2的驱动电极11相连接。
另外，测量电路3具有与测量电极10的一端相连接的电阻器37以及模拟开关38。另外，测量电路3具有与参照电极13的一端相连接的电阻器39以及模拟开关40。电阻器37、39各自的另一端分别接地。模拟开关38、40与低通滤波器41相连接。另外，模拟开关38、40各自的控制端与震荡电路31相连接，根据震荡电路31的输出波形，在开关的ON或OFF之间进行切换。
低通滤波器41具有一端与模拟开关38相连接的电容器42以及电阻器43，电阻器43的另一端与电容器44、电阻器45以及电容器46相连接。另外，低通滤波器41具有一端与模拟开关40相连接的电容器47以及电阻器48，电阻器48的另一端与电容器49、电阻器50以及电容器46相连接。该低通滤波器41的输出与差分放大电路51相连接。另外，电容器42、47、电容器44、49、电阻器45、50各自的另一端分别接地。电容器46跨接在电阻器43与电阻器48各自的另一端之间。
差分放大电路51主要由3个运算放大器52、53、54构成。运算放大器52的非反相输入端与低通滤波器41的测量电极10侧的输出相连接。该运算放大器52的输出端与反相输入端经电阻器55相连接，形成负反馈回路。另外，运算放大器52的输出端经电阻器56的与运算放大器54的反相输入端相连接。另外，运算放大器52的反相输入端经电阻器57以及可变电阻器58与运算放大器53的反相输入端相连接。
运算放大器53的非反相输入端与低通滤波器41的参照电极13侧的输出相连接。该运算放大器53的输出端与反相输入端之间也跨接有电阻器59。另外，运算放大器53的输出端与电阻器60以及电阻器61分别相连接。电阻器60接地，电阻器61与运算放大器54的非反相输入端相连接。
运算放大器54的输出端与电阻器62的一端相连接。该电阻器62与其他控制电路相连接，从这里输出对应于从基准位置h0到液面之间的距离(液位)的信号。另外，该电阻器62的另一端与运算放大器54的反相输入端之间，并联有电阻器63以及电容器64。
接下来，对该液位传感器的动作进行说明。另外，图1中所示的容器1的内面固定有传感器部2。这里，最好使传感器部2的各个电极10、11、12、13、14的长度方向与容器1的垂直方向一致，且传感器部2的前端与容器1的底面相接触。
首先，在容器1中，如图2所示，加入高度等于距离r2(基准位置h0)的液体。在该状态下，震荡电路31产生驱动用交流信号，并输入给驱动电极11。交流信号以空气以及液体为媒介，从驱动电极11传播到测量电极10、第1屏蔽电极12、屏蔽层9、15以及参照用测量部25。另外，由于第1屏蔽电极12以及屏蔽层9、15接地，参照电极13中，信号导通部26中不会传播信号。
测量电极10中，由于信号的传播，产生对应于基于液体的感应率的静电电容，也即液位的接收电压(接收信号)。该接收电压被输入给测量电路3的模拟开关38。另外，参照用测量部25中，由于信号的传播，产生对应于基于液体的感应率的静电电容的接收电压(接收信号)。该接收电压被输入给测量电路3的模拟开关40。
这里，由于模拟开关38、40，对应于震荡电路31的驱动交流，切换开关的闭合断开，因此测量电极10的接收电压与参照电极13的接收电压的接收电压被同步检波。模拟开关38、40所同步检波的各个接收电压被输入给低通滤波器41，去除多余的交流成分，取出直流成分。进一步被输入给差分放电电路51，放大之后，输出与测量电极10的接收电压减去作为参照值的参照电极13的接收电压所得到的差成正比的信号。另外，测量电极10与驱动电极11被浸在液体中的部分之间的感应率，与测量电极10与参照电极13的参照用测量部25之间的感应率相同。
进一步，当容器1内的液体的量增加，液面上升到超过基准位置h0之后，驱动电极11与测量电极10之间的静电电容大致与液位成正比增加。与此相对，参照电极13由于其超过基准位置h0的部分被屏蔽电极12、14以及屏蔽层9、15屏蔽，因此其静电电容不会从相当于基准位置h0时的静电电容开始变化。如上所述，传感器的输出，和对应于测量电极10侧的静电电容的信号与对应于参照电极13侧的静电电容的信号之间的差成正比。因此，如果液位上升，便与其成正比增加。
另外，在基准位置h0以上的区域，如果液位下降，驱动电极11与测量电极10之间的静电电容值便减少。与此相对，在基准位置h0以上的区域，即使液位下降，驱动电极11与参照电极13之间的静电电容值也不会变化。因此，如果液位下降，传感器的输出便随之正比减少。
这样，传感器的输出就成为以参照用测量部25的接收电压为基准，大小大致与液位成正比的信号。所以，根据信号的大小便能够得知液位的绝对值。
(实施例)图4中显示了使用图2中所示的结构的液位传感器所实测的液位与静电电容值之间的关系的一个测量例。测量中所使用的传感器部2，使用液晶聚合体所制成的膜4、5、6、7，其厚度为25μm，宽度约为11mm，长度为50mm。各个电极10、11、12、13、14为铜制，宽度约为1mm，厚度为125μm。另外，驱动电极11的中心与测量电极10的中心之间的距离约为1.8mm，驱动电极11的中心与第1屏蔽电极12的中心之间的距离约为1.8mm。另外，驱动电极11的中心与参照电极13的中心之间的距离约为3.6mm。参照电极13从屏蔽电极12、14突出的长度约为1mm。从驱动电极11与测量电极10以及参照电极13的下端10a、11a、13a到传感器部2的前端2b之间的距离约为0.5mm。
用上述构成的液位传感器测量容器1内的纯水的液位。另外，使传感器部2的前端2b位于容器1的底面，传感器部2的基端2a朝向容器1的上部侧，几乎垂直地安装在容器1内面上而进行测量。
图4中，纵轴为静电电容值，横轴为液位。液位为-10mm时，表示容器处于空的状态，为0mm时，表示液面高度相当于图2中所示的基准位置h0。另外，线L1表示驱动电极11与测量电极10之间的静电电容值的变化。线L2表示驱动电极11与参照电极13的参照用测量部25之间的静电电容值的变化。
如线L2所示，驱动电极11与参照电极13之间的静电电容值，在液位从0mm到55mm时，约为0.5pF。与此相对，如线L1所示，驱动电极11与测量电极10之间的静电电容，在液位从0mm到55mm时，与液位的增加大致成正比增加。所以，通过测量各自的静电电容的值，就能够高精度地测量液位。另外，在液位为0mm时，线L2的静电电容的值之所以比线L1的静电电容的值还小，是因为驱动电极11到参照电极13之间的距离，比驱动电极11到测量电极10之间的距离长。
根据该实施方式，由于参照电极13中只有测量参照用静电电容的部分露出来，而浸没到液体中的其他部分(图2中宽度扩展部8的下侧)被屏蔽，因此能够高精度地测量作为基准而使用的静电电容值。另外，没有被屏蔽的部分，也即参照用测量部25，被设置为在参照电极13的下端部分接近容器1的底面附近，因此较容易测量作为基准使用的静电电容。所以，即使液量很少，也能够高精度地测量液位。这里，是将到基准位置h0的距离作为液位而求得的，由于基准位置h0是由液位传感器在容器1中的安装位置所决定的已知的值，因此能够简单地求出从容器1的底面到液面之间的距离的绝对值。
另外，测量电极10与参照电极13共用驱动电极11，通过3根电极来测量液位，因此能够使液位传感器小型化。另外，电极10、11、13由于被吸水率低的膜4、5、6、7所覆盖，从而能够防止电极10、11、13与液体之间的接触。
另外，传感器部2，由于使膜4、5、6、7层积而形成为长条膜型，因此较容易安装。特别是多个电极10、11、12、13、14之间的距离较容易时常保持一定。另外，由于参照电极13的屏蔽是立体的，因此能够将参照电极13的信号导通部26大约全周都屏蔽起来。所以，当液位比基准位置h0高时，能够可靠地屏蔽参照电极13，提高液位的测量精度。另外，通过调整屏蔽的长度，能够调整基准位置h0。
另外，由于驱动电极11到测量电极10之间的距离，与驱动电极11到地1屏蔽电极12之间的距离大致相同，因此能够使加载在驱动电极11上的交流信号大致均等地传播给其他的电极10、12，防止测量误差的产生。
另外，作为该液位传感器的适用例，可以用在作为PDA(掌上记事本)、计算机、移动电话机等便携式终端装置的电源、或者车辆的驱动源所开发出来的燃料电池中，或者用来检测存储燃料的容器或存储废液的容器的存储量(残余量)中。由于能够通过参照电极13高精度地测量基准用静电电容值，因此即使在容器中被注入纯甲醇或者甲酸与甲醛的混合液等感应率不同的液体的情况下，也能够可靠地检测出液位。另外，该液位传感器还可以应用于洗衣机、洗碗机、电锅、浴缸等容器中存储有水等液体的设备中。
这里，由于液位传感器能够高精度地测量基准静电电容值，因此能够可靠地检测出基准位置h0。另外，通过液位传感器的输出，能够容易地计算液位与基准位置h0的比。这样，如果液位达到基准位置h0(上述比为1)，能够发出警告从而进行控制。另外，在液位传感器被安装在废液等的储存罐中时，由于能够通过传感器的输出值而容易地判断液位是否达到规定位置，从而能够在存储罐溢满之前发出警告而进行控制。
另外，本发明并不仅限于上述实施方式，还能够进行广泛的应用。
例如，可以作为具有利用阻抗与浸没在液体中的电极面积成正比这一点，测量作为静电电容的上位概念的阻抗，从而检测出液位的电流检测电路以及电压检测电路的测量电路。
另外，测量电路3中，在模拟开关38、40与震荡电路31之间，可以跨接信号错位了90°的移相电路70(参考图1)。由于能够通过相位相对驱动波形错位90°的接收电压的信号强度大的相位部分进行数据处理，从而能够实现进一步的高灵敏度化。
另外，膜4、5、6、7中，可以只使最外层的保护膜4、7为无吸水性的材料，或者几乎没有吸水性的材料，另外，可以通过在膜的外表面涂覆玻璃，或者通过进一步覆盖其他防水材料，来防止吸水。
另外，屏蔽电极12、14之间，还可以设置参照电极13的驱动用电极。可以将该驱动用电极与驱动电极11连接到相同的震荡电路31上，通过两对电极来测量液位。
权利要求
1.一种液位传感器，其特征在于，包括测量信号供给电极，其被配置在容纳液体的容器内，输入规定信号；测量电极，其被配置在距离上述测量信号供给电极规定距离处，测量对应于液面的高度而变化的电气特性；和参照电极，其来测量上述测量信号供给电极与上述测量电极之间的电气特性，取得上述电气特性的参照值，其中，上述参照电极的一部分被电磁屏蔽。
2.根据权利要求1所述的液位传感器，其特征在于，上述参照电极具有参照用测量部，该参照用测量部在与测量电路相连接的信号导通部的前端，测量上述参照值，上述信号导通部被电磁屏蔽。
3.根据权利要求1所述的液位传感器，其特征在于，用防水性的绝缘膜覆盖上述测量信号供给电极、上述测量电极、上述参照电极以及上述参照电极的屏蔽。
4.根据权利要求1所述的液位传感器，其特征在于，上述参照电极被设置在绝缘材料上；上述参照电极的屏蔽包括在上述绝缘材料上沿着上述参照电极而设置在其两侧的一对屏蔽电极，以及被设置为夹持上述绝缘材料的一对屏蔽层。
5.根据权利要求4所述的液位传感器，其特征在于，上述测量电极与上述测量信号供给电极之间的距离，大致等于某一个上述屏蔽电极以及上述屏蔽层与上述测量信号供给电极之间的距离。
6.根据权利要求1所述的液位传感器，其特征在于上述测量信号供给电极、上述测量电极以及上述参照电极各自的前端位置齐平。
7.根据权利要求1所述的液位传感器，其特征在于，上述参照电极，除了其前端部分的之外的部分，至少屏蔽能够被浸在液体中的部分。
8.根据权利要求1所述的液位传感器，其特征在于，上述测量电极与上述测量信号供给电极以及上述参照电极，被设置为互相靠近，且使各个电极成为被长条型的绝缘膜所覆盖的长条膜型。
全文摘要
本发明提供了一种能够高精度地测量液位的液位传感器。液位传感器具有被安装在容器内的传感器部(2)以及测量电路。传感器部(2)具有输入交流信号的驱动电极(11)、测量电极(10)以及参照电极(13)，参照电极(13)具有被第1屏蔽电极(12)以及第2屏蔽电极(14)与屏蔽层(9、15)所构成的屏蔽所包围的信号导通部(26)，以及从屏蔽中凸出的参照用测量部(25)。
文档编号G01F23/00GK1616933SQ20041009238
公开日2005年5月18日 申请日期2004年11月10日 优先权日2003年11月13日
发明者木内慎 申请人:阿尔卑斯电气株式会社