专利名称：六脚型压电振动陀螺仪的制作方法
技术领域：
本发明涉及在汽车导航或船舶航行用的姿势控制装置等中用作角速度检测器的陀螺仪，尤其涉及压电振动陀螺仪。
背景技术：
作为可高精度检测角速度的陀螺仪，例如，在特开2001-255152号公报中公开了六脚型压电振动陀螺仪。该六脚型压电振动陀螺仪，包括压电体、结合在压电体上的驱动侧电极及检测侧电极。压电体，具有以正反面作为主面的矩形板状的本体部、从本体部的相互对向的边的一方延长的驱动侧臂部、从另一方延长的检测侧臂。驱动侧臂部，具有一对激励用臂及在它们之间的1个非激励用臂。检测侧臂，具有一对检测用臂及在它们之间的1个非检测用臂。在激励用臂上分别形成驱动侧电极，用于激励向与本体部的主面平行的方向振动的面内振动。在检测用臂上分别形成检测侧电极，用于检测向与本体部的主面垂直的方向振动的面垂直振动。通常，激励用臂、非激励用臂、检测用臂及非检测用臂，从批量生产性方面考虑，全部用相同的宽度尺寸及厚度形成。
为了提供高灵敏度的六脚型压电振动陀螺仪，需要相互接近驱动侧臂部上的各臂的驱动振动模式(即，面内振动)中的共振频率、和检测用臂部上的各臂的检测振动模式(即，面垂直振动)中的共振频率。但是，在此种情况下，由于总共6脚的各臂的各自的面垂直振动及面内振动近似，因此在驱动振动模式及检测模式的附近存在寄生频率，激励进行面内振动的寄生振动，向压电振动子或压电体提供机械的结合。其结果，旋转灵敏度即检测灵敏度显著下降。尤其，面内振动的寄生振动的强度，与面垂直振动的寄生振动的强度相比大得多，所以成为降低旋转灵敏度的主要原因。
发明内容
为此，本发明的其目的在于，提供一种旋转灵敏度优良的、可高精度检测角速度的压电振动陀螺仪。
根据本发明的一方式，能够提供一种压电振动陀螺仪，其特征是包括，本体部、从所述本体部相互间隔地向第1方向延长的一对激励用臂、在所述激励用臂间从所述本体部向所述第1方向延长的1个非激励用臂、从所述本体部相互间隔地向与所述第1方向相反的第2方向延长的一对检测用臂、在所述检测用臂间从所述本体部向所述第2方向延长的1个非检测用臂、分别结合在所述激励用臂上的驱动侧电极、及分别结合在所述检测用臂上的检测侧电极；所述激励用臂、所述非激励用臂、所述检测用臂及所述非检测用臂各自构成压电体；所述激励用臂各自和所述非激励用臂在宽度尺寸上相互不同，所述激励用臂各自和所述检测用臂各自在宽度尺寸上相互不同，所述激励用臂各自和所述非检测用臂在宽度尺寸上相互不同。
图1是根据本发明的第1实施方式的六脚型压电振动陀螺仪所含的压电体的主视图。
图2A是将电极结合在图1所示的压电体上的六脚型压电振动陀螺仪的俯视图。
图2B是图2A的六脚型压电振动陀螺仪的主视图。
图2C是图2A的六脚型压电振动陀螺仪的仰视图。
图3是表示图2A-图2c所示的六脚型压电振动陀螺仪的驱动侧的电接线的说明图。
图4是表示图2A-图2c所示的六脚型压电振动陀螺仪的检测侧的电接线的说明图。
图5是根据本发明的第2实施方式的六脚型压电振动陀螺仪所含的压电体的主视图。
图6A是将电极结合在图5所示的压电体上的六脚型压电振动陀螺仪的俯视图。
图6B是图5A的六脚型压电振动陀螺仪的主视图。
图6C是图5A的六脚型压电振动陀螺仪的仰视图。
图7是表示图6A-图6c所示的六脚型压电振动陀螺仪的驱动侧的电接线的说明图。
图8是表示图6A-图6c所示的六脚型压电振动陀螺仪的检测侧的电接线的说明图。
图9是表示压电体的其它例主视图。
图10是表示压电体的又一其它例主视图。
图11是表示压电体的又一其它例主视图。
具体实施例方式
参照图1及图2，说明本发明的第1实施方式的六脚型压电振动陀螺仪。
该六脚型压电振动陀螺仪，包含X切割朗格赛特(Xカツトランガサイト)结晶制的压电体1。在图1中，用X、Y、Z轴表示属于三方晶系的朗格赛特的方向性及角速度Ω的运动方向。另外，压电体1也可以规定为X切割水晶制。
压电体1，包括以正反面作为主面的矩形板状的本体部2、从本体部2的一边相互间隔地向第1方向A1延长的一对激励用臂3a、3b、在激励用臂3a、3b间从本体部2的一边相互间隔地向第1方向A1延长的1个非激励用臂3c、从本体部2的相反边相互间隔地向与第1方向A1相反的第2方向A2延长的一对检测用臂4a、4b、及在检测用臂4a、4b间从本体部2的相反边向第2方向A2延长的1个非检测用臂4c。
激励用臂3a、3b及非激励用臂3c相互平行，且与本体部2的主面平行地延长。激励用臂3a、3b及非激励用臂3c各自为角柱状。检测用臂4a、4b及非检测用臂4c相互平行，且与本体部2的主面平行地延长。检测用臂4a、4b及非检测用臂4c各自为角柱状。激励用臂3a、3b、非激励用臂3c、检测用臂4a、4b及非检测用臂4c，相互相同地具有5.5mm的臂长。
本体部2，具有不向检测用臂4a、4b传播在激励用臂3a、3b发生的面内振动波动的功能，因此在Y轴的周围，按角度Ω旋转压电体1的时候，能够利用科里奥利力，用检测用臂4a、4b检测角度Ω。
以下，包括激励用臂3a、3b及非激励用臂3c，称为驱动侧臂部3，包括检测用臂4a、4b及非检测用臂4c，称为检测侧臂部4。在驱动侧臂部3，将激励用臂3a、3b各自的宽度尺寸设定为W1、将非激励用臂3c的宽度尺寸设定为W2。在检测侧臂部4，将检测用臂4a、4b各自的宽度尺寸设定为W3、将非检测用臂4c的宽度尺寸设定为W4。此处，分别将这些宽度尺寸W1、W2、W3、W4设定为不同的值，使压电体1的重心与本体部2的几何学的中心位置一致。结果，能够用其重心支持六脚型压电振动陀螺仪。
下面，具体说明宽度尺寸W1、W2、W3、W4。
激励用臂3a、3b各自的宽度尺寸W1为420μm。非激励用臂3c的宽度尺寸W2是比宽度尺寸W1大约大19％的500μm。检测用臂4a、4b各自的宽度尺寸W3是比宽度尺寸W1大约大5％的440μm。非检测用臂4c的宽度尺寸W4是比宽度尺寸W2大约小8％的460μm。在通过这些宽度尺寸W1、W2、W3、W4，使驱动侧臂部3的3脚的臂和检测侧臂部4的3脚的臂上的重量相等后，能够使压电体1的重心与本体部2的几何学的中心位置一致。
用氧化铝重心支持该压电体1，为了调整激励用臂3a、3b上的共振频率和检测用臂4a、4b上的共振频率的差分，加工激励用臂3a、3b及检测用臂4a、4b各自的前端部，进行失调宽度处理。具体是，预先在前端部上成膜导电性金属材料即金镀膜，附加质量，然后通过激光修整该镀膜，实施失调宽度处理，由此将面内振动的共振频率和面垂直振动的共振频率的差，调整到低于30Hz。
关于该压电体1，通过有限要素法(FEM)分析以及实测，调查在面内振动的寄生振动，结果发现，相对于驱动共振频率8767Hz，在±200Hz以内，完全不存在。此外，有关面垂直振动的寄生振动的强度与面内振动的寄生振动的强度相比非常小，由于只在从驱动共振频率大约离开280Hz时存在，因此也表明不影响旋转灵敏度。此外，采用压电体1，制作六脚型压电振动陀螺仪，在用频率8767Hz、驱动电亚1Vp-p驱动，在Y轴周围，将角速度Ω规定为3度/s旋转时，旋转输出功率为0.36mV，判定能够得到高灵敏度的旋转特性。
另外，在激励用臂3a、3b各自上，结合多个即在表面侧及背面侧分别各两个，合计4个驱动侧电极21。驱动侧电极21，用于在激励用臂3a、3b激励面内振动，具有规定间隔地配设成平行的带状。
另外，在检测用臂4a、4b各自上，结合多个即各面各1个，合计4个检测侧电极22。检测侧电极22，用于检测检测用臂4a、4b的面垂直振动，各自配设成带状。
参照图3，说明与驱动侧电极21的电接线。
在激励用臂3a、3b各自上，在交流电源的两极上分别连接相互对向的2个驱动侧电极，并且在交流电源的两极上也分别连接在相同的面内邻接的2个驱动侧电极21。而且，作为激励用臂3a、3b整体，在驱动侧电极21的外侧的和内侧的，相对于交流电源的连接极性相反。如此，以向在本体部2的厚度方向相反的方向激励激励用臂3a、3b各自的方式，形成电接线。用箭头表示驱动侧电极21形成的电力线的方向。
参照图4，说明与检测侧电极22的电接线。
在一方的检测用臂4a上，将在板厚方向相互对向的2个检测侧电极22，连接在检测装置(未图示)的负极上，并且将其余的2个检测侧电极22连接在正极上。在另一方的检测用臂4b上，将在板厚方向相互对向的2个检测侧电极22，连接在检测装置的正极上，并且将其余的2个检测侧电极22连接在负极上。另外，用箭头表示检测用臂4a、4b的电力线的方向。
参照图5及图6，说明本发明的第2实施方式的六脚型压电振动陀螺仪。对于相同的部分，附加相同的参照符号，并省略说明。
图5的压电体1，是Z切割朗格赛特结晶制的压电体，但也可以是Z切割水晶制的。用X、Y、Z轴表示属于三方晶系的朗格赛特的方向性及角速度Ω的运动方向。
在压电体1中，激励用臂3a、3b、非激励用臂3c、检测用臂4a、4b、及非检测用臂4c各自为角柱状，臂长6.0mm。在Y轴的周围，按角度Ω旋转压电体1的时候，向激励用臂3a、3b作用科里奥利力。由于该科里奥利力向面垂直方向作用，所以激励用臂3a、3b进行面垂直振动。本体部2具有向一对检测用臂4a、4b传递该面垂直振动的功能。
在该压电体1中，激励用臂3a、3b各自的宽度尺寸W1为400μm。非激励用臂3c的宽度尺寸W2是比宽度尺寸W1大约小10％的360μm。检测用臂4a、4b各自的宽度尺寸W3是比宽度尺寸W1大约小7.5％的370μm。非检测用臂4c的宽度尺寸W4是比非激励用臂3c的宽度尺寸W2大约大17％的420μm。如此，通过使驱动侧臂部3的3脚的臂和检测侧臂部4的3脚的臂上的重量相等外，而且使压电体1的重心与本体部2的几何学的中心位置一致。通过使用该压电体1，在Y轴的周围以角速度Ω旋转压电体1时，能够用检测用臂4a、4b检测角速度Ω。
用氧化铝重心支持该压电体1，为了调整激励用臂3a、3b上的共振频率和检测用臂4a、4b上的共振频率的差分，加工激励用臂3a、3b及检测用臂4a、4b各自的前端部，进行失调宽度处理。具体是，通过利用溅射法在前端部上成膜导电性金属材料金(Au)，在降低频率的方向，实施失调宽度处理，由此将面内振动的共振频率和面垂直振动的共振频率的差，调整到18Hz。
关于该压电体1，通过有限要素法(FEM固有值)分析以及实测，调查在面内振动的寄生振动，结果发现，相对于驱动共振频率7830Hz，在±200Hz以内，完全不存在。此外，采用压电体1，制作六脚型压电振动陀螺仪，在用频率7830Hz、驱动电亚1Vp-p驱动，在Y轴周围，将角速度Ω规定为2度/s旋转时，旋转输出功率为0.26mV，判定能够得到高灵敏度的旋转特性。
另外，参照图6，在激励用臂3a、3b各自上，结合多个即在各面各1个，合计4个驱动侧电极11。驱动侧电极11，用于在激励用臂3a、3b激励面内振动，各个配设成带状。
另外，在检测用臂4a、4b各自上，结合多个即在与表面及背面直交的两面各2个，合计4个检测侧电极12。检测侧电极12，用于检测检测用臂4a、4b的面垂直振动，具有规定间隔地配设成平行的带状。
参照图7，说明与驱动侧电极11的电接线。
在一方的激励用臂3a上，将在板厚方向相互对向的2个驱动侧电极1 1连接在交流电源的一方的极上，并且将其余的2个驱动侧电极11连接在交流电源的另一方的极上。在另一方的激励用臂3b上，将在板厚方向相互对向的2个驱动侧电极11，连接在交流电源的另一方的极上，并且将其余的2个驱动侧电极11连接在一方的极上。另外，用箭头表示驱动侧电极11形成的电力线的方向。
参照图8，说明与检测侧电极12的电接线。
在检测用臂4a、4b上，将相互对向的2个检测侧电极12，连接在检测装置(未图示)的两极上，并且也分别将在相同的面内邻接的2个检测侧电极12连接在两极上。如此，以检测激励用臂3a、3b各自的相反方向的振动的方式，形成电接线。另外，用箭头表示检测用臂4a、4b的电力线的方向。
参照图9，说明压电体1的其它例子。对于相同的部分，附加相同的参照符号，并省略说明。
图9的压电体1，是Z切割水晶制，但也可以是Z切割朗格赛特结晶制的压电体。用X、Y、Z轴表示属于三方晶系的水晶的方向性及角速度Ω的运动方向。
在压电体1中，激励用臂3a、3b、非激励用臂3c、检测用臂4a、4b、及非检测用臂4c各自为角柱状，臂长6.0mm。在Y轴的周围，按角度Ω旋转压电体1的时候，能够向激励用臂3a、3b作用科里奥利力。由于该科里奥利力向面垂直方向作用，所以激励用臂3a、3b进行面垂直振动。本体部2具有向一对检测用臂4a、4b传递该面垂直振动的功能。
在该压电体1中，激励用臂3a、3b各自的宽度尺寸W1为400μm。非激励用臂3c的宽度尺寸W2是比宽度尺寸W1大约大10％的440μm。检测用臂4a、4b各自的宽度尺寸W3是比宽度尺寸W1大约小5％的380μm。非检测用臂4c的宽度尺寸W4是比非激励用臂3c的宽度尺寸W2大约大9％的480μm。如此，通过使驱动侧臂部3的3脚的臂和检测侧臂部4的3脚的臂上的重量相等，而且使重心与本体部2的几何学的中心位置一致。通过使用该压电体1，在Y轴的周围以角速度Ω旋转压电体1时，能够用检测用臂4a、4b检测角速度Ω。
用氧化铝重心支持该压电体1，为了调整激励用臂3a、3b上的共振频率和检测用臂4a、4b上的共振频率的差分，加工激励用臂3a、3b及检测用臂4a、4b各自的前端部，进行失调宽度处理。由此将面内振动的共振频率和面垂直振动的共振频率的差，调整到9Hz。
关于该压电体1，通过有限要素法(FEM固有值)分析以及实测，调查在面内振动的寄生振动，结果发现，相对于驱动共振频率9361Hz，在±200Hz以内，完全不存在。此外，采用压电体1，制作六脚型压电振动陀螺仪，在用频率9361Hz、驱动电亚1Vp-p驱动，在Y轴周围，将角速度Ω规定为1度/s旋转时，旋转输出功率为0.062mV，判定能够得到高灵敏度的旋转特性。
参照图10，说明压电体1的又一其它例子。对于相同的部分，附加相同的参照符号，并省略说明。
图10的压电体1，是Z切割水晶制，但也可以是Z切割朗格赛特结晶制的压电体。用X、Y、Z轴表示属于三方晶系的水晶的方向性及角速度Ω的运动方向。
在压电体1中，激励用臂3a、3b、非激励用臂3c、检测用臂4a、4b、及非检测用臂4c各自为角柱状，臂长6.0mm。在Y轴的周围，按角度Ω旋转压电体1的时候，能够向激励用臂3a、3b作用科里奥利力。由于该科里奥利力向面垂直方向作用，所以激励用臂3a、3b进行面垂直振动。本体部2具有向一对检测用臂4a、4b传递该面垂直振动的功能。
在该压电体1中，激励用臂3a、3b各自的宽度尺寸W1为400μm。非激励用臂3c的宽度尺寸W2是比宽度尺寸W1大约小15％的340μm。检测用臂4a、4b各自的宽度尺寸W3是比宽度尺寸W1大约小10％的360μm。非检测用臂4c的宽度尺寸W4是比非激励用臂3c的宽度尺寸W2大约大24％的420μm。如此，通过使驱动侧臂部3的3脚的臂和检测侧臂部4的3脚的臂上的重量相等，而且使重心与本体部2的几何学的中心位置一致。通过使用该压电体1，在Y轴的周围以角速度Ω旋转压电体1时，能够用检测用臂4a、4b检测角速度Ω。
用氧化铝重心支持该压电体1，为了调整激励用臂3a、3b上的共振频率和检测用臂4a、4b上的共振频率的差分，加工激励用臂3a、3b及检测用臂4a、4b各自的前端部，进行失调宽度处理。由此将面内振动的共振频率和面垂直振动的共振频率的差，调整到10Hz。
关于该压电体1，通过有限要素法(FEM固有值)分析以及实测，调查在面内振动的寄生振动，结果发现，相对于驱动共振频率9353Hz，在±200Hz以内，完全不存在。此外，采用压电体1，制作六脚型压电振动陀螺仪，在用频率9353Hz、驱动电亚1Vp-p驱动，在Y轴周围，将角速度Ω规定为1度/s旋转时，旋转输出功率为0.061mV，判定能够得到高灵敏度的旋转特性。
参照图11，说明压电体1的又一其它例子。对于相同的部分，附加相同的参照符号，并省略说明。
图11的压电体1，是Z切割水晶制的，但也可以是Z切割朗格赛特结晶制的。用X、Y、Z轴表示属于三方晶系的水晶的方向性及角速度Ω的运动方向。
在压电体1中，激励用臂3a、3b、非激励用臂3c、检测用臂4a、4b、及非检测用臂4c各自为角柱状，臂长6.0mm。在Y轴的周围，按角度Ω旋转压电体1的时候，能够向激励用臂3a、3b作用科里奥利力。由于该科里奥利力向面垂直方向作用，所以激励用臂3a、3b进行面垂直振动。本体部2具有向一对检测用臂4a、4b传递该面垂直振动的功能。
在该压电体1中，激励用臂3a、3b各自的宽度尺寸W1为400μm。非激励用臂3c的宽度尺寸W2是比宽度尺寸W1大约小5％的380μm。检测用臂4a、4b各自的宽度尺寸W3是比宽度尺寸W1大约大10％的440μm。非检测用臂4c的宽度尺寸W4是比非激励用臂3c的宽度尺寸W2大约小21％的300μm。如此，通过使驱动侧臂部3的3脚的臂和检测侧臂部4的3脚的臂上的重量相等，而且使重心与本体部2的几何学的中心位置一致。通过使用该压电体1，在Y轴的周围以角速度Ω旋转压电体1时，能够用检测用臂4a、4b检测角速度Ω。
用氧化铝重心支持该压电体1，为了调整激励用臂3a、3b上的共振频率和检测用臂4a、4b上的共振频率的差分，加工激励用臂3a、3b及检测用臂4a、4b各自的前端部，进行失调宽度处理。由此将面内振动的共振频率和面垂直振动的共振频率的差，调整到8Hz。
关于该压电体1，通过有限要素法(FEM固有值)分析以及实测，调查在面内振动的寄生振动，结果发现，相对于驱动共振频率9361Hz，在±200Hz以内，完全不存在。此外，采用压电体1，制作六脚型压电振动陀螺仪，在用频率9361Hz、驱动电亚1Vp-p驱动，在Y轴周围，将角速度Ω规定为1度/s旋转时，旋转输出功率为0.063mV，判定能够得到高灵敏度的旋转特性。
在以上说明的各六脚型压电振动陀螺仪中，由于激励用臂3a、3b的宽度尺寸和检测用臂4a、4b的宽度尺寸有很大不同，所以面内振动的共振频率相互不同，通过在驱动振动频率的附近不存在有关检测侧的面内振动的寄生振动，能够得到高灵敏度、稳定性优良的基本特性。
另外，在上述中，说明了将压电体1规定为X切割水晶制或X切割水晶制、或Z切割朗格赛特结晶制或Z切割水晶制的例子，但是除此以外，由于采用130度旋转Y板钽酸锂或压电陶瓷等，也能够得到同样的作用效果，所以压电体1的材料不局限于所述的材料。
如以上说明，根据本发明的六脚型压电振动陀螺仪，面内振动的共振频率相互不同，在使用状态下，在驱动振动频率的附近不存在有关检测侧的面内振动的寄生振动，在制作陀螺仪时，能够充分抑制压电体上的面内振动的寄生振动。此外，能够进行稳定性高、旋转灵敏度优良、高精度的利用高S/N比的角速度检测，结果能够用优良的分解能检测地球的自传速度以下的小的角速度。
本发明的六脚型压电振动陀螺仪，能够在汽车导航或船舶航行用的姿势控制装置等中用作角速度检测器。
权利要求
1.一种压电振动陀螺仪，其特征是包括本体部、从所述本体部相互间隔地向第1方向延长的一对激励用臂、在所述激励用臂间从所述本体部向所述第1方向延长的1个非激励用臂、从所述本体部相互间隔地向与所述第1方向相反的第2方向延长的一对检测用臂、在所述检测用臂间从所述本体部向所述第2方向延长的1个非检测用臂、分别结合在所述激励用臂上的驱动侧电极、及分别结合在所述检测用臂上的检测侧电极，所述激励用臂、所述非激励用臂、所述检测用臂及所述非检测用臂各自由压电体构成，所述激励用臂各自和所述非激励用臂在宽度尺寸上相互不同，所述激励用臂各自和所述检测用臂各自在宽度尺寸上相互不同，所述激励用臂各自和所述非检测用臂在宽度尺寸上相互不同。
2.如权利要求1所述的压电振动陀螺仪，其特征是具有与所述本体部的几何学的中心位置一致的重心。
3.如权利要求1或2所述的压电振动陀螺仪，其特征是所述本体部是以正反面各自作为主面的矩形板，所述激励用臂、所述非激励用臂、所述检测用臂及所述非检测用臂各自，与所述主面平行地延长。
4.如权利要求1～3中任何一项所述的压电振动陀螺仪，其特征是所述驱动侧电极，相互在逆相位分别激励所述激励用臂。
5.如权利要求1～4中任何一项所述的压电振动陀螺仪，其特征是所述非激励用臂的宽度尺寸，以2％～60％的范围大于所述激励用臂各自的宽度尺寸，所述检测用臂各自的宽度尺寸，以1％～30％的范围大于所述激励用臂各自的宽度尺寸，所述非检测用臂的宽度尺寸，以2％～60％的范围小于所述非激励用臂各自的宽度尺寸。
6.如权利要求1～4中任何一项所述的压电振动陀螺仪，其特征是所述非激励用臂的宽度尺寸，以2％～60％的范围大于所述激励用臂各自的宽度尺寸，所述检测用臂各自的宽度尺寸，以1％～30％的范围小于所述激励用臂各自的宽度尺寸，所述非检测用臂的宽度尺寸，以2％～60％的范围大于所述非激励用臂各自的宽度尺寸。
7.如权利要求1～4中任何一项所述的压电振动陀螺仪，其特征是所述非激励用臂的宽度尺寸，以2％～60％的范围小于所述激励用臂各自的宽度尺寸，所述检测用臂各自的宽度尺寸，以1％～30％的范围大于所述激励用臂各自的宽度尺寸，所述非激励用臂的宽度尺寸，以2％～60％的范围小于所述非激励用臂各自的宽度尺寸。
8.如权利要求1～4中任何一项所述的压电振动陀螺仪，其特征是所述非激励用臂的宽度尺寸，以2％～60％的范围小于所述激励用臂各自的宽度尺寸，所述检测用臂各自的宽度尺寸，以1％～30％的范围小于所述激励用臂各自的宽度尺寸，所述非检测用臂的宽度尺寸，以2％～60％的范围大于所述非激励用臂各自的宽度尺寸。
9.如权利要求1～8中任何一项所述的压电振动陀螺仪，其特征是所述本体部的几何学的中心位置被支撑。
10.如权利要求1～9中任何一项所述的压电振动陀螺仪，其特征是所述激励用臂及所述检测用臂的至少一方，具有用于调整两者间的共振频率的差分的进行了失调宽度处理的特定部分。
11.如权利要求10所述的压电振动陀螺仪，其特征是所述失调宽度处理，包括对所述特定部分实施的加工。
12.如权利要求11所述的压电振动陀螺仪，其特征是所述失调宽度处理，包括对所述特定部分利用溅射法形成导电性膜。
13.如权利要求12所述的压电振动陀螺仪，其特征是所述失调宽度处理，另外还包括对所述导电性膜的激光修整。
全文摘要
本发明提供一种六脚型压电振动陀螺仪，具有从本体部(2)相互间隔地向第1方向(A1)延长的一对激励用臂(3a、3b)、在激励用臂间从本体部向第1方向延长的1个非激励用臂(3c)、从本体部相互间隔地向第2方向(A2)延长的一对检测用臂(4a、4b)、在检测用臂间从本体部向第2方向延长的1个非检测用臂(4c)。在激励用臂上结合驱动侧电极。在检测用臂上结合检测用臂。激励用臂、非激励用臂、检测用臂及非检测用臂各自构成压电体。激励用臂各自和非激励用臂在宽度尺寸上相互不同。激励用臂各自和检测用臂各自在宽度尺寸上相互不同。激励用臂各自和非检测用臂在宽度尺寸上相互不同。
文档编号G01P9/04GK1759299SQ20048000618
公开日2006年4月12日 申请日期2004年3月5日 优先权日2003年3月6日
发明者井上武志, 山本满, 越智笃, 仓本健次, 中岛光浩 申请人:日本电气株式会社, 日本航空电子工业株式会社