专利名称：中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置的制作方法
技术领域：
本发明是一种中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，属于非线性器件转换效率测试技术领域。
背景技术：
随着光学激光技术与微结构加工技术的不断进步，不仅应用于激光倍频等领域的非线性光学器件不断产生，得到广泛应用，并且产生了用中心对称材料微纳结构构成的非线性光学器件，也能产生倍频效应。中心对称材料中具有光学非线性效应微纳结构的出现，使得在同一线性材料衬底上能把频率变换等非线性组件和其它光子器件集成，如激光器、波导和探测器等等，形成全光信息回路集成与光电子混合集成等，组成体积小、重量轻、而功能却又很完整的高性能微系统，满足应用需求。然而，通常的光学非线性晶体器件转换效率测试，不能对由中心对称材料微纳结构构成的器件进行测，也不能用非线性光学系数测定仪通过测量非线性光学系数，以及相关的导电率等，换算出转换效率。为研究用中心对称材料微纳结构产生高效的非线性频率变换，克服上述技术的不足，研究发明了中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置。
发明内容
本发明的技术解决问题是克服上述现有技术的不足，提供一种结构简单，实用的中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，被测结构器件放在检测台上，经调整观察测量出转换效率。
本发明的技术解决方案是中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，其特征在于包括激光器、准直扩束系统、偏振片、入射光栏、对准显微镜、承品台、被测样品、水平角旋转台、多维调整台、倍频滤光片、遮挡罩、激光功率计探头、激光功率计和大底台，激光器、准直扩束系统、偏振片、入射光栏、依次放置并安放于大底台上，对准显微镜竖直放置在被测样品(7)光线入口的上方，用于观察激光射入被测样品入口的对准情况；多维调整台、激光功率计探头和激光功率计依次安放于大底台上，固定被测样品的样品承品台安置在水平角旋转台上，水平角旋转台安置在多维调整台上，倍频滤光片位于激光功率计探头的前端，在激光器和激光功率计之间罩有遮挡罩，以防止外来杂光对光强信号测量的影响；激光器射出的激光先通过准直扩束系统准直扩束，然后通过偏振片和入射光栏，再通过竖直放置的对准显微镜观察，由水平角旋转台和多维调整台的调整对准，由入射光栏发出的光束射入被测样品，经过被测样品倍频后的倍频光通过倍频滤光片滤光射入激光功率计探头，被探头接收后转换为电信号，送入激光功率计，由激光功率计测量显示出倍频激光的光强大小，再与未放置被测样品和滤光片时检测的光强值相比，可得到倍频转换效率。
所述的该装置激光器射出的激光束，先是由包括聚焦镜和准直镜的准直扩束系统准直扩束，激光束先通过聚焦镜聚焦于聚焦镜的焦点O1点，再通过透镜前焦点也位于O1点的准直镜使激光束得到扩束和准直，得到扩束和准直的激光束通过偏振片及旋转调整，使偏振方向与被测样品所要求的方向一致，通过入射光栏的激光束射入被测样品入射口的对准情况由竖直放置可更换工作波段的可见到红外对准显微镜观察，位置偏离由水平角旋转台和多维调整台来调整，对准显微镜的物方折光小反射镜以120°放置，不阻挡激光束射入被测样品。
所述的该测试装置在样品装入承品台并调整好位置后，在正式测量读数前遮上遮挡罩，以防止外来杂光对光强信号测量的影响，倍频光垂直射入倍频滤光片，由激光功率计探头接收，而倍频滤光片由倍频滤光片一、倍频滤光片二和倍频滤光片三组成，倍频滤光片一是一入射光半透，其余波段包括倍频光波段全反的滤光片，倍频滤光片二是一对入射光全反倍频光半反的滤光片，倍频滤光片三是一对入射光全反倍频光全透的滤光片。
所述的该测试装置承品台由样品小压板、样品垫板、支板组成，安装在水平角旋转台的T形轴上，被测样品的中心O4和激光光轴等高并且平行。
所述的测试装置水平角旋转台由钢球一、轴座套、水平保持夹、垂直保持夹、钢球二、T形轴、轴端档板、弹性锁紧圈档板、弹性锁紧圈、锁紧座、水平角度盘、锁紧手轮组成，T形轴下端面通过钢球一与轴座套上端面连接，还通过钢球二与轴座套内圆柱面连接，使T形轴可相对于轴座套作水平角β滚动旋转，套在轴座套外圆柱面的水平角度盘放置在多维调整台的上调整板上，T形轴的圆盘外圆柱面上刻有指标线，被测样品的旋转可读出旋转β角度数，轴座套固定在上调整板上，T形轴旋转调整后靠锁紧手轮旋转收紧弹性锁紧圈，抱住T形轴的下端轴锁紧。
所述的该测试装置多维调整台由后调整手轮、后长片簧铰链、底座V形下导轨、V形上导轨、前长片簧铰链、调整座架、上调整座架、前调整手轮、X向调整手轮、调整小座和拉簧组成，上调整座架位于调整座架的上方，调整座架位于V形上导轨的上方，前调整手轮位于上调整座架上，并与上调整座架的螺纹孔啮合，后调整手轮穿过上调整座架的大孔位于调整座架上，并与调整座架螺纹孔啮合，上调整座架通过后长片簧铰链与调整座架连接，调整座架通过前长片簧铰链与V形上导轨连接，V形上导轨通过V形导轨与底座V形下导轨连接，并可在底座V形下导轨中沿导轨方向移动，底座V形下导轨安置在大底台上，上调整座架的上表面与水平角旋转台的轴座套连接，而下表面与锁紧座连接，旋转前调整手轮可使上调整座架绕后长片簧铰链作上下两方向的转动，旋转后调整手轮可使调整座架绕与其侧边连接的前长片簧铰链作上下转动，调整小座固定在底座V形下导轨上，拉簧一端拉着调整小座，另一端拉着V形上导轨，旋转X向调整手轮可使V形上导轨作X正反方向移动，总之，达到多维调整台能对被测样品作α角转动，同时又能作XY向移动调整。
所述的该测试装置入射光栏通光口剖面，是上下为一刀形切口，激光穿过入射光栏的中心时光斑截面为一长方形矩形ABCD，被测样品激光入射口是A′B′C′D′长方形矩形，由入射光栏射来的激光光束射入被测样品入射口中，其入射光束应全部射进被测样品入射口A′B′C′D′矩形内，由对准显微镜对此进行观察，调整水平角旋转台或多维调整台进行对准。
所述的该测试装置被测样品由入射口、内部微结构、外壳和出射口组成，入射光由入射口射入，经内部微结构的倍频后，其倍频光从出射口射出，射出倍频光的强度与入射光的入射角度β有关，每种被测样品都有一个最佳入射角度，根据预知的最佳角度调整，在调整后还要移动激光功率计探头使射出倍频光垂直射入。
所述的该测试装置通过调整被测样品的位置后，遮上遮挡罩，由激光功率计测量显示倍频激光的光强I1。打开遮挡罩，拿去被测样品和由三个滤光片组成的倍频滤光片，让激光直接垂直入射到激光功率计探头，再遮上遮挡罩，由激光功率计测量显示激光的光强I2。则可计算出被测样品的转换效率ηη＝I1/I2本发明与现有技术相比具有以下优点(1)本发明测试装置是一个结构简单、实用、成本低廉、调整方便的测试装置。它具有入射光准直系统、可靠的观察引入对准系统、灵活方便的多维调整台和最佳方向角寻找旋转机构，能很快调整好被测试样的位置，测量出转换效率；(2)本测试装置对环境条件要求低，测量的精度较高，一般实验室都可建立，易于推广。
图1为本发明实施例中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置总结构图；图2为本发明实施例测试装置承品台、水平角旋转台和多维调整台正剖面图；图3为本发明实施例测试装置承品台、水平角旋转台和多维调整台侧向视图；图4为本发明实施例测试装置水平角旋转锁紧机构AA剖视图；图5为本发明实施例入射光栏通光口放大剖面图和激光准直入射光栏通光口图；图6为本发明实施例被测样品激光入射口图；图7为本发明实施例被测样品倍频微纳结构剖面俯视图。
具体实施例方式
如图1所示，是本发明实施例中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置总结构图，它由激光器1、准直扩束系统2、偏振片3、入射光栏4、对准显微镜5、承品台6、被测样品7、水平角旋转台8、多维调整台9、倍频光滤光片10、遮挡罩11、激光功率计探头12、探测信号引出线13、激光功率计14和大底台15组成。激光器1、准直扩束系统2、偏振片3、入射光栏4、对准显微镜5、多维调整台9、遮挡罩11、激光功率计探头12和激光功率计14均安置于大底台15上，激光器1、准直扩束系统2、偏振片3、入射光栏4和激光功率计探头12的通光中心都与激光器1射出的激光轴等高，对准显微镜5竖直放置，由显微镜支架505支掌放于大底台15上，被测样品7安置在承品台6上，承品台6安置在水平角旋转台8上，而水平角旋转台8又安置在多维调整台9上。激光器1射出的激光101通过准直扩束系统2扩束准直，通过偏振片3起偏后再通过入射光栏4，通过对准显微镜5对激光入射口的观察和多维调整台9与水平角旋转台8的调整，使一定大小的光束射入被测样品7，经倍频后的倍频光705通过倍频滤光片10滤光，再由激光功率计探头12接收，转换为电信号通过探测信号引出线13送入高精度激光功率计14，并由激光功率计14测量显示出倍频激光705的光强大小。
由上图1可知，激光器1射出的激光束101，首先是由准直扩束系统2准直扩束，其准直扩束系统2包括聚焦镜201和准直镜202，激光束101通过聚焦镜201后，聚焦于聚焦镜201的后焦点O1点，再通过透镜前焦点也位于O1点的准直镜202后，使激光束101得到扩束和准直。得到扩束和准直的激光束垂直射入偏振片3，偏振片3可绕光轴旋转，以调整偏振方向与被测样品7所要求的方向一致。
由上图1还可知，其光轴O5O6竖直放置的对准显微镜5是由可更换工作波段的可见到红外观察显微镜，由小反射镜501、物镜502、镜筒503、目镜504和镜架505组成，物方折光小反射镜501通过镜架505支掌放置在激光束402的上方，并相对水平位置倾斜120°，不阻挡激光束402射入被测样品，镜架505还支掌了包括物镜502、目镜504和镜筒503，通过微调显微镜的物距，我们可在出瞳506处观察到激光射入被测样品入口的对准情况。
由图1还可知，在样品装入承品台6并观察调整好位置后，在正式测量读数前遮上遮挡罩11，遮挡罩11是一前面开有激光101入射孔，后面下边开有探测信号引出线13的孔和上面开有对准显微镜5观察用孔外，其余两侧面都无开孔，且内壁涂黑的外罩，以防止外来杂光对光强信号测量的影响。倍频滤光片10通过倍频光滤光片镜框1004装在激光功率计探头12上。而倍频滤光片10由放于前方的倍频滤光片一1001、放于中间的倍频滤光片二1002和放于后面的倍频滤光片三1003组成，倍频滤光片一1001是一个对入射光半透，其余波段包括倍频光波段全反的滤光片，倍频滤光片二1002是一个对入射光全反倍频光半反的滤光片，可使倍频光在被测样品7来回激励变换入射光的频率，倍频滤光片三1003是一个对入射光全反倍频光全透的滤光片，也起来回激励辅助变换作用，使变频效果更好。
如图2和图3所示，是本发明实施例测试装置承品台、水平角旋转台和多维调整台正剖面图与侧向视图。其承品台6由样品小压板601、样品垫板602、支板603组成，小压板601可将被测样品7和垫板602压在支板603上，通过调整垫板602的高度使被测样品7的中心O4基本和激光光轴等高，被测样品7和激光光轴402平行，支板603位于水平角旋转台8上，并与水平角旋转台8的T形轴上端面连接。
水平角旋转台8由钢球一801、轴座套802、水平保持夹803、垂直保持夹804、钢球二805、T形轴806、轴端档板807、弹性锁紧圈档板808、弹性锁紧圈809、锁紧座810、水平角度盘811、锁紧手轮812组成。T形轴806下端面通过钢球一801和它的水平保持夹803与轴座套802上端面连接，还通过钢球二805和它的垂直保持夹804与轴座套802内圆柱面连接，使T形轴806可相对于轴座套802作水平角β滚动旋转，水平角度盘811套在轴座套802外圆柱面，并放在多维调整台9的上调整板907上表面上，对T形轴806相对静止，T形轴806的圆盘外圆柱面上刻有指标线，因此当固定有被测样品7的承品台6跟随T形轴806旋转时，就可从水平角度盘811上读取被测样品7旋转的β角度数，轴端档板807固定在T形轴806上，防止T形轴806绕轴座套802旋转时或平时相互脱离，轴座套802是固定在多维调整台9的上调整板907上，T形轴806绕轴座套802旋转调整后稳定停止在该位置不动是靠锁紧手轮812锁紧的(见图4)，图4是图3的AA剖面图，由图可知，弹性锁紧圈809的大部是一薄圆圈，厚度大的部分开有一长槽E，垂直长槽E作有一光孔和一个螺孔，锁紧手轮812的螺杆可穿过这个光孔，螺杆的螺纹可与弹性锁紧圈809的螺孔啮合，弹性锁紧圈809包在T形轴806的下端轴的圆柱面上，锁紧手轮812的光杆还穿过锁紧座810，并使其前端的螺纹旋在弹性锁紧圈809的螺纹上，其螺纹端面压在弹性锁紧圈809的另一端面上，当转动锁紧手轮812，其螺杆的螺纹可收紧弹性锁紧圈809，使抱住在其内部的T形轴806的下端轴的圆柱面，这样T形轴806相对锁紧座810就不能作相对转动了，而锁紧座810是和多维调整台9的上调整板907的下端面固定连接的，所以被测样品7就被锁紧不能再作β角转动。
多维调整台9由后调整手轮901、后长片簧铰链902、底座V形下导轨903、V形上导轨904、前长片簧铰链905、调整座架906、上调整座架907、前调整手轮908、X向调整手轮909、调整小座910和拉簧911组成。上调整座架907位于调整座架906的上方，调整座架906位于V形上导轨904的上方，前调整手轮908位于上调整座架907上，并与上调整座架907的螺纹孔啮合，后调整手轮901穿过上调整座架907的大孔位于调整座架906上，并与调整座架906螺纹孔啮合，上调整座架907通过后长片簧铰链902与调整座架906连接，调整座架906通过前长片簧铰链905与V形上导轨904连接，V形上导轨904通过V形导轨与底座V形下导轨903连接，并可在底座V形下导轨903中沿导轨方向移动，底座V形下导轨903安置在大底台15上，上调整座架907的上表面与水平角旋转台8的轴座套802连接，而下表面与锁紧座810连接，支掌水平角旋转台8及其以上的被测样品7部分。因前调整手轮908的螺杆头顶在调整座架906上，所以通过前调整手轮908的旋转可使与其螺纹啮合的上调整座架907绕后长片簧铰链902作上下两方向的转动，由于后长片簧铰链902在上调整座架907的侧边，上调整座架907的转动不仅改变被测样品7的高低方向，而且还可以上下升降。同理，因后调整手轮901的螺杆顶在V形上导轨904上，旋转后调整手轮901可以使调整座架906绕与其侧边连接的前长片簧铰链905作上下转动，使调整座架906及其以上包括被测样品7作高低方向转动，而且还可以上下升降，从而使被测样品7能在YOZ平面内，绕X轴作α角转动调整，也能沿Z轴作上下调整。由于与X向调整手轮909啮合的调整小座910固定在底座V形下导轨903上，X向调整手轮909的螺杆顶在V形上导轨904上，拉簧911一端拉着调整小座910，另一端拉着V形上导轨904，旋转X向调整手轮909可以使V形上导轨904沿着底座V形下导轨903的导轨作X正反方向移动，从而带动被测样品7在X方向作正反方向移动调整。总之，使多维调整台9达到能对被测样品7作α角转动调整，同时能作XY向移动调整。
如图5所示，是本发明实施例入射光栏通光口放大剖面图和激光准直入射光栏通光口图。左图为入射光栏4通光口放大剖面图，光栏通光口是上下为一刀形切口403。右边是激光穿过入射光栏4的中心点O2时的光斑截面图(打有剖面线部分)，由图可知光斑截面401为ABCD的一长方形矩形。
如图6所示，是本发明实施例被测样品激光入射口图。由图可知，被测样品7激光入射口701是A′B′C′D′长方形矩形(外面的长方形矩形)，由入射光栏4射来的激光光束402沿中心点03射入被测样品7入射口中，光斑截面是内打有剖面线部分的长方形矩形，其入射光束全部射进被测样品7入射口A′B′C′D′矩形内，可通过对准显微镜5对此进行观察，调整水平角旋转台8或多维调整台9上述已说明的有关手轮来达到，当入射光栏4发出的光斑截面ABCD过大时，可更换光斑截面小的入射光栏，总之，要使全部光都射入被测样品7入射口A′B′C′D′内。
如图7所示，是本发明实施例被测样品倍频微纳结构剖面俯视图。被测样品7一般由入射口701、内部微结构702、外壳703和出射口704组成，入射光402由入射口701射入，经内部微结构702的倍频后，其倍频光705从出射口704射出，射出倍频光705的强度与入射光的入射角度β有关，因此，在调整由入射光栏4射来的激光都射入被测样品7激光入射口的同时，还要注意转动水平角旋转台8调整入射光的入射角度，不同的被测样品7其最佳入射角度β是不同的，可根据预知的入射角度来逐步调整。在调整入射角度并锁紧后，还要移动激光功率计探头12，使射出倍频光705能垂直射入激光功率计探头12。
通过上述的调整被测样品7的位置后，遮上遮挡罩11，由激光功率计14测量显示倍频激光705的光强大小，这里把倍频激光705的出射光强大小记作I1。打开遮挡罩11，拿去被测样品7和由三个滤光片组成的倍频滤光片10，让激光402直接垂直入射到激光功率计探头12，再遮上遮挡罩11，由激光功率计14测量显示激光402的光强大小，这里把激光402的光强大小记作I2。在略去入射和出射被测样品7时的激光损失，以及被频滤光的散射损失情况下，可算出被测样品7的相对转换效率ηη＝I1/I2。
权利要求
1.中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，其特征在于包括激光器(1)、准直扩束系统(2)、偏振片(3)、入射光栏(4)、对准显微镜(5)、承品台(6)、被测样品(7)、水平角旋转台(8)、多维调整台(9)、倍频滤光片(10)、遮挡罩(11)、激光功率计探头(12)、激光功率计(14)和大底台(15)，激光器(1)、准直扩束系统(2)、偏振片(3)、入射光栏(4)、依次放置并安放于大底台(15)上，对准显微镜(5)竖直放置在被测样品(7)光线入口的上方，用于观察激光射入被测样品入口的对准情况；多维调整台(9)、激光功率计探头(12)和激光功率计(14)依次安放于大底台(15)上，固定被测样品(7)的样品承品台(6)安置在水平角旋转台(8)上，水平角旋转台(8)安置在多维调整台(9)上，倍频滤光片(10)位于激光功率计探头(12)的前端，在激光器(1)和激光功率计(14)之间罩有遮挡罩(11)，以防止外来杂光对光强信号测量的影响；激光器(1)射出的激光先通过准直扩束系统(2)准直扩束，然后通过偏振片(3)和入射光栏(4)，再通过竖直放置的对准显微镜(5)观察，由水平角旋转台(8)和多维调整台(9)的调整对准，由入射光栏(4)发出的光束射入被测样品(7)，经过被测样品(7)倍频后的倍频光(705)通过倍频滤光片(10)滤光射入激光功率计探头(12)，被探头接收后转换为电信号，送入激光功率计(14)，由激光功率计(14)测量显示出倍频激光的光强大小，再与未放置被测样品和滤光片时检测的光强值相比，可得到倍频转换效率。
2.根据权利要求1所述的中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，其特征在于所述的激光束(101)先通过聚焦镜(201)聚焦于聚焦镜的焦点O1点，再通过透镜前焦点也位于O1点的准直镜(202)使激光束(101)得到扩束和准直，得到扩束和准直的激光束通过偏振片(3)及旋转调整，使偏振方向与被测样品(7)所要求的方向一致；通过入射光栏(4)的激光束(402)射入被测样品入射口的对准情况由竖直放置可更换工作波段的可见到红外对准显微镜(5)观察，位置偏离由水平角旋转台(8)和多维调整台(9)来调整，对准显微镜(5)的物方折光小反射镜(501)以120°放置，不阻挡激光束(402)射入被测样品。
3.根据权利要求1所述的中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，其特征还在于所述的倍频滤光片(10)由倍频滤光片一(1001)、倍频滤光片二(1002)和倍频滤光片三(1003)组成，倍频滤光片一(1001)是一入射光半透，其余波段包括倍频光波段全反的滤光片，倍频滤光片二(1002)是一对入射光全反倍频光半反的滤光片，倍频滤光片三(1003)是一对入射光全反倍频光全透的滤光片。
4.根据权利要求1所述的中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，其特征还在于所述的承品台(6)由样品小压板(601)、样品垫板(602)、支板(603)组成，安装在水平角旋转台(8)的T形轴上，被测样品(7)的中心O4和激光光轴(402)等高并且平行。
5.根据权利要求1所述的中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，其特征还在于所述的水平角旋转台(8)由第一钢球(801)、轴座套(802)、水平保持夹(803)、垂直保持夹(804)、第二钢球(805)、T形轴(806)、轴端档板(807)、弹性锁紧圈档板(808)、弹性锁紧圈(809)、锁紧座(810)、水平角度盘(811)、锁紧手轮(812)组成，T形轴(806)下端面通过第一钢球(801)与轴座套(802)上端面连接，还通过第二钢球(805)与轴座套(802)内圆柱面连接，使T形轴(806)可相对于轴座套(802)作水平角β滚动旋转，套在轴座套(802)外圆柱面的水平角度盘(811)放置在多维调整台(9)的上调整板(907)上，T形轴(806)的圆盘外圆柱面上刻有指标线，被测样品(7)的旋转可读出旋转β角度数，轴座套(802)固定在上调整板(907)上，T形轴(806)旋转调整后靠锁紧手轮(812)旋转收紧弹性锁紧圈(809)，抱住T形轴的下端轴锁紧。
6.根据权利要求1所述的中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，其特征还在于所述的多维调整台(9)由后调整手轮(901)、后长片簧铰链(902)、底座V形下导轨(903)、V形上导轨(904)、前长片簧铰链(905)、调整座架(906)、上调整座架(907)、前调整手轮(908)、X向调整手轮(909)、调整小座(910)和拉簧(911)组成，上调整座架(907)位于调整座架(906)的上方，调整座架(906)位于V形上导轨(904)的上方，前调整手轮(908)位于上调整座架(907)上，并与上调整座架(907)的螺纹孔啮合，后调整手轮(901)穿过上调整座架(907)的大孔位于调整座架(906)上，并与调整座架(906)螺纹孔啮合，上调整座架(907)通过后长片簧铰链(902)与调整座架(906)连接，调整座架(906)通过前长片簧铰链(905)与V形上导轨(904)连接，V形上导轨(904)通过V形导轨与底座V形下导轨(903)连接，并可在底座V形下导轨(903)中沿导轨方向移动，底座V形下导轨(903)安置在大底台(15)上，上调整座架(907)的上表面与水平角旋转台(8)的轴座套(802)连接，而下表面与锁紧座(810)连接，旋转前调整手轮(908)可使上调整座架(907)绕后长片簧铰链(902)作上下两方向的转动，旋转后调整手轮(901)可使调整座架(906)绕与其侧边连接的前长片簧铰链(905)作上下转动，调整小座(910)固定在底座V形下导轨(903)上，拉簧(911)一端拉着调整小座(910)，另一端拉着V形上导轨(904)，旋转X向调整手轮(909)可使V形上导轨(904)作X正反方向移动，总之，达到多维调整台(9)能对被测样品(7)作α角转动，同时又能作XY向移动调整。
7.根据权利要求1所述的中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，其特征还在于所述的入射光栏(4)通光口剖面，是上下为一刀形切口，激光穿过入射光栏(4)的中心时光斑截面为一长方形矩形ABCD，被测样品激光入射口是A′B′C′D′长方形矩形。
8.根据权利要求1所述的中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，其特征还在于所述的遮挡罩(11)是一前面开有激光(101)入射孔，后面下边开有探测信号引出线(13)的孔和上面开有对准显微镜(5)观察用孔外，其余两侧面都无开孔，且内壁涂黑的外罩，以防止外来杂光对光强信号测量的影响。
9.根据权利要求1所述的中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，其特征还在于所述的被测样品(7)由入射口(701)、内部微结构(702)、外壳(703)和出射口(704)组成，入射光(402)由入射口(701)射入，经内部微结构(702)的倍频后，其倍频光(705)从出射口(704)射出，射出倍频光(705)的强度与入射光的入射角度β有关，每种被测样品(7)都有一个最佳入射角度，根据预知的最佳角度调整，在调整后还要移动激光功率计探头(12)使射出倍频光(705)垂直射入。
10.根据权利要求1所述的中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，其特征还在于所述光强的测量为通过调整被测样品(7)的位置后，遮上遮挡罩(11)，由激光功率计(14)测量显示倍频激光(705)的光强l1，打开遮挡罩(11)，拿去被测样品(7)和由三个滤光片组成的倍频滤光片(10)，让激光(402)直接垂直入射到激光功率计探头(12)，再遮上遮挡罩(11)，由激光功率计(14)测量显示激光(402)的光强l2，则可计算出被测样品(7)的转换效率η＝l1/l2。
全文摘要
中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，由激光器、准直扩束系统、偏振片、入射光栏、对准显微镜、承品台、水平角旋转台、多维调整台、倍频光滤光片、遮挡罩、激光功率计和大底台组成，激光器射出的激光通过准直扩束系统、偏振片和入射光栏，由对准显微镜观察经水平角旋转台和多维调整台调整对准射入被测样品，经被测样品倍频后的倍频光，被激光功率计接收并测量显示出倍频光的光强值，再与未放置被测样品和滤光片时检测的光强值相比，可得到倍频转换效率。被测样品的位置由多维调整台和水平角旋转台迅速调整，调整方便，测量精度高，易于应用推广。
文档编号G01M11/02GK1952640SQ20061011428
公开日2007年4月25日 申请日期2006年11月3日 优先权日2006年11月3日
发明者陈旭南, 李海颖 申请人:中国科学院光电技术研究所