专利名称：检查电路的方法以及检查电路的系统的制作方法
检查电路的方法以及检查电路的系统
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本申请要求2005年12月17日申请的序列号为60/749,052的美国临时专利 狄领域
^~发明涉;Sj^r查电路的系^方法领域。 背景絲
如印刷电5l^晶片的电路是通过非常复杂的制iiit^呈制造的。"些制
造iif呈期间会出现不同类型的缺陷，典型^^检查该电路，甚至要经历检被
程，以〗更保证它们的质量。
该检查i^flit常包括将电路^lA^查系统，检查该电路，然后从该检查系 统卸栽该电路。
在许多检查系统中，需^t者手动^^和卸载电路，因而^^城慢 了该检查过程。另一方面，完全自动的检查系^al杂，并且非常昂贵。 ^"在用于缩^Jiii^ft所需的时间的增长的需要。
发明内容
一种系统，包括第一表面，笫二表面，第錄面，以及多目标传送器； 其中该多目标传送器适于抓^ii^该第一表面上的预检查电路，适于抓^^t 置在第二表面上的在前检查的电路，并Jit于同时将该预检查电M送到该第 二表面以及将该在前检查的电5§#送到该第4面；其中该系^1于检查方 在该第二表面上的电路。
一种用于检查电路的方法，该方法包括在第一表面"^:预检查电路；通
过多目标传送a^住该预检查电路以^^在第二表面上的在前检查的电路；
同时将该预检查电*送到该第二表面和将该在前检查的电i^送到第X^面；以及检查该预检查电路。
一种系统，包括第一检M，第二检验站，在该第-^第^r^^验沾t间 定位的第二表面，以及多目标传送器；其中该多目相传送器适于抓^1E在该 第二表面上的预检查电路，同时##在该预检查电5^^前^#:查的在前检查的 电路；其中该多目标传送器适于在第一方向J^多动，以便将该预检查电^l^供 到该第一检验站，并JJt于在与该第一方向相反的第二方向Ji^动，以便将该 在前检查的电^^供到该第^r^，。
^jtb^照附图，^1过#^1的方，￡^^发明。5yM^细节上^L^照附 图，需^l虽调的;l:通过举例的方式^4示该细节，M为了本发明M实M 式的说明性论述，并JL^示其是为了提供相信是对本发明的原理^t念方面最 有用踏易鄉的描述。組泉上，除了对本发明J^lf所必须的，未尝试
更详细^^示本发明的结构细节，该结合附图的描述使4Wr在实践中具体化
本发明几种不同的形式对4^4页域的技^A员来i议显而易见的。 在该附图中
附图1-8表示才娥本发明不同实财式的系统；以及 附图9-10是Wl本发明不同实施方式的检查电路的^f呈图。
^^本发明的不同实施方式，提^"^t系统。该系统包^-组设备，其适 于^A如电路的目标，并iLit于卸载该检查的目标，该组i殳备包^^扫描系统的 检查台。将该检查系统方^^包括在该系统中。
下面的描述涉及多目标传送器，该多目相传送器沿第一轴^f亍线'f链动。 可以注意到，根据本发明的另一实施方式，该多目标传送器可以沿多个轴移动， 并且可以贿非线^i^动。该多目标微^^'如可以沿tt的x 4*^假想的y 轴移动。这种运动可以提供不必要的第^V或第^面的y^动。
参照附图和伴随的描述可以^^k^该组设备的原^^t。
附图1表示##本发明实施方式的系统8。系统8包:^r查系统12以及不 同的元件(Hfe^作设备)，絲电路^A检查系统12，并JU^r查系统12械电路。
系统10包括(i)第一表面，如第一台10的Ji4面10'(或舰)；(ii) 第二表面，如扫描台12a的Ji^面12'; (iii)第^4面，第二台11的Ji^面 11'(或舰)；以及(iv)多目标传送器，如双夹具14。
方{^,第二表面12a属于光学检查系统12，其适于检查;M在第二表面 12a上的电路，以使^^位可能的缺陷，并且确定它们的位置。光学检查系统12 通常包^J^第二表面12a之下的照明模夹，以;SjM^第二表面12a ^Ji 的检 。这种构itit^4。印刷电路板、掩^;^等的透明电路的^r查。可以注
意到，该检查系M^可以在^gJ^v或絲光的^^出上^m^查。这种检查适合
于如晶片的不透明的电路。
方^i4，该多目标传送器适于抓^^ ^第一表面10'上的预检查电路(如 电路16c)，抓^M在第二表面12a上的在前检查的电路(如电路16d)，并 且同时将该预检查电^m^第二表面12a，以及将该在前检查的电贿i^'J第 4面ll'。
多目标传送器14通常抓住该电路，#^抓住的电^€升到该第一至第^4 面10'、 12a和ll'^Ji，拭行lJ^上水平的运动，以将该预检查电路^tf^第二 表面12aiUi，并且将该在前检查的电路i^E第^4面11'^Ji。然后，多目 标传送器14放下抓住的电路，以将它们分别^E^第^第^4面上12a和11' 上。
注意到，多目标^iii器14可以^yt^'lt7lc平运动，*不是必须的。
进一步注意到，多目标传送器可以^#一个或多个电路，直到按指if^ 该一个或多个电路。因此，可以祸预检查电路提供到第二表面12a，而该在前被 检查的电聰粉皮多目标微器14抓住，反之亦然。因此，多目标传送器14 可以充当緩冲器。方^她，多目标待送器14可以##一个或多个电路，同时释 放一个或多个电路。
进一步注意到，虽然附图l-7表示的是适于抓住两个电路的多目相传送器 14，但是^4页域的^t^A员可以理解，该系统8包括可以抓住两个以上电路的 多目标传送器，并且由该多目标传送^Mi的电路的数量不同于系统8的不同 于第二表面12a的表面(如第一^p第4面10'和11')的数量。
可以将第一表面10，4一位置13a，(由支承电路16c表示)移动至第^置13a (由虚线和电路16b表示)。当将第一表面10'定錄第一位置13a，时， 其与第二表面12a对准。当将第一表面IO，定錄第二表面13a'时，其未与第二 表面12a对准。在第四位置处，第4面11'向着系统8的#^者延伸。
第^面ll'在第三位置13b和第四位置13b'之间可移动。当将第4面 11'定#第三位置13b时，其与第二表面12b对准，当将第^面ll'定錄 第四位置13b'时，其未与第二表面ll'对准。在第四位置处，第4面ll'向着 系统8的,者^4伸。
##本发明的实施方式，第一表面10'在该第^第^置13a和13a'之间 的运动由系统8的IMt者l^。
才娥本发明的另一个实^r式，第一表面10'在该第 第^i置13a和 13a'之间的运动与;^^该第二表面上的电路的检查i^呈同步。例如，当完# 前的检查〗',时(或稍微之前)第一表面IO，可以移动到第一位置13a，而一旦 多目标^iH器14将在前检查的电路iil^第4面ll'上，第^面ll'就可以 ^三位置13b移动到第四位置13b'。第一表面10'可以移动，在多目标传送器 14 ##定的由第一表面10，支撑的电5g^ij第^i置13a'，以^^许辦者在第 一表面10'Ji^t^新的电^t后，同时检查系鍵检^i亥特定的电路。！^t者也可 以44面11'^^前检查的电路，同时检查系统12检查该特定的电路。
系统8操怍的流水线方式能够执行电路检查，同时将其它电路^^/或卸栽。
可以将第 第二表面10'和11'看作舰，可以将其从它们相应的台拉出。
^Mt者站在(或錄)检查系统12之前，并且将电路(或多个4fofe^接的 电路)从台车15a^A^—表面10'，该台车运载多个16a表示的电路。这些电 ^ML可以称作一批目标。
辦者可以将电路(或多个 ^接的电路)4_^面ll，卸载到台车 15b,该台车支撑iiU^^L前检查的电路。
注意到，可以将台车15a和15b替^^它it^^且件。
附图2表^##本发明另一个实施方式的系统8，。
附图2的系统8'不同于附图1的系统8，其包括四^Ht^U7、 19、 18和 20，并且不包括可移动的表面。注意到，系统8'还可以包括两^Nti^U7和19， 以及两个固^面(代替该第^第四it^P机18和20)。因此，第-^第4面10'和ll'可以由itJN^几的Jl4面形成。才緣本发明
的另一个实财式，该第一^第x^面io'和1l'适于Mit^^^:电路(在第
一表面10'的情况下)，或将电路提供到该i^T^几(在第^4面11'的情况下)。
#^本发明不同的实财式，IMt者可以将电路;^^第""iSWU7上， 棉^r^^几19移去电路，甚至促使^S^电路iil^第一表面10'上，和/ 或促使将电m^錄面11'移到第Jiit^19。
该第一^第^it^^几可以符合SMEMA， ^不是必须的。
方1狄，由第三i^H几18的Ji^面形成第一表面10'，而由第四it^i^几20 的Ji4面形成第^面ll'， *不是必须的。
方便地，当检查系统12检查;M^第二表面12a上的特定电路时，#^扫 描的电路(在共同表示为16a的多个电5^卜)^"Ht^^U7 (^#作供应 i^T^几)HA^Xit^ 18 (^Ht第一台的i^f几)，并J^L^面10'Jj t准。 在由检查系统12检查电路(例如，通过扫描电路)^，多目标传送器14在 一个动作中立即(i)将在前检查的电5^/J^二表面12a^到第^^面11'(由 第四i^T^20的Ji^面形成)，以及(ii)将预扫描的电i^^^N^几18输 送到笫二表面12a，以便检查.第-H!t^L20^^前检查的电路16f以^: 运^19'继续该;i齡处理，只要从供应it^l7提供目标。
附图3表^#^本发明的又一个实施方式的系统8"。
系统8"的特絲于具有比附图1的系统8更高的iyH (^M^查系统12、 多目标传送器14，以^ 第^4面10'和ll'之间)。
在系统8"'中，将检查系统12、多目标传送器14，以紹-^第^^面10'
和ir絲絲一她。
将第一台10和第二台11叙己*结构上包括空间21，其中可以M扫描 台(未示出)。将扫描台M^第4第三台10和11之间。
系统8"包括可移动的第-"^第4面10'和11'，该第一^第^面可以在 多个位置之间移动。
附图4表示#^本发明进一步实施方式的系统8"，。
系统8"，的特#于具有比附图2的系统8"更高的t^l(^r查系统12、 多目朽传送器14，第"^第^Tiit^ 17和19之间)。
在系统8"'中，将检查系统12，多目标^ill器14，第"^第^^L17和19叙己解一她。
注意到，可以将系统8-8'"中的^个^t^一个或多个检，附l检验 站通常从该检查系,收可能的缺陷位置。可以将该信息与电路标伊^关联，
者输入该电絲^^，被不是必须的。#^本发明的实施方式，通itiEP宗电 路的位置(该检查和检^3^踏的i^呈)，该检验站可以检索适当的检^f言息， 而不用接收辦者的^f可输入。因此，如果絲定的电i^^r查系^U'J检验 系统，则该检验系统可以从该检查系^Hr该检务fT息(否则从该检查系^ 收)，并iUch理，而不需要来自^t者的附^H只别信息。然而对另一个例子来 说，可以将该检錄息与时间m联，这可以筒^f目关检^fT息的'隨。 附图5表示^^本发明实施方式的系统9。
系统9包括(i)包括第一表面10'的第一台10， (ii)包括第二表面12a 的第二台12, (iii)多目标传送器14, (iv)检l^it^^几22， (v)第一检验站 30以及(vi)第二检验站32。
辦者可以#^检查电路^1^第一表面IO，上，同时检查另一个电路。同 时，在前检查的电路通it^验站30和/或32经历检4^i^。
錄查完成(通过包括第二表面12a的检查系统12) ^，多目 14可以同时(i)将该在前检查的电5^^二表面12a传il!J!j检^t^22,以 及(ii) #^检查电5&^—表面10'传it^第二表面12a。
该检l^^ 22将在前检查的电路运输到最接近该第一第二检验站的 位置。该检验站30和32的辦者可以取出在前检查的电路，并ibf刀始^^验 抓
检查系统12也可以将与涉躲陷位置有关的信息发,l]检验站30和32。 因此，可以至少与该检查itf呈部分并行地实施该^^i^t程。 附图6表示#^本发明另一个实#式的系统9，。
附图6的系统9'不同于附图5的系统9，其具有代替检J^t^t/L22的台或 托盘23。将该托盘23的A面表示为23'，并ibf目当于在前附图的第^面11，。
多目标传送器14适于抓^tWL笫一表面IO，上的预检查电路，抓^^ 在笫二表面12a上的在前检查的电路，并且同时将该预检查电醋iHJ'J第二表 面12a，以及将该在前检查的电^i!U!l笫4面23'。检验站30和32的辦者可以取出被检查目标，并JW刀始^^l^t程。 附图7表甜條本发明实施方式的系统7'。
系统7，与在前系统的区别在于其检查系统和^^ 的相对位置(将检查 站12 M在两个检验站30和32之间)，以及^H^^r查电i^^/v^r查系统12 的方式。
虽然在前表示的系錄^A过程期间^^1多目标4送器14，但是在系统T 中，辦者^A该预检查电路。^^多目标传送器14将在前检查的电^M^r查 系统12传illJiJ检^^ 30和32。
多目标概器14适于抓^Xjfc第二表面12a上的预检查电路，同时储 在前检查的电路。多目标传送器14适于在第一方向J^多动，以便将该预检查电 i^C供到第一检验站30，并战于在与该第一方向相反的第二方向_]1#动，以 便将该在前检查的电i^l供到第Ji^验站32。
方^i也，多目标传送器14可以沿第二表面12a、第一检，30和第1 验站32后^4Ui的^f球动。因此，可以在将其定#第二表面12a的前部 (12a')时检查电路，并且一^E^其定^i^部12"，就可以通过多目标传送器 14将雞住。
在附图7中，检查系统12的M者以及该第4第^r^验站30和32的操 作者;^靠a就坐，位于多目标^ill器14的同侧。
才^#本发明的实施方式，可以定位该检查系统的IMt者，使其面对该检验 站的,者。该多目标^il可以在检查系统32和检M之间传送目标。
附图8表示系统7"，其与附图7的系统7，的区别在于检查系统12的， 者面对检验站30和32的^ft者，以及该多目标传送器由单个目标传送器14' 替换。
附图9是##本发明实施方式的检查电路的方法100的流程图。 重复该方法100的不同阶段，以提供5iM^^^^传i!Ui^。因此，当检
查特定电路时，#^检查电路 在第一表面上，将该在前检查的电5^^三
表面械。
方法ioo以在第一表面接收预检查的电路的阶段no开始。参m^前面附 图中所述的例子，可以通iiJt3^N^通过辦者提微收的电路。该第一表面
可以是固定的，或者可以在多个位置之间移动。该第一表面还可以是it^的Jl^面，或者是台的滑动表面.
方^4，阶段110包括当将该第一表面定#第1置时通过该第一表 面接收该预检查电路；将该第一表面移动到第一位置，以便与该第二表面对准。 方{她，当将该第一表面定站该第一位置时，其与该第二表面对准；以及当 将该第一表面定^该第；置时，其未与该第二表面对准。
阶段110后面的是通过多目标传送H^住该预检查电路和;^E第二表面 上的在前检查的电路的阶艮120。该在前检查的电路是通过检查系#前检查 的，当将其定錄该第二表面上时。方^狄，该多目标传送器是双夹具。
阶段120后面的是同时将该预检查的电骑i^J!]该第二表面，以及将该在 前检查的电贿靡'J第X4面的阶段130。方l她，将该第二电表面从该检查系 鄉去(械)，并且^^ili去检验。
方<线，阶段130包括将该预检查电^#^'』该笫二表面的前部，阶段140 之t^lfi亥预检查电^U亥前部移动到该第二表面的后部。
阶敬130后面的是阶度110、 140，以及^i^的阶提160、 170和180。
阶段140包総查该预检查电路。
阶段160包^"^i亥在前检查的电路的缺陷。阶段160包Mit^(或 其它方法)将该在前检查的电缚从该第^4面提供到检 。该提供包^fM i^H几，通过,者取出该在前检查的电路等等。可以将该第^面接近该检 ,定位。进一步注意，可以将阶度170看作是阶敬160的-"^分，特别是将 ^的在前^r查的电i2^^^到;^,。
阶敬170包^0P^该在前检查的电路。该^后面的是阶险160 (为了解 释简单，絲附图9中说明该连接)，或者可以实际上结束该电路的测试。
方^^，阶段170包拾^^该多目标传送ll^^该在前检查的电^^ 将该第^4面4三位置移动到第四位置。方^AL，当将该第^面定^该 第三位置时，其与该第二表面对准，当将该第棘面定錄该第四位置时，其 未与该第二表面对准。
方便地，该第-^p第4面的移动(在阶段110和170期间)响应于来自 ,者的触发器。才M^本发明的另一个实施方式，该第-"^第^面的移动与 iiE^E该第二表面上的电路的检查同步。
阶段180包括将^JiJ检验站的该电路中可能缺陷的位狄id^该检验站。方^^该检验阶段出m^前^W亍阶段180。
方便地，可以通过附图14中所示的任一系^Lft阶提110-140和170。注 意到，可以通iiil些系统的组合以及一个或多个检验^fti亥阶艮160。方i"JU也， 可以通过附图5和6中所示的任一系鍵^f亍方法100。
附图10表示检查电路的方法200。
重复方法200的不同阶段以4^^^^K^r^^传送ii^呈。
方法200以通it^二表面^^预检查电路的阶敬210开始。
阶敬210后面的是检查^X在第二表面上的预检查电路的阶度220。可以 将该第二表面定位在第""^第^"验站之间。注意到，可以以不同的方式定位 该第二表面，以Af 第^n^"验站，只要该多目标传送器可以将目标从该检 查系统传iH^检mfe。
阶敬220后面的是通过多目标传ilH4/Mi该^5^r查电路，同时##在该预 ;^r查的电i2M^前^r查的在前^r查的电路的阶段230。
阶段230后面的是阶段210、 240和250。
阶段240包括在第一方向移动该多目标传送器，以便将该预检查的电i^ 供到该第一检,。
阶度250包括在与该第一方向相反的第二方向Ji^多动该多目标传送器，以 便将该在前检查的电5&^供到该第^^#^。
方<线，阶段220 ^^r查该预检查电路，同时将其^J^E该第二表面的 前部上，以及将该预检查电5^Wt1t部移动到该第二表面的后部。
注意到，Jiil每个方法都^r监Wr姊检^^呈的錄，并且响应于所 iij&视，通ii^絲利用检查系统产生的检餘息，而不需要该检验^IMt者 的附加输入。
虽然连同絲定的实施方 §述了本发明，但AJ1然，许多替换、修錄 变形对^4页域的冲iL^员来iX^P是显而易见的，因此，打算包含所有这种落入 附加的W，j^求的樹申和广阔范围内的替换、修#变形。
权利要求
1. 一种系统，包括第一表面，第二表面，第三表面，以及多目标传送器；其中所述多目标传送器适于抓住放置在所述第一表面上的预检查电路，适于抓住放置在所述第二表面上的在前检查的电路，并且适于同时将所述预检查电路传送到所述第二表面以及将所述在前检查的电路传送到所述第三表面；其中所述系统适于检查放置在所述第二表面上的电路。
2. 才^tWJ要求l所述的系统，其中所述多目标传送器是双夹具。
3. ##^'澳求1所迷的系统，其中所錄一表面在第一位置和第^置 之间可移动；其中当将所鄉一表面定雜所鄉一位置时，其与所錄二表 面对准；以及其中当将所絲一表面定#所錄^置时，其未与所錄二表面对准。
4. 根据拟'J^求3所述的系统，其中所i^^面在第三位置和第四位置 之间可移动；其中当将所錄^4面定*所4三位置时，其与所絲二表面对准；以及其中当将所鄉^4面定絲所i^四位置时，其未与所iif二表面对准。
5. ##;^'漆求3所述的系统，其中所錄一表面在所i^ 第4置 之间的运动由所述系统的^ft者)t^。
6. 才MtW漆求3所述的系统，其中所錄一表面在所錄一第^i置 之间的运动与it^所i^二表面上的电路的检查;M同步。
7. ^^5U'j要求l所述的系统，其中定^^斤i^一表面，以Mi^u^: 所述嫩查电路。
8. ##粉'决求1所述的系统，其中所述系统包^it于支撑多个电路的可 移动的台车。
9. #^ ']^求1所述的系统，进一步包^^麟，其中所述检验站包括 所錄4面。
10. 才M^5U'漆求9所述的系统，其中所iif^4面是检a^r^的Ji4面；其中所i^i^^^it于将在前检查的电5Wi^ij至少一个检验站。
11. 才Ht^5U'溪求9所述的系统，其中所述系絲所述电路中可能缺陷的 位置提供到所微狄
12. ##^'溪求1所述的系统，进一步包括至少一个检验站；其中第三 表面纟皮"^i^少一个;i^^的—个而定位。
13. 才M^U^"求1所述的系统，其中所鄉二表面包括前部和后部；其 中当将所述电路;M在所述前部上时，所述系统光学检查所述电路；以及其中 当将所述电路itl^所^部上时，所述多目标传送器适于抓^^斤述电路。
14. 才M^U'J^求1所述的系统，其中所述多目标微器适于絲电路， 直到被命4^W述电路。
15. —种用于;^r查电路的方法，所ii^r法包拾 在第一表面^^预检查电路；通过多目标传送^M^斤述预检查电路以;Sj^J^笫二表面上的在前检查 的电路；同时将所述预检查电i^i^ij所i^二表面和将所^前检查的电*送 到第4面；以及检查所述预检查电路。
16. 才^&拟'决求15所述的方法，其中所述抓住包^itit^夹^lM^斤述 第-"^在前检查的电路。
17. #^*U'JJN^ 15所述的方法，其中所述M包拾 当将所述第一表面定#笫^置时由所述第一表面接》1^斤述预检查电路；将所錄一表面移动到第j置，以便与所鄉二表面对准； 其中当将所鄉一表面定錄所鄉一位置时，其与所錄二表面对准； 以及其中当将所錄一表面定錄所鄉1置时，其未与所鄉二表面对准。
18. 條权被求17所述的方法，进一步包拾^^^斤述多目标传送II^1^斤錄前检查的电5M^，将所錄^4面从 第三位置移动到第四位置；其中当将所絲^面定縣所鄉三位置时，其与所絲二表面对准； 以及其中当将所鄉^^面定錄所鄉四位置时，其未与所鄉二表面对准。
19. 才^^U'漆求17所述的方法，其中所錄4第4面的移动响应于来自,者的M器。
20. 才^t似，j要求17所述的方法，其中所^-"^第^4面的移动与itX 在所iif二表面上的电路的检查同步。
21. 才N^M'决求15所述的方法，其中所述M包括Mi^^;u^l^斤述预检查电路。
22. 根据^'J要求15所述的方法，进一步包括将所述预^:查电*支撑多 个电路的台车提供到所ii^一表面。
23. 才^t^，jj^求15所述的方法，ii一步包^t4^^到所ii^^面的电 糊愤验殊
24. ##^^要求23所述的方法,其中在^e^将所述电路i^r到检^。
25. 才^^5U，J^求24所述的方法，进一步包括^i^T到所述检验站的电路 中可能缺陷的位Jj^lU'j所述检，。
26. 條W慎求15所述的方法，进一步包滅过检舰对提供到所i^ ^面的电i^f^^验^ft;其中接i^斤絲^4面定^^斤述检验站。
27. ##权利要求15所述的方法，其中所述传送包括将所述预检查电, iHJij所錄二表面的前部；以及其中在所ii^r查前将所述预检查电路^J斤述前 部移动到所錄二表面的后部。
28. 才^^5U'j^"求15所述的方法，进一步包^iiit/斤述多目标传送^^住 电路，直到被命4^#^斤述电路。
29. —种系统，包括第一检验站，第二检验站，定^所i^ 第二 检验站之间的第二表面，以及多目相传送器；其中所述多目标传送器适于抓住 ^J^所絲二表面上的预检查电路，同时^#在所述预检查的电5^1前微 查的在前检查的电路；其中所述多目标传送器适于在第一方向Ji^多动，以便将 所述预检查电5^i供到所i^一检验站，并ilit于在与所述第一方向相反的第 二方向Ji^多动，以便将所^前检查的电i &^供到所i^^r:^1^。
30. ^^M'J要求29所述的系统，其中所ii^二表面包括前部和后部；其 中当将所述电路妙在所述前部上时所述系统光学检查所述电路；以及其中当 将所述电路 ^所^部上时所述多目标传送器适于抓^^斤述电路。
31. —种用于;j^查电路的方法，所^法包拾检查 ^第二表面上的预检查电路，将所^二表面定錄第—第二检验狀间；通过多目标传送m倾述预检查电路；同时絲在所述预检查电秋前^r查的在前检查的电路；在第一方向上移动所述多目标传送器，以便将所述预检查电^^供到所述 第一检验站；以及在与所i^一方向相反的第二方向上移动所述多目标传送器，以便将所述 在前检查的电i^^^^到所itf J^^iHfe。
32.才M^M'J^求29所述的方法，其中所ii^r查包^j^查所述预检查电路， 同时将其; ^所錄二表面的前部上，以;5L将所ii预^r查电^J斤述前部移 动到所i^二表面的后部。
全文摘要
一种检查电路的方法和系统。该系统包括第一表面，第二表面，第三表面，以及多目标传送器；其中该多目标传送器适于抓住放置在该第一表面上的预检查电路，抓住放置在该第二表面上的在前检查的电路，并且同时将该预检查电路传送到该第二表面以及将该在前检查的电路传送到该第三表面；其中该系统适于检查放置在该第二表面上的电路。
文档编号G01R31/00GK101430362SQ20061013097
公开日2009年5月13日 申请日期2006年12月15日 优先权日2005年12月17日
发明者埃维·列维, 拉菲·阿米特 申请人:卡姆特有限公司