专利名称：电流测量装置、测试装置、电流测量方法、及测试方法
技术领域：
本发明涉及电流测量装置、测试装置、电流测量方法、及测试方法。 尤其涉及测量流入电子器件的电流的电流测量装置、测试装置、电流测量 方法、及测试方法。另外，本申请与以下日本申请有关。对于承认可以组 合参考文献的指定国家，本申请参照以下申请中的内容组合入本申请中， 作为本申请的一部分。
l.特愿:2005 - 050071 申请日2005年02月25曰
背景技术：
过去，作为测量流入电子器伴的电流的测量装置，已公开的技术有 具有主要用于测量工作中的电子器件所耗费的电流的大电流测量用电源电 路，和主要用于测量电子器件在静止中的泄漏电流的小功率测量用电源电 路(参照专利文献l、 2)。
(专利文献1 )特开2001-41997号公报
(专利文献2 )特开2004-347421号公报
随着近年来的器件制造工艺的细微化，电子器件向着高密度化及高速 化发展。同时，由于越来越多的元件作更高速的转换，所以，特别是CM0S 电路中的电子器件工作时耗电增多。因此，要求在专利文献1及2中公开 的被测试电子器件的端子与接地之间设置更大容量的电源稳定用的平滑电 容器。还有，电子器件的高密度化使电子器件上搭载的整流栅(gate)数目 增加，即使在静止状态时漏电流也有增加的趋势。
另一方面，器件制造过程的细微化使得整流栅及配线的绝缘部分的宽 度变小。因此，绝缘不良所生的漏电流更加微小，微小漏电流的测量变得 更力口困难。
对此，才艮据专利文献1中的测量静止电流用的电源电路，在参考电压 的电压源发生很大噪声的情况下，供给电子器件的电流变动很大，测量微 小的漏电流变得很困难。还有，加大平滑电容的容量，则为了对应与参考 电源的差分，电源电路提供的电流则变大。但是，若对应输出电压与参考 '电压的差分，电源电路提供的电流变大，则可测得对应于输出电压的噪声 电压，提供很大的噪声电流。
发明内容
本发明的目的在于提供能够解决上述问题的电流测量装置、测试装 置、电流测量方法、及测试方法。通过权利要求的独立项中所述特征的组 合达成此目的。还有，从属项规定了本发明更有利的具体例。
冲艮据本发明第1实施例，提供一种电流测量装置，为测量流入电子器
件输入端的电流的电流测量装置，包括第1电容，用于蓄积在电流测量
中作为供给所述电子器件的电压基准的基准供给电压、第1开关，在电流 测量前，将电源连接到所述第1电容上，使其蓄积所述基准供给电压，在 电流测量中从所述第1电容断开所述电源、电流供给部，在电流测量中， 向所述电子器件提供依据所述第1电容上蓄积的所述基准供给电压及所述 输入端子的端电压的电流、第1电流测量部，测量供给至所述电子器件的 供给电流。
所述电流供给部应该具有，第1差分放大器，所述第1差分放大器输 出放大所述基准供给电压与所述端电压的差，并加在所述基准供给电压上 所得的电压、
以及电阻，在所述第1差分放大器的输出和所述输入端子间连接所述 电阻，向所述输入端子供给依据所述第1差分放大器的输出电压及所述端 电压之差的所迷供给电流。
所述第1电流测量部'，还可以具有差分运算器，输出从所述电阻的所 述第1差分放大器一侧的输出电压减去所述电阻的所述输入端一侧的所述
端电压所得的差分电压；测量部，依据所述差分电压来测量所述供给电流。 所述第1电流测量部还具有输出预先设定的测量用基准电压的电压 源，和输出放大了所述差分电压及所述测量用基准电压的差所得的差分放 大电压的第2差分放大器；所述测量部还可以4艮据所述差分放大电压来测 量所述供给电流。
所述第1电流测量部还可以具有连接在所述电压源及所述第2差分放 大器之间的低通滤波器。
还可以具有补正部，通过在所述基准供给电压上加上依据所述差分电 压的补偿电压，以补正所述基准供给电压；所述电流供给部，在电流测量
述端电压的电流。
所述补正部具有加法器，在所述基准供给电压上加上依据所述差分电 压的所述补偿电压，和具有第2电容器，储存所述加法器的输出电压并向 所述第1差分放大器输出。
所述补正部还可以具有第2开关，设在所述加法器的输出和所述第2 电容之间，在电流测量开始时预先设定的时间内所述加法器的输出连接所 述第2电容，储存所述加法器的输出电压，经过所述预先设定的时间后，
断开所述加法器的输出和所述第2电容。还可以具有在电流测量前向所述第1电容及所述输入端子供给所述基准供给电压的电源；在电流测量中断开所述第1电容和所述输入端子的第3 开关；以及电压调整部，在电流测量中，通过在所述第1电容储存的所述 基准供给电压上加上预先设定的补偿电压，提供给所述电流供给部，以此， 较比电流测量前的所述端子电压提高在电流测量中的所述端子电压。所述第3开关设于所述电源和所述输入端子之间的配线、以及所述第1 开关在没有连接所述第1电容的一端和所述电源间的配线的接点，与所述 电源的输出端子之间，在所述电源的输出端子与所述接点之间，串联有第1 晶体管和第2晶体管，在断开时，第1晶体管截止从所述电源的输出端侧 向所述接点側输送的电流、第2晶体管截止从所述"t妄点側向所述电源的输 出端側输送的电流。还具有，所述第3开关的所述输入端子侧的端子和所述第1差分放大 器之间设置的第4开关；所述电阻的所述输入端子侧的端部和所述输入端 子之间设置的第5开关；测量所述电源对所述输入端子提供的电流的第2 电流测量部；控制测量动作电流的动作电流测试和测量静止电流的静止电 流测试的测试控制部，动作电流是指所迷电子器件在工作时流过的电流， 静止电流是指所述电子器件在静止时流过的电流，所述测试控制部在所述 动作电流测试时，所述第3开关导適，所述第4开关及所述第5开关断开， 由所述第2电流测量部来测量所述电源对所述输入端子供给的电流以作为 所述动作电流；在所述静止电流测试时，所述第3开关断开，所述第4开 关及所述第5开关导通，根据所述第1电容上蓄积的所述基准供给电压和 所述端电压，由所述第1电流测量部来测量向所述电子器件供给的电流。在电流测量中，还具有测量无效检出部以检出该电流测量无效，由所 述第1电流测量部所测量的所述供给电流比预先设定的阈值电流大时，该 电流测量无效。还具有电流测量前向所述第1电容以及所述输入端子提供所述基准供 给电压的电源；电流测量中将所述电源与所述第1电容和所迷输入端子断 开的第3开关，当所述测量无效检出部检出所述电流测量无效时，所述第3 开关导通，所述电源可以向所述电子器件供给电流。根据本发明的第2实施例，提供一种测试装置，为测试电子器件的测 试装置，其中具有第1电容、第1开关、电流供给部和第1电流测量部； 电流测量中作为供给所述电子器件的电压基准的基准供给电压储存在所述 第1电容上，通过所述第1开关，电流测量前，连接电源与所述第1电容， 蓄积所述基准供给电压，电流测量中将所述电源与所述第1电容断开；电 流测量中，所述电源供给部向所述电子器件提供依据所述第1电容上蓄积
的所述基准供给电压以及所述电子器件的输入端子的端电压的电流，所述 第1电流测量部测量供给至所述电子器件的供给电流。根据本发明的第3实施例提供一种电流测量方法，为测量流入电子器 件输入端的电流的电流测量方法，包括以下几个阶段，基准供给电压蓄积 阶段，即在第1电容上蓄积电流测量中向所述电子器件供给的作为电压基 准的基准供给电压；控制第1开关阶段，控制第1开关以使在电流测量前 将电源与所迷第1电容连接，蓄积所述基准供给电压，在电流测量中将所 述电源与所述第1电容断开；电流供给阶^l爻，在电流测量中，向所述电子 器件供给依据所述第1电容上储存的所述基准供给电压以及所述输入端子 的端电压的电流；和第1电流测量阶段，测量供给至所述电子器件的供给 电流。根据本发明的第4实施例提供的测试方法，为测试电子器件的测试方 法，包括以下几个阶段基准供给电压蓄积阶段，在第1电容上蓄积电流 测量中向所述电子器件供给的作为电压基准的基准供给电压；第1开关控 制阶段，控制第1开关以使在电流测量前将电源与所述第1电容连接，蓄 积所述基准供给电压，在电流测量中将所述电源从所述第1电容断开；电 流供给阶段，在电流测量中，依据所述第1电容上蓄积的所述基准供给电 压以及所述电子器件的输入端子的端电压向所述电子器件供给电流和第1 电流测量阶段，测量提供给所述电子器件的供给电流。还有，上述发明的概要并没列举本发明所有的必要特征，这些技术特 征群的子组合也包括在本发明中。根据本发明，即使在电子器件的端子连接使电源稳定化的电容时，也 能够使提供给该端子的电流中的噪声变小，抑制该端子的电压变动。
图1是本发明实施例涉及的电流测量装置10的构成图示。 图2是本发明实施例涉及的电源部506的构成图示。 图3是本发明实施例涉及的开关152和开关174的构成图示。 图4是本发明实施例涉及的电流测量装置10的第1动作例图示。 图5是本发明实施例涉及的电流测量装置10的第2动作例图示。 图6是本发明实施例涉及的电流测量装置10的第3动作例图示。 图7是本发明实施例涉及的电流测量装置10的噪声降低效果图示。 附图标记10电流测量装置 20电子器件25输入端子 30电流测量部35开关控制部 40电流测量部 50电容60电容70电阻90测试控制部100电容102开关104电阻110电流供给部112差分放大器113电阻114电阻116电压随动器118电阻119电容120电流测量部122差分运算器124测量部126电压源128低通滤波器130差分方t大器132测量部140补正部141开关142电阻143电容144开关145加法器146电容147电阻148开关150电源152开关155电流测量部160电压调整部162电压源163开关164电阻165电容166开关170开关172电压随动器174开关180测量无效检出部182电压源184差分运算器186无效记录部200晶体管210晶体管502图案发生部504信号输入部506.电源部508判定部具体实施方式
以下通过发明的实施例来说明本发明，以下实施例并不限定权利要求 中的发明，还有，实施例中说明的特征的组合的全部不限于发明的解决手 段所必需者。图1是本发明实施例涉及的电流测量装置10的构成和电子器件20共 同显示的图示。电流测量装置10测量例如LSI等测试对象(DUT: Device Under Te s t )的电子器件2 0的流入电流，例如从电源端子等输入端子流入 的电流。电流测量装置IO，例如是测试电子器件20的测试装置，进行动作 电流测试和静止电流测试，动作电流测试就是测量在电子器件20工作时消
耗的电流，静止电流测试就是测量静止时的漏电流。本发明实施例涉及的 电流测量装置10在静止电流测试时可以减低供给至电子器件20的电流的 噪声，因此可以较精确的测量漏电流。电流测量装置10具有测试控制部90、电源部506、图案发生部502、 信号输入部504、判定部508。测试控制部90控制电源部506、图案发生部 502、信号输入部504、以及判定部508。电源部506是向电子器件20提供 电源电流的电源装置。电源部506在电子器件20的动作电流测试及静止电 流测试中测量向电子器件20供给的电源电流的大小，并将测量结果通知判 定部508。图案发生部502根据测试控制部90的指示，实施测试程序的各 步骤，以生成向电子器件供给的测试图案。信号输入部504取得测试图案且予以成形，以生成测试信号而供给至 电子器件20。即，例如，信号输入部504根据测试图案指定的时序(timing) 以生成指定的信号波形。如此，信号输入部504向电子器件供给测试信号。 判定部508对应测试信号以根据电子器件20输出的信号来判断电子器件的 好坏。还有，判定部508根据供给至电子器件20的电源电流的大小来判断 电子器件20的好坏。综上所述，电流测量装置10具有本发明涉及的电流 测量装置的功能。图2表示，包括电子器件20及测试控制部90的本实施例涉及的电源 部506的构成。电源部506具有电流测量部30、电流测量部40、电容50。 电流测量部30主要用于电子器件20的静止电流测试，与电流测量部40比 较，供给电子器件20的电流较小，通过测量已供给的供给电流大小，以测 量流入电子器件20的电流。电流测量部40主要用于电子器件20的动作电 流测试，在电子器件20的机能测试中比电流测量部30大的电流供给至电 子器件20，通过对已供给的电流大小的测量，以测量流入电子器件20的电 流。电容器50是在电子器件20所耗费的电流一时增加的情况下，防止由 于电流测量部30及电流测量部40的电流供给量增加的迟緩致使输入端子 25的端电压变动时使用的平滑化电容。电流测量部30是本发明涉及的电流测量装置的一例，测量向电子器件 20提供电流而流入电子器件20输入端子的电;jt本实施例涉及的电流测量 部30，由以储存在电容100上的电压为基准以控制电子器件20的端电压来 代替由电源生成的作为输入端子25的端子电压的基准的电压。如此，电流 测量部30可以供给电子器件20噪声电流小的、稳定的电流。电流测量部30具有开关控制部35、电压随动器172、电容IOO、开关 102、电阻104、电流供给部IIO、电流测量部120、补正部140、电压调整 部160、测量无效检出部180、开关170、开关174。开关控制部35控制电 流测量部30内的各个开关(102、 141、 144、 148、 163、 166、 170、以及
174等)的通或关。还有，本实施例涉及的开关控制部35还控制电流测量 部40内的开关152的开/关。电压随动器172的正输入通过开关170而连接到输入端子25,负输入 连接电压随动器172的输出，对应于输入电压和输出电压而使输出电压变 化，由此使输入电压稳定而使输出电压输出。电压随动器172的输出端与 开关102、电流供给部110内的电阻113连接。电容100在电流测量中，储存作为供给电子器件20的电压基准的基准 供给电压。电容100连接在向补正部140提供基准供给电压的输入与接地 之间 开关102连接在电容100的基准供给电压输出侧的端部与电源150 之间。开关102，在使用电流测量部30的电流测量前，由开关控制部35设 定为导通，将电源测量部40内的电源150与电容100连接，蓄积基准供给 电压。还有开关102,在使用电流测量部30的电流测量中，由开关控制部 35ii定为断开，从电容100断开电源150。由此，电容100便可以将在电 流测量中储存的电压输入至几乎未放电的补正部140。电阻104连接在开关 102的电容IOO侧的一端与电容100的基准供给电压输出侧的一端之间。电流供给部110，在使用电流测量部30的电流测量中，通过补正部140 以输入电容100的基准供给电压，通过开关170及电压随动器172以输入 一输入端子25的端电压。还有，电流供给部110，在使用电流测量部30的 电流测量中，向电子器件20供g据储存在电容100上的基准供给电压以 及输入端子25上的端电压的电流。电流供给部110包括差分放大器112、电阻113、电阻114、电压随动 器116、电阻118、电容119。差分放大器112是涉及本发明的第1差分放 大器的一例，放大通过补正部140输入的基准供给电压与端子电压的差， 输出加在基准供给电压上的电压。更具体地说，差分放大器112，在端电压 比基准供给电压低的情况下，放大基准供给电压减去端电压的差后得到的 结果为正电压，输出将此正电压加到基准供给电压后的电压。还有，在端 电压比基准电压高的情况下，基准供给电压减去端电压的差放大后得到的 结果为负电压，输出将此负电压加到基准供给电压后的电压。电阻113以 及电阻114决定差分放大器112的放大率。更具体地说，设电阻113的电 阻值为Ri、设电阻114的电阻值为Rf ，则放大率G为Rf/Ri。还有，为了 减小输入端子25的端电压的衰减量，此放大率优选1倍以上。电压随动器116的正输入与差分放大器112的输出连接，负输入则是 连接电压随动器116的输出的差分运算器。电压随动器116，通过对应于输 入电压及输出电压来变化输出电压，以输出使输入电压稳定的输出电压。 电阻118连接于差分放大器112的输出与输入端子25之间，对应差分放大 器112的输出电压以及输入端子25的端电压的差，向输入端子25供给供给电流。电容119连接于电阻118的输入端子25侧的端部与接地之间，通 过电阻118以稳定供给至输入端子25的电流。电流测量部120是涉及本发明的第1测量部的一例，测量电流供给部 110供给电子器件20的供给电流。电流测量部120包括差分运算器122、 测量部124、电压源126、低通滤波器128、差分放大器130、测量部132。 差分运算器122连接于电压随动器116与输入端子25之间，电阻118的差 分放大器112侧的输出电压减去电阻118的输入端子25侧的端电压所得到 的差分电压被输出。测量部124依据差分电压来测量该供给电流。更具体 地说，若设电阻118的电阻值为Rm，差分电压为Vim，则测量部124通过 AD转换器等以测量差分电压Vim,除以电阻值Rm，计算出供给电流 Iddq (=Vim/Rm)。为使测量部124更高精度的测量流入电子器件20的供给电流Iddq，设 置电压源126、差分放大器130、测量部132、及低通滤波器128。电压源 126，例如具有DA转换器，用于将观'J试控制部90设定的数字电压设定值变 换成模拟电压，输出由测试控制部90预先设定的测量用基准电压。差分放 大器130放大差分运算器122所输出的差分电压和电压源126所输出的测 量用基准电压的差，得到差分;^文大电压后输出。测量部132测量依据差分 放大器130输出的差分放大电压的供给电流。低通滤波器128连接于电压 源126和差分放大器130之间，可稳定电压源126输出的测量用基准电压。例如静止时流入电子器件20的电流Iddq的理论值为20mA的情况下， 应用测量部124以1 m A的单位来测量该供给电流Iddq,测量部124有必要 对差分运算器122的电压进行测量以作为15比特(bit)以上的数字值。其 缘由是，20mA/l jaA=20， 000， 214<20， 000 <215。因此，电流测量装置10中，在高精度测量该供给电流的情况下，电压 源126输出预先测量用基准电压Vref。如果此Vref比差分运算器122输出 的电压小，则对应于比理论值略小的电流Iddq，电流测量装置10设定电压 源126的电压成为与差分运算器122所输出的电压略同。差分放大器130将差分运算器122的输出电压Viml和测量用基准电压 Vref的差分电压Vim2 ( = Viml--Vref )放大N倍后得到的电压输出。通过 测量差分放大器130输出的电压，与直接测量差分运算器122的输出电压 的情况相比较，测量部132用较少比特数的AD转换器便可以精确测量该供 给电流Iddq。例如，静止时流入电子器件2 0的电流Iddq的理论值为2 OmA，与实际 电流值有土lmA的差时，设Vref-19mA，差分放大器130输出对应于差分电 流^Iddq-0 ~ 2mA的差分》文大电压。因此，应用测量部132以1 ju A的单位来测量该供给电流Iddq时，测量部132可对差分放大器130的电压进行测量 以作为11比特的数字值。其缘由是，2mA/ljaA=2， 000， 2'。<2， 000 <2"。 还有，设电子器件20的个体差别而引起的供给电流差jlddq为供给电 流Iddq的理论值的10%,电压源126可以^_用与Iddq的10%相当的电压单 位的分辨率来输出测量用基准电压Vref。还有，电压源126的设定分辨率 与测量部132的测量分辨率的相乘积应大于Iddq除以测量单位(例如1 m A ) 后的商。还有，在测量多个电子器件20以求得该供给电流的差^Iddq的情况 下，可以抵消电压源的测量用基准电压Vref的误差，得到正确的jlddq。还有，由于电压源126输出的测量用基准电压Vref在测量中不变，所 以通过电压源126与差分放大器130之间设置低通滤波器128,与差分放大 器l30与测量部132之间设置低通滤波器以降低噪声相比较下，可以在更 短的时间得到精确的电流值。通过将与差分运算器122的输出差分电压对应的补偿电压，加在电容 IOO的基准供给电压上，补正部140对基准供给电压实行补正。如此，在流 入电子器件20的电流Iddq取决于电子器件20的端电压Vdd的情况下，对 电子器件20的端电压进行补正可以更精确的测量电流Iddq。本实施例中， 对应差分电压以补正基准供给电压的电流测量装置10的动作模式表示为电 压补正模式。还有，补正部140，与电压调整部160的输出电压对应，调整 供给至电流供给部110内的差分放大器112的基准供给电压。补正部140包括开关141、电阻142、电容143、开关144、加法器145、 电容146、电阻147、开关148。开关141连接于差分运算器122的输出与 加法器145的输入之间。开关141,在电流测量时，基于差分电压的补偿电 压加到基准供给电压上以进行补正时，由开关控制部35导邋向加法器145 供给差分运算器122的差分电压。另一方面，在不进行该补正的情况下， 电流测量中由开关控制部35断开该开关141。电阻142连接于加法器145 与开关141之间。电容143连接在加法器145和接地之间，与电容100同样，使差分运 算器122的差分电压稳定，以提供给加法器145。更具体地说，在实行上述 补正的情况下，开关控制部35，在静止电流测试中导通该开关141，断开 开关144,在电容143上蓄积差分运算器122的差分电压。还有，开关控制 部35，在电流测量部120测量流入至电子器件20的供给电流之前，控制该 开关141成为断开。如此，电容100便可以对加法器145供给已储存的差 分电压 开关144连接在开关141的加法器145侧端部和^接地之间。电阻142,
在实行所述补正的情况下，由开关控制部35控制成断开。另一方面，若不 进行如此补正，由开关控制部35控制成导通，加法器145的输入成为0V, 对基准供给电压不实行补正。
加法器145，在实行所述补正的情况下，对从差分运算器122输出且蓄 积在电容143上的差分电压按预先设定的放大率予以放大，以加在基准供 给电压上，向差分放大器112供给补正了的基准供给电压。如此，在电流 测量中，对应于依据补正部140补正了的基准供给电压和输入端子25的端 电压的电流，能够被电流供给部110供给到电子器件20。
还有，加法器145，将电压调整部160输出的电压再加到基准供给电压， 以调整基准供给电压。电容146连接在加法器145以及差分放大器112之间的配线和接地之 间，电容146蓄积加法器145的输出电压，电流测量中向差分放大器112 供给已蓄积的电压。加法器145以及差夯放大器112之间的配线上的加法 器145的输出与电容146之间设置'着开关148。开关148，由开关控制部35 控制，在静止电流测试的电流测量开始后预先规定的时间内连接加法器145 的输出与电容146,储存着加法器145的输出电压。还有经过该预先规定的 时间后使加法器145的输出与电容146之间断开，储存在电容146的电压 供给至差分放大器112。电阻147连接于开关148和电容146之间。还有，不实行所述补正等的电流测量装置10是没有补'正部140的构 成，差分放大器112上可以直接连接电容100。
电压调整部160与加法器145的输入连接。还有，电压调整部160通 过补正部140向电流供给部110供给电压，该电压是电流测量中电容100 上蓄积的基准供给电压，再加上由测试控制部90预先设定的设定电压。本 实施例涉及的电压调整部160，电流测量前设定电压为0V，电流测量中设 定电压为正值，所以电流测量中的端电压比电流测量前的端电压要高。因 此，电压调整部160将静止电流测试前的电子器件20内部的逻辑的设定期 间(set-up期间)中的端电压与静止电流测试中的端电压进行比较，可取 更低的值，在设定(set-up)期间可以避免电子器件20发热、不会测量到 高的漏电流。本实施例中，与电流测量前比较下，电流测量中的端电压升 高的电流测量装置IO的动作模式，称为电压可变模式。
电压调整部160包^^电压源162、开关163、电阻164、电容165、开 关166。电压源162,例如通过DA转换器、输出对应于测试控制部90的i殳 定的偏移(offset)电压。开关163设置在电压源162以及加法器145之间 的配线上，由开关控制部35控制。电压源162设置在开关163以及加法器 145之间的配线和接地之间，电压源162由开关控制部35控制。 电容165连接在开关163以及加法器145之间的配线和接地之间，开 关163导通时储存着偏移电压，开关163即使在断开的状态，仍可继续向 加法器145供给该偏移电压。电阻164设置在开关163以及加法器145之 间的配线上的开关163与电容165之间。以上所示的电压调整部160,静止电流测试前开关163断开，开关166 导通。如此，加法器145供给电压0V。如此，在静止电流测试前，加法器 145可以不在基准供给电压上加偏移电压而向电流供给部110输出。另一方 面，在静止电流测试中，开关163导通，开关166断开。如此加法器145 可以在基准供给电压上加上偏移电压而向电流供给部110输出。还有，经 过静止电流测试开始后规定的时间，开关163可以断开。如此，电容165 可以将储存的偏移电压稳压，供给至加法器145。测量无效检出部180输入差分运算器122输出的差分电压，电流测量 中，在电流测量部120测得的供给电流比预先设定的阈值电流大的情况下， 可检出该电流测量无效。测量无效拾出部180包括电压源182、差分运算器 184、无效记录部186。电压源182输出对应该阈值电流的电压。差分运算 器184从电压源182的电压减去对应于供给电流时差分运算器122所输出 的差分电压。无效记录部186，在电流测量中，差分运算器184的输出电压 为负时，记录该电流测量无效，并通知测试控制部90。开关170设置在电流测量部40内的开关152以及输入端子25间的配 线和差分放大器112之间 更具体地iJt，开关17(H殳置于电流测量部40内 部的开关152的输入端子25侧的端子与电压随动器172之间，电压随动器 172设置于开关152的输入端子25侧的端子与差分放大器112之间。开关 174设在电阻118的输入端子25侧的端部，和输入端子25之间。电流测量部40具有电源150、开关152、电容60、电阻70、电流测量 部155。电源150在动作电流测试中向电子器件20供给电流。还有，电源 150在静止电流测试的电流测量前，向电容100及输入端子25供给基准供 给电压。开关152在静止电流测量中使电源150由电容100以及输入端子 25断开。电容60连接在电源150以及开关152之间的配线和接地之间，防 止由于电子器件20的动作引起电流Idd较大时的变动导致输入端子25的 端电压下降。电阻70设置在电容60与开关152之间的配线上，开关152 导通时，电源150的输出电压和输入端子25的端电压的差所对应的电流流 入电子器件20。电流测量部155是本发明涉及的第2电流测量部的一例，输入电阻70 两端的电压，测量电源150供给至输入端子25的电流。即，例如电流测量 部155,与4艮据电阻118的两端的电压来测量电流的电流测量部
子器件20的电流。以上所述的电流测量装置10中，测试控制部90控制以下所述电子器 件20的动作电流测试以及静止电流测试。在动作时测量流入电子器件20 的动作电流的动作电流测试中，测试控制部90控制开关控制部35以导通 开关152，断开开关170以及开关174，由电流测量部155来测量电源150 供给至输入端子25的电流，以作为动作电流。另一方面，在静止时测量流入电子器件20的静止电流的静止电流测试 中，测试控制部90，在静止电流测试的设定时间内，控制开关控制部35以 导通开关152、开关170、开关174、开关102、以及开关148,由电源150 供给的基准供给电压蓄积于电容100以及电容146，同时供给至电子器件 20。还有，电流测量一开始，测试控制部90便控制开关控制部35以断开 开关152、导通开关170以及开关174、断开开关102，依椐电容100上蓄 积的基准供给电压以及端电压，由电流测量部120来测量供给至电子器件 20的电流以作为静止电;;t又，测试控制部90也可在电流测量开始后经过 规定的时间后，断开开关148,依据电容146上蓄积的补正后的基准供给电 压以及端子电压，测量该电子器件20中已供应的电流以作为静止电流。根据以上所迷电流测量装置10，可以向电子器件2 0提儉农据电容100 和/或电容146上蓄积的基准供给电压以及端子电压的差的电流，可以降低 噪声电流。电流测量部120还能更高精度地测量电子器件20的流入电流。 还有，可对应于供给至电子器件20的电流来对基准供给电压进行补正，可 以向电压影响下的漏电电流发生变化的电子器件20提供稳定的电压。还 有，与电流测量中比较时，降低静止电流测试的设定时间中的端电压，可 以防止电子器件20的温度上升。图3示意本实施例涉及的开关152的构成。开关152设置在电源150 与输入端子25之间的配线，以及，开关102的没接电容100的一端和电源 150之间的配线的接点，与电源150的输出端子之间。开关152的两端有串 联的晶体管200和晶体管210。晶体管200设置于电源150的输出端子与所 述接点之间，成为断开状态时，截止从电源150输出端子侧流向接点侧的 电流。另一方面，即使是断开状态时，也一定程度的存在逆方向的电流。 晶体管210设置于电源150的输出端子与所述接点之间，断开状态时，截 止从接点侧流向电源150输出端子侧的电流。另一方面，即使是断开状态 时，也一定程度的存在逆方向的电流。依照以上所述开关152，在静止电流测试中可以防止双方向的与电流测 量部40之间的电流流动，可以高精度地测量流入电子器件20的供给电流。 还有，开关174可以采用与开关152同样的构成。如此，在动作电流测试 中可以防止在与电流测量部30之间的双向电流流动。
图4示意本实施例涉及的电流测量装置10的第1动作例。第1动作例示意高速模式的动作，对应于供给鸟电子器件20的供给电流的基准供给电压未进4亍补正，以实行高速测试。静止电流测试分为3个期间准备测量电子器件20的供给电流的测量 准备时间(设定时间)Tl、测量静止时电子器件20的供给电流Iddq的电 流测量rt间T2、以及恢复期间T3。在测量准备时间Tl内，测试控制部90使开关170 (Sla)、开关174 (Slb)、开关152 (S2a)、开关102 (S2b)、以及开关148 (S5)导通。如 此，电流测量部40输出的电压供给至电子器件20的同时,'储存于电容IOO 上。在本动作例中不对基准供给电压进行补正，所以静止电流测试的期间 中，开关141(S4)断开，开关144导通。还有，在本动作例中不进行电压 可变模式的动作，所以静止电流测试的期间中，开关163(S3)断开，开关 166导通。其结果，电压调整部160输出的设定电压Voff为0V。在测量准备时间Tl内，电流观，J量装置10向称为静止电流测试对象的 电子器件20供给测试信号序列使其成静止状态。伴随此动作，电子器件20 的耗费电流Idd也在变化。为此，电流测量部40,输入端子25供给对应电 子器件20所耗费的电流的电流Is，使端子电压Vdd稳定。电子器件20的设定完了，即开始电流测量期间T2。电流测量期间T2 开始时，断开开关152 (S2a)、开关102(S2b)、以及开关148(S5)。电流 供给部IIO可以向输入端子25提供依据电容100及电容146上储存的基准 供给电压以及输入端子25的端电压的差的电流。电流测量部120内的测量部124和/或测量部132,在电流测量期间T2 的给定时间，即，例如断开开关152 (S2a)、开关102(S2b)、以及开关148 (S5),之后，经过预先设定的期间，测量由内部的AD转换器输出的电压。 然后，根据测得的电压求得供给至电子器件20的静止电流的电流值。还有，在恢复期间T3中，重新导通开关152 (S2a)、开关102(S2b)、 以及开关148 (S5 ),电流测量部40重新向电子器件20供给电流。综上所述，如果电流测量部30开始电流供给，与电容100上储存的基 准供给电压比较，输入端子25的端电压可以只有电压AV1的下降。这里， 根据电子器件20的种类，有的具有当电源电压偏低，自动执行复位动作， 内部初始化的功能。在这样的电子器件2 0的测试中，如果在电流测量期间 T2，流过的电流很大，端子电压Vdd低于作为复位的基准的阈值电压且被 初始化。此时，例如流经电子器件20的电流Iddq降低，会发生把不良品 误判断为合格，以和作.为测试对象的电子器件20的内部状态不同的状态来 进行了测量等问题。另外，测量无效检出部180在电流测量期间T2中，电流测量部120所 测量的供给电流比预先设定的阈值电流大时，才全出该电流测量无效。还有，测量无效检出部180检出电流测量无效时，开关152 (S2a)导通，电源150 供给电流至电子器件20。这里，测量无效检出部180，通过比较差分运算 器122输出的测量电压Vim和电压源182输出的阈值电压，检出供给电流 比预先设定的阈值电流大。检出电流测量的无效时的动作如图4的点画线 所示。如此，能够在输入端子25比作为复位的基准的阈值电压还低之前，可 使电流测量部40向电子器件20供给电流，可以防止电子器件20被复位。图5示意电压补正模式的动作，为本实施例涉及的电流测量装置10的 第2动作例。首先，说明电压补正模式的原理。在流经电子器件20的电流依存于端子电压的情况下，端电压Vdd如果 变化，由测量部124或者测量部132所测量的静止电流也有变化。更具体地说，电容100上储蓄的理想端子电压为Vs、实际的端电压为 Vdd、电子器件20的静止电流中，设不依存端电压Vdd的电流为Iddl、依 存端电压Vdd的电流为Idd2、电子器件20中依存于端电压Vdd的电路的等 价电阻为RL，则以下公式成立。(式1 ) ( Va—Vb) =Vs . (l+G)-Vdd . (l+G)式中，Va为电阻118在差分放大器112側的端部电压，Vb为电阻118 在输入端子25侧的端部的电压。还有，G为差分放大器112的放大率，可 由电阻114的电阻值Rf和电阻113的电阻值Ri，通过G=Rf/Ri求得，。 这里，式1的左边，可以变形成以下的式2。 (式2 ) ( Va-Vb ) =Rm . (Iddl+Idd2)= Rm (Iddl+Vdd/RL) 式1的左边如式2变形，对Vdd求解，可得下式。 (式3 ) Vdd- Vs . (l+G) . XI- Iddl . Rm XI 式中，Xl-RL/(Rm+ RL . (l+G))这里，流经电子器件20的电流Idd完全依存电压的情况下，例如设 Vs=lV， Iddl=OA， Idd2=10mA， Rm=200Q, G=50时，RL=100Q ( =lV/10mA )。 将这些带入式3，得Vdd=0. 962V,可清楚地发生38mV的电压降。因此端电 压为理想值IV的时候的测量电流应为10mA (=Vs/ RL)，而实际上的测量电 流为9. 62 mA (=雨/ RL )。另外，在电压补正模式中，将对应于差分运算器122所输出的差分电 压的补偿电压加到基准供给电压上进行补正。更具体地说，加法器145将 差分运算器122的差分电压1/N2倍后加到基准供给电压Vs上进行补正。 这里的N2的设定方法如下所述。在式l中加入该补正后，可得下式。
(式4 ) ( Va-Vb) = (Vs . (Vs- Vb)/N2 ) . ( 1+G) -Vdd . (1+G) 由式4解Vdd,得下式。(式5 ) Vdd- Vs . (Vs- Vb) . (l- ( 1+G)/ N2 )) /(1+G) 在式5中如果设N2=G+1,则(Vs- Vb)即与Iddl以及Idd2的值无关而 变为Vdd-Vs。因此，加法器145通过对差分运算器122输出的差分电压进 行放大，放大率等于差分放大器112的放大率加1，再加到基准供给电压上 进行补正的方法而对端子电压进行补正。此时，补正部140检出较大的差、 分电压时，则对基准供给电压实行更高的补正，检出较小的差分电压时，^ 则对基准供给电压实行较小的补正。下面，就有关实行所述补正的电压补正模式的动作，重点说明与图4 的动作例的相异之处。首先，在测量准备时间Tl内，电流测量装置10进 行与图4的高速模式相同的设定(set-up)。电子器件20设定完了之后，开始电流测量期间T2。电流测量期间T2 开始时，开关152 (S2a)、以及开关102 (S2b)断开。以此，电容100可 以向加法器145供给储存的基准供给电压。还有，使开关141 (S4)导通， 开关144断开，电容143储存着差分电压。还有，开关148 (S5)保持导通 状态。然后，经过规定的时间后，电容143储存了差分电压，因此开关141 (S4)断开。如此，电容143可以将所储存的差分电压供给至加法器145。然后，开关141 (S4)断开后，加法器145，通过在电容100上储存的 基准供给电压上加上依据储存在电容143上的差分电压的补偿电压，得到 补正后的基准供给电压并输出。还有，经过规定的时间后，电容146上储 存了补正后的基准供给电压，使开关148断开(S5)。如此，电容146可以 向差分放大器112供给已储存的补正后的基准供给电压。电流供给部110向输入端子25供给电流，此电流依据储存在电容146 上的补正后的基准供给电压与输入端子25上的端电压的差而形成。如此， 电流供给部110可以使输入端子25上的端电压与电容100上储存的理想的 电压Vs大致为一致。以下与图4的动作例同样，测量电流值，实行恢复期间T3的动作。还 有，在本动作例，也由测量无效检出部180执行测量的无效检出。根据以上所示电压补正模式，通过在基准供给电压上加上对应于差分 电压的补偿电压，可以在使输入端子25的端电压接近理想值的状态下测量 静止电流。如此，可适当地测量依靠端电压之由消耗电流所变化的电子器 件20的静止电流。还有，电压补正模式中，针对电容143以及电容146来进行电压的储 存，从而，与高速模式比较下电流测量期间T2可能变长。这样的电流测量
装置IO,优选的是，根据电子器件20的特性来分开使用高速模式以及电压 补正模式。还有，电容IOO、电容146、电容143、以及电容165的电容量，应该 根据与它们对应的开关102、开关M8、开关141、以及开关163的最大断 开时间、这些开关断开状态下从电容流出的漏电流、以及，容许的电压变 动来确定。举一例，开关102的最大断开时间为lms，开关102断开状态下 >人电容100流出的漏电流为lnA,容许的电压变动为10|uv时，电容100的 电容量为lnA x lms/10 m V=0. 1 ja F。图6示意本实施例涉及的电流测量装置10的第3动作例，电压可变模 式的动作。本图的动作，除以下几点外与图4的动作略同，以下只对相异 点进行说明。-首先，在测量准备期间Tl，测试控制部90在电流测量中通过电流测量 部40以输出基准供给电压Vs,基准供给电压Vs在与供給至电子器件20的 理想电压比较下只低预先设定的偏'移电压Voff。该基准供给电压Vs,在测 量准备期间Tl中设定在电流测量装置IO可进行电子器件20的设定的范围 内。这样，电容100储存该基准供给电压Vs。电子器件20的设定完了之后，即开始电流测量期间T2。电流测量期间 T2开始时，开关152 (S2a)以及开关102 (S2b)断开。如此，电容100可 以向加法器145供给蓄积的基准供给电压Vs。然后，经过规定的时间后，测试控制部90使电压调整部160输出所述 的偏移电压Voff。其结果是加法器145将储存于电容100上的基准供给电 压Vs加上该偏移电压Voff所得到的调整后的基准供给电压Vs+Voff予以 输出。与此同时，输入端子25的端电压上升成为近似于电压Vs+Voff。这 里，测试控制部90可使电压调整部160输出的偏移电压可以不从0V直接 变化到Voff，而是阶梯式地从0V上升到最终值Voff。还有，可以通过设 定电阻164以及电容165的阻值以及电容j吏该偏移电压緩悛上升。然后，经过规定的时间后，测试控制部90断开开关148 (S5)。如此， 电容146可以向差分放大器112供给已蓄积的基准供给电压Vs+Voff 。以下，与图4的动作例同样，测量电流值，实行恢复期间T3的动作。 在该恢复期间中，电压调整部160通过使偏移电压回到0V,以降低电子器 件20的端电压。即使在本动作例中，测量无效检出部180也执行测量的无效检出。这 里，在电压可变模式中，电压调整部160输出该偏移电压后，到端电压上 升完了之间，需要随电压上升而向电容50以及电容119充电。因此，由电 流测量部30而来的供给电流一时地增加，会使差分运算放大器122的差分 电压比电压源182的阈值电压大。因此，测量无效;险出部180，在电压调整部160升高该偏移电压到端电压上升完了之间，不执行无效检出。为此，测量无效检出部180在开关148 (S5)断开为止之前，也可禁止无效检出。 依照以上说明的动作例，可以保持测量准备时间Tl时间内的端电压低 于测量准备时间T2时间内的端电压。如此，可以防止伴随设定期间中的 电子器件20的动作使电子器件20的温度上升，导致测得高的静止电流。还有，所述电压可变模式也可以与高速模式和/或电压补正模式共同使 用。此时，开关141 (S4)在端电压上升完了而稳定后，在开关148(S5) 断开前断开，由电容143供给对应于电流测量时的端电压的补偿电压。图7示意本实施例涉及的电流测量装置10的降噪声效果的仿真结果. 图7显示，设电容50为ljaF的情况下，专利文献l的构成的噪声增益(OLD (过去))与本实施例中的高速模式的电流测量部30'的噪声增益(NEW (本 实施例))。在过去的构成中，在差分放大器的输出和电子器件20之间并列设置的 电阻以及电容设为200Q、 0. OluF，在该电阻和电容到电子器件20之间再 设5Q的电阻，在过去的构成中，电压源的噪声与差分运算器输出的噪声共 同由差分运算器输出。另一方面，在本实施例的构成中，电容100为0. l]LiF，电阻113为1K Q,电阻114为40KQ，电阻118为200Q,电容119为0. 1 iaF,开关174 在导通时的电阻值为O.IQ。在本实施例的构成中，电容100上的电压没噪 声，电压随动器172和差分放大器112中发生噪声。还有，电压随动器l" 的噪声被G (=Rf/Ri=40)倍、差分放大器112的噪声被放大l+G (=41)倍 而输出。还有，电阻113的电阻值为Ri 、以及电阻114的电阻值为Rf， 由于Rf/Ri很大，Ri的噪声起支配作用。还有，电阻118的电阻Rm的噪声 未被放大。在以上的条件下，过去的构成以及本实施例的构成所生噪声增益的仿 真结果如图7所示。又，才艮据本仿真，电流测量中的电子器件20的电阻值 为IOOQ。还有，差分运算器122的输出，经过在lOKHz以下频带通过的低 通滤波器，以供给至测量部124或者差分^L大器130。如图7所示，根据本实施例涉及的电流测量装置10,与过去技术比较， 相对于通常发生的大约lOKHz以下的噪声，可以大幅降低在供给电流以及 测量电流中所生的噪声。还有，希望电阻113的电阻值，比差分放大器112的电压噪声换算成电 阻的热噪声后的值还小。即，例如差分放大器112的电压噪声为5nV/《Hz 时，如果将该电压噪声换算成电阻的热噪声，则可求得以下的电阻值Rx。 (式6) Rx=En . En/(4 . k . t)=5nVx 5nV/(4 x l. 38 x 10—"x 300) =1. 510KQ式中，k为波尔茨曼常数，t为使用环境的绝对温度。
这种情况，希望电阻113的电阻值Ri，比所述的Rx小。 以上以实施例对本发明进行了说明，本发明的技术范围不限于所述实 施例记载的范围，同行业人员知道可以在所迷实施例上加上多样的变更或 改良。加上这样的变更或改良的实施例也属于本发明的技术范围，已在权利要求中明确记载。产业上利用的可能性依照本发明，即使在电子器件的端子连接电源稳定化用的电容，也可 降低供给该端子的电流所生的噪声，以抑制该端子的电压变动。
权利要求
1.一种电流测量装置，测量电子器件从输入端接受的电流，特征在于包括第1电容，用于在电流测量中蓄积作为供给至所述电子器件的电压基准的基准供给电压、第1开关，在电流测量前，将电源连接到所述第1电容上，使其蓄积所述基准供给电压，在电流测量中从所述第1电容断开所述电源、电流供给部，在电流测量中，向所述电子器件提供依据所述第1电容上蓄积的所述基准供给电压及所述输入端子的端电压的电流、第1电流测量部，测量供给至所述电子器件的供给电流。
2. 如权利要求1所述的电流测量装置，其特征在于，所述电源供给部 具有第1差分放大器，放大所述基准供给电压与所述端电压的差，并使加 在所述基准供给电压上所得的电压输出、电阻，在所述第1差分放大器的输出和所述输入端子间连接所述电阻， 向所述输入端子供给依据所述第1差分放大器的输出电压及所述端电压之 差的所述供给电流。
3. 如权利要求2所述的电流测量装置，其特征在于，所述第1电流测 量部，具有差分运算器，输出从所述电阻中的所述第1差分放大器侧的输出电压 减去所述电阻中的所述输入端一侧的所述端电压所得的差分电压； 测量部，依据所述差分电压来测量所述供给电流。
4. 如权利要求3所述的电流测量装置，其特征在于，所述第1电流测 量部，还具有输出预先设定的测量用基准电压的电压源、和输出放大了所述差分电压及所述测量用基准电压的差所得的差分放大 电压的第2差分放大器；所述测量部根据所述差分放大电压来测量所述供给电流。
5. 如权利要求4所述的电流测量装置，其特征在f，、所述第1电流测 量部，还具有连接在所述电压源及所述第2差分放大器之间的低通滤波器。
6. 如权利要求3所述的电流测量装置，其特征在于，还具有补正部， 通过在所述基准供给电压上施加依据所述差分电压的补偿电压，以补正所 述基准供给电压；所述电流供给部，在电流测量中向所述电子器件供给依据被所述补正 部补正的所述基准供给电压以及所述端电压的电流。
7. 如权利要求6所述的电流测量装置，其特征在于，所述补正部具有 加法器，在所述基准供给电压上加上依据所述差分电压的所述补偿电压、 第2电容器，储存所述加法器的输出电压并向所述第1差分放大器输出。
8. 如权利要求7所述的电流测量装置，其特征在于，所述补正部还具 有第2开关，设在所述加法器的输出和所述第2电容之间，在电流测量开 始时预先设定的时间内所述加法器的输出连接所述第2电容器，以蓄积所 述加法器的输出电压，经过所述预先设定的时间后，将所述加法器的输出 和所述第2电容之间断开。
9. 如权利要求l所述的电流测量装置，其特征在于，还具有电源，在电流测量前对所述第1电容及所述输入端子供给所述基准供 给电压、 .第3开关，在电流测量中从所述第1电容和所述输入端子断开所述电源；电压调整部，在电流测量中，通过将所迷第1电容里储存的所述基准 供给电压上加上预先设定的偏移(offset)电压，提供给所述电流供给部， 与电流测量前的所述端子电压比较，提高了电流测量中的所述端子电压。
10. 如权利要求9所述的电流测量装置，其特征在于，所述第3开关 设置在所述电源和所述输入端子之间的配线、以及所述第1开关中的在没 有连接所述第1电容的端部，以及所述电源间的配线的接点，与所述电源 的输出端子之间，在所述电源的输出端子与所述接点之间，串联有第1晶体管和第2晶 体管，在断开时，第1晶体管使从所述电源的输出.端侧向所述接点侧输送 的电流截止、第2晶体管使从所述接点侧向所述电源的输出端侧输送的电 流截止。
11. 如权利要求IO所述的电流测量装置，其特征在于，还具有第4开关，设置在所述第3开关的所迷输入端子侧的端子和所述第1 差分放大器之间；第5开关，设置在所述电阻的所述输入端子侧的端部和所述输入端子之间；第2电流测量部，测量所述电源对所述输入端子提供的电流； 测试控制部，控制测量所述电子器件在工作时接受的工作电流的工作电流测试，和控制测量所述电子器件在静止中接受的静止电流的静止电流测试；所述测试控制部，在所述工作电流测试时，所述第3开关导通，所述第4开关及所述第5 开关断开，由所述第2电流测量部将所述电源对所述输入端子供给的电流 作为所述工作电流以进行测量；在所述静止电流测试时，所述第3开关断开，所述第4开关及所述第5 开关导通，由所述第1电流测量部将冲艮据所述第1电容蓄积的所述基准供 给电压及根据所述端子电压以向所述电子器件供给的电流作为所述静止电 流来进行测量。
12. 如权利要求1所述的电流测量装置，其特征在于，还具有测量无 效检出部，在电流测量中，当由所述第1电流测量部测量的所述供给电流 比预先i殳定的阈值电流大时，4企测出该电流测量为无效。
13. 如权利要求12所述的电流测量装置，其特征在于，还具有 电源，在电流测量前向所述第1电容以及所速输入端子提供所述基准供给电压、第3开关，在电流测量中将所述电源从所述第1电容以及所述输入端 子断开；所述 测量无效检出部在检测出所述电流测量无效时，所述第3开关导 通，以从所述电源向所述电子器件供给电流。
14. 一种测试装置，是测试电子器件的测试装置，其特征在于，具有 第1电容，用于在电流测量中蓄积作为供给至所述电子器件的电压基准的基准供给电压、第1开关，电流测量前，连接电源与所述第1电容，蓄积所述基准供 给电压，在电流测量中辨所述电源从所述第1电容断开、电流供给部，在电流测量中，所述电流供给部向所述电子器件提供依 据所述第1电容上蓄积的所迷基准供给电压，以及所述电子器件的输入端 子的端电压的电流、以及第1电流测量部，测量提供给所述电子器件的供给电流。
15. —种电流测量方法，是测量电子器件从输入端接受的电流的方法， 包括以下几个阶段基准供给电压蓄积阶段，在第1电容上蓄积基准供给电压，其作为电 流测量中向所述电子器件供给的电压的基准；控制第1开关的阶>^,控制第1开关以使在电流测量前将电源与所述 第1电容连接，蓄积所述基准供给电压，在电流测量中将所述电源与所述 第1电容断开；电流供给阶段，在电流测量中，向所述电子器件供给依据所述第1电第1电流测量阶段，测量供给至所述电子器件的供给电流。
16. —种测试方法，是测试电子器件的测试方法，包括以下阶段 基准供给电压蓄积阶段，在第1电容上蓄积基准供给电压，其作为电 流测量中向所述电子器件供给的电压的基准；第1开关控制阶段，控制第1开关以使在电流测量前将电源与所述第1 电容连接，以蓄积所述基准供给电压，在电流测量中将所述电源从所述第1 电容断开；电流供给阶段，在电流测量中，向所述电子器件供给依据所述第1电 流；以及第1电流测量阶段，测量提供给所述电子器件的供给电流。
全文摘要
本发明提供一种电流测量装置，测量电子器件由输入端所接受的电流，该电流测量装置包括第1电容，用于蓄积在电流测量中作为供给所述电子器件的电压基准的基准供给电压、第1开关，在电流测量前，将电源连接到所述第1电容上，使其蓄积所述基准供给电压，在电流测量中从所述第1电容断开所述电源、电流供给部，在电流测量中，向所述电子器件提供依据所述第1电容上蓄积的所述基准供给电压及所述输入端子的端电压的电流、第1电流测量部，测量供给所述电子器件的供给电流。
文档编号G01R31/28GK101128742SQ20068000606
公开日2008年2月20日 申请日期2006年2月22日 优先权日2005年2月25日
发明者桥本好弘 申请人:爱德万测试株式会社