导电性接触器单元及导电性接触器的制作方法

专利名称：导电性接触器单元及导电性接触器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种导电性接触器单元及导电性接触器，其在对液晶面 板或半导体集成电路等的电子零件进行导通状态检查或动作特性检査时 与该电子零件的电极或端子接触来进行电信号的发送接收。
背景技术：
以往，在有关半导体集成电路等检査对象的电气特性检查的技术领 域，公知有按照对应半导体集成电路的连接端子的方式配设多个导电性 接触器并且使导电性接触器物理性地接触连接端子从而具有确保电导通 功能的导电性接触器单元相关的技术。该导电性接触器单元的构造是至 少具备多个导电性接触器、及保持导电性接触器的导电性接触器保持件。 此种导电性接触器单元中，为了能够对应与作为检査对象的半导体集成 电路等的微细化倾向相伴的连接端子排列间隔的狭小化，提出了使多个 导电性接触器的排列间隔狭小化的各种技术方案。
例如，就实现排列间隔狭小化的导电性接触器而言，提出了一种将 与检查对象等接触的接触部及对该接触部施以弹压的弹性部由板状导电 性材料形成为一体的构造的方案。该技术中，通过将板状导电性接触器 沿板厚方向排列而在狭小区域配置多个导电性接触器，在理论上是可能 的，因此可实现与检查对象所具备的连接端子的排列间隔狭小化对应的 导电性接触器(参照例如专利文献l)。日本特开2001—3"397号公报

发明内容
上述具备板状导电性接触器的现有的导电性接触器单元，具有在导 电性接触器保持件形成导引孔且将导电性接触器收纳在该导引孔的构造。此时，由与导电性接触器的个数对应的导引孔的排列间隔来规定导 电性接触器的排列间隔，但是，就导引孔而言，按照作为形成对象的导 电性接触器保持件的物理性强度等的条件，其形成间隔的最小值被限制。 因此，尽管导电性接触器本身具有适于排列间隔狭小化的构成，但由于 未针对导电性接触器保持件的构造施以充分的对策，因此就导电性接触 器单元整体来看，有难于使导电性接触器的排列间隔狭小化的情形。
而且，在利用现有的导电性接触器单元进行检查时，希望进行操作 的操作者可目视导电性接触器前端和检査对象的接触，但是现有的导电 性接触器单元的情形，从上方观看之际，下方侧的导电性接触器前瑞比 导电性接触器保持件侧面更位于内侧的位置，因此在观察导电性接触器 前端部附近的与检查对象的接触状况时，操作者本身必须以弯曲姿势等 窥视接触部位附近，随着观察次数的增加，对操作者的负担也变大。
再有，现有的导电性接触器单元中，导电性接触器前端是沿与弹性
体伸縮方向大致平行的方向产生行程(stroke),因此存在无法充分去除形
成在检査对象表面的氧化膜或附着在该表面的污物等就无法获得稳定的 电接触的情形。此时，也有对导电性接触器施加过度的负载之虞。
本发明是监于上述课题而作成的，其目的在于提供一种不仅可对应 排列间隔的狭小化，并且与检査对象的接触状况从上方也易于目视，在 不施加过度的负载的状态下也可获得稳定的电接触的导电性接触单元及 导电性接触器。
为了解决上述课题以达成目的，本发明的导电性接触器单元收纳与 电路构造之间分别进行电信号的输出入的多个导电性接触器，使得不同
的电路构造间电连接，其特征在于，具备导电性接触器保持件，具有
多个第1导引沟及多个第2导引沟，该第1导引沟将上述导电性接触器 的长度方向的一方缘端部以滑动自如的方式嵌合保持，该第2导引沟与
第1导引沟相对向配置且将嵌入上述第1导引沟的上述导电性接触器的
另一方缘端部以滑动自如的方式嵌合保持；呈板状的多个上述导电性接
触器，其分别具有第1接触部，与上述不同的电路构造的任一个物理性接触、第2接触部，与上述第1接触部所接触不同的电路构造物理性 接触、弹性部，介于上述第1接触部与上述第2接触部之间且沿其长度 方向伸縮自如、第1连接部，连接上述弹性部与上述第1接触部、和第2 连接部，连接上述弹性部与上述第2接触部，且形成有沿厚度方向贯通的开口部，在收纳于上述导电性接触器保持件时从上述第2导引沟的端 部向上述导电性接触器保持件的外部突出；和棒状构件，贯通在多个上 述导电性接触器分别具有的上述第2连接部所形成的上述开口部，且固 接于上述导电性接触器保持件。再有，本发明的导电性接触器单元，其特征在于，在上述发明中， 上述导电性接触器具有的上述第2接触部的至少的一部分，与上述导电 性接触器保持件外侧面即在内侧形成有上述第1导引沟部分的外侧面相 比，沿该外侧面的法线方向突出。再有，本发明的导电性接触器单元，其特征在于，在上述发明中， 当上述第2接触部和上述不同的电路构造的任一个物理性接触时施加在 上述第2接触部的负载的方向，与上述第1导引沟及上述第2导引沟分 别延伸的方向交叉。再有，本发明的导电性接触器单元，其特效在于，在上述发明中， 上述棒状构件在垂直于其长度方向的剖面积，比上述导电性接触器所形 成的上述开口部的面积小。本发明的导电性接触器，使不同的电路构造间电连接，且与各电路构造之间进行电信号的输出入，其特征在于具备第1接触部，与上 述不同的电路构造的任一个物理性接触；第2接触部，与上述第1接触 部所接触不同的电路构造物理性接触；弹性部，介于上述第1接触部与 上述第2接触部之间，且沿其长度方向伸縮自如；第1连接部，连接上 述弹性部与上述第1接触部；及第2连接部，连接上述弹性部与上述第2 接触部，且形成有在厚度方向贯通的开口部；上述第2接触部比上述第2 接触部的宽度方向的缘端部更沿该宽度方向突出。[发明的效果]根据本发明的导电性接触器单元，其具备导电性接触器保持件，具有多个第1导引沟及多个第2导引沟，该第1导引沟将导电性接触器 的长度方向的一方缘端部以滑动自如的方式嵌合保持，该第2导引沟与 第1导引沟相对向配置且将嵌入上述第1导引沟的上述导电性接触器的另一方缘端部以滑动自如的方式嵌合保持；呈板状的多个上述导电性接触器，其分别具有第1接触部，与上述不同的电路构造的任一个物理 性接触、第2接触部，与上述第1接触部所接触不同的电路构造物理性接触、弹性部，介于上述第1接触部与上述第2接触部之间且沿其长度 方向伸縮自如、第1连接部，连接上述弹性部与上述第1接触部、和第2 连接部，连接上述弹性部与上述第2接触部，且形成有沿厚度方向贯通 的开口部，在收纳于上述导电性接触器保持件时从上述第2导引沟的端 部向上述导电性接触器保持件的外部突出；和棒状构件，贯通在多个上 述导电性接触器分别具有的上述第2连接部所形成的上述开口部，且固 接于上述导电性接触器保持件，由此，不仅可应对排列间隔的狭小化， 并且与检查对象的接触状况从上方也可易于目视，在不施加过度的负载 的情形下也可获得稳定的电接触。而且，根据本发明的导电性接触器，具备第1接触部，与上述不 同的电路构造的任一个物理性接触；第2接触部，与上述第1接触部所 接触不同的电路构造物理性接触；弹性部，介于上述第1接触部与上述 第2接触部之间，且沿其长度方向伸縮自如；第1连接部，连接上述弹 性部与上述第1接触部；及第2连接部，连接上述弹性部与上述第2接 触部，且形成有在厚度方向贯通的开口部；上述第2接触部比上述第2 接触部的宽度方向的缘端部更沿该宽度方向突出，由此，不仅可应对排 列间隔的狭小化，并且在由导电性接触器保持件保持时与检查对象的接 触状况从上方也可易于目视，在不施加过度的负载的情形下也可获得稳 定的电接触。


图1是表示本发明实施方式1的导电性接触器单元的构成的立体图。 图2是本发明实施方式1的导电性接触器的构成的示意图。 图3是导电性接触器保持件的上面部的局部放大立体图。图4是本发明实施方式1的导电性接触器单元的内部构成的示意图。 图5是表示在导电性接触器保持件的上方安装有与检査用电路连接的电路基板的状态的局部放大图。图6-l是本发明实施方式l的导电性接触器单元与检查对象刚接触后的状态的示意图。图6-2是相对于本发明实施方式l的导电性接触器单元使检查对象上升到检查时的位置之际的状态的示意图。图7是本发明实施方式2的导电性接触器的构成的示意图。图8是本发明的实施方式2的导电性接触器单元的内部构成的示意图。图9是相对于本发明实施方式2的导电性接触器单元使检査对象上 升到检查时的位置之际的状态的示意图。图中1、 10导电性接触器单元2、 5 导电性接触器3、 6导电性接触器保持件 3a、 6a上面部3b、 3c、 6c侧面部 3d、 6d底面部4、 7棒状构件21、 51第1接触部22、 52第2接触部23、 53弹性部24、 54第1连接部25、 55第2连接部26、 56开口部 31、 61保持部31a、 61a第1导引沟 31b、 61b第2导引沟 32 固接用孔部100 电路基板101 固定构件 200、 300检査对象 Pl、 P3 初始接触点 P2、 P4 最终接触点 A, 偏离量5" 52、 h突出量具体实施方式
以下，参照附图对用于实施本发明的优选方式(以下称为"实施方式") 进行说明。此外，图式是示意性的，应注意各部分厚度和宽度的关系、 各部分厚度比率等也有与实际者不同的情形，图式相互间当然也包含彼 此的尺寸关系或比率不同的部分的情形。(实施方式1)图1是表示本发明实施方式1的导电性接触器单元的构成的立体图。 图1所示的导电性接触器单元1是进行作为检查对象的液晶面板等电路 构造的导通状态检査或动作特性检査的单元，其具备多个导电性接触器 2、用于收纳保持多个导电性接触器2的导电性接触器保持件3、和与导 电性接触器保持件3固接以支承多个导电性接触器2的棒状构件4。首先，说明导电性接触器2。图2是本实施方式1的导电性接触器2 的构成的示意图。以下说明中，分别将图2中的垂直方向称为"导电性接 触器2的长度方向"、将图2中的水平方向称为"导电性接触器2的宽度方 向"、将与该等长度方向和宽度方向正交的方向称为"导电性接触器2的板厚(厚度)方向"。图2所示的导电性接触器2用于确保不同的电路构造间的电连接， 其具备第1接触部21，与预定的电路构造(具体而言是包含检査用电 路的电路构造)物理性接触；第2接触部22，与不同于第1接触部21所 接触的电路构造(具体而言是液晶面板等检查对象)物理性接触；弹性 部23，介于第1接触部21及第2接触部22之间，且在长度方向自由伸縮；第1连接部24，具有与弹性部23相同的宽度及厚度，且连接第l接 触部21及弹性部23;和第2连接部25，具有与弹性部23相同的宽度及 厚度，且连接第2接触部22及弹性部23，并形成有在板厚方向贯通的开 口部26。第2接触部22比第2连接部25宽度方向的缘端部在该宽度方 向更突出。该导电性接触器2通过利用导电性材料被形成为板状。此外，在导电性接触器2表面的局部或全部形成绝缘层也可。而且， 第1连接部24及第2连接部25也可具有与弹性部23不同的宽度及/或 厚度。接着，说明导电性接触器保持件3。导电性接触器保持件3如第1图 所示那样，具有保持部31，为大致长方体状的外观形状，贯通上面部 3a和底面部(图1中未图示)，保持多个导电性接触器；及固接用孔部32， 介由保持部31在彼此对向的侧面部3b的预定位置分别形成，固接棒状 构件4的端部。图3是导电性接触器保持件3的上面部3a的局部放大立 体图。如图3所示，在保持部31形成多对的第l导引沟31a和第2导引 沟31b，该第1导引沟31a是直线状的，在装设导电性接触器2时，将该 导电性接触器2的宽度方向的一方缘端部以自由滑动方式嵌合保持；该 第2导引沟31b是直线状的，与该第1导引沟31a相对向配置，将嵌入该 第l导引沟31a的导电性接触器2的宽度方向的另一方缘端部以自由滑动 方式嵌合保持。成对的第1导引沟31a及第2导引沟31b不仅具有将导电 性接触器2在与长度方向垂直的面方向进行定位的功能，并且具有对导 电性接触器2的伸縮动作进行导引的功能。而且，成对的第1导引沟31a 及第2导引沟31b中相邻之对彼此的间隔完全相等且相互平行。第1导引沟31a及第2导引沟31b各自不仅具有相同的沟宽度(设定 为w)且具有相同的沟深度(设定为d)。其中的沟深度只要导电性接触 器2在不脱离的状态下可确实地保持即可，其意味着第1导引沟31a的沟 深度和第2导引沟31b的沟深度当然也可以不同。图4是包含导电性接触器保持件3的保持部31内部构成的导电性接 触器单元1的内部构成的示意图。图4所示的导电性接触器保持件3与 图3的A-A线剖面相当。如图4所示，第1导引沟31a及第2导引沟31b 具有沿图4的z轴方向(与沟宽度方向垂直的方向)相互平行地延伸的构造。第1导引沟31a沿图4的z轴方向延伸的长度比第2导引沟沿相同z 轴方向延伸的长度更短，第2导引沟31b到达导电性接触器保持件3的 底面部3d为止，但第1导引沟31a仅到达比底面部3d更靠近垂直上方的 位置。具有以上构成的导电性接触器保持件3,将导电性接触器2按照在图 l及图4所示的座标系统(xyz)中宽度方向与X轴方向平行、板厚方向 与y轴方向平行、长度方向与z轴方向平行的方式保持。因而，导电性接 触器2具有比第1导引沟31a及第2导引沟31b的沟宽度(w)略小的板 厚。而且，导电性接触器2的长度方向的长度被形成得开口部26可由 棒状构件4贯通；且在第1接触部21及第2接触部22不施加负载的状 态下(图4所示的状态)，第2接触部22的前端比导电性接触器保持件3 的侧面部3c更朝x轴方向突出预定量(将突出量设定为5,);且其前端从 底面部3d朝z轴负的方向突出预定量(将突出量设定为h)。而且，第2 接触部22形成在从平行于弹性部23或第1连接部24的长度方向的对称 轴O偏离预定距离的位置(将偏离量设定为A》。突出量&及h、以及偏 离量A1是依据导电性接触器2或导电性接触器保持件3的大小、须施加 到检查对象的负载等条件来适当决定的。就导电性接触器保持件3而言，从防止其与导电性接触器2电连接 而产生短路的观点来看，优选由绝缘性材料形成。试举一例，利用低热 膨胀的合成树脂来形成导电性接触器保持件3，并通过切割等形成第1导 引沟31a及第2导引沟31b即可。另夕卜，也可由例如氧化铝(A1203)、氧 化铅(Zr03)、 二氧化硅(Si02)等陶瓷、硅、环氧等热硬化性树脂、聚 碳酸酯等工程塑胶等来形成导电性接触器保持件3的母材，通过蚀刻等 加上技术形成第l导引沟31a及第2导引沟31b。而且，也可利用其他适 当材料(不论有无绝缘性)来形成母材，并对能与导电性接触器2接触 的部分(包含第1导引沟31a和第2导引沟31b的部分)涂布适当的绝缘 性涂料的构成，取代利用绝缘性材料来形成导电性接触器保持件3。棒状构件4在多个导电性接触器2装设于保持部31且贯通各导电性 接触器2的开口部26之后，其两端部插通分别形成于导电性接触器保持 件3的相互对向的侧面部3b的固接用孔部32，被固接于导电性接触器保持件3。棒状构件4通过一次贯通由保持部31所保持的多个导电性接触器2的开口部26就不仅发挥防止导电性接触器2从保持部31脱落的功 能，并且发挥对导电性接触器2赋予初期挠曲的功能。棒状构件4在垂直于其长度方向的剖面，为长方形的角倒角后的形 状，其面积比导电性接触器2所具有的开口部26的面积小。通过形成此 种剖面形状，可使对导电性接触器2形成固接用孔部32时的加工变得容 易。而且，通过形成上述剖面形状，可使施加负载于导电性接触器2时 的导电性接触器2的动作顺畅，也可确保施加预定负载于导电性接触器2 时的棒状构件4的支承稳定性。再有，使导电性接触器2接触检査对象 时，开口部26会从棒状构件4分离，可相对于棒状构件4自由移动。结 果如后所述，导电性接触器2可产生微小的旋转。此外，棒状构件4在垂直于其长度方向的剖面形状不限于上述者， 也可为例如多角形或正方形等，也可为圆形。固接用孔部32的形状当然 也可随着棒状构件4的剖面形状而改变。具有以上构成的棒状构件4也由绝缘性材料形成。就该棒状构件4 而言，鉴于贯通多个导电性接触器2的开口部26以支承这些所有的导电 性接触器2，所以特别优选由刚性高且施加负载而挠曲也少的陶瓷等绝缘 性材料形成。图5表示在导电性接触器保持件3上方安装有电路基板的状态的局 部放大图，其中该电路基板用于确立与产生输出检查用信号的信号处理 电路的电连接，为便于比较，利用1点划线图示图4所示的导电性接触 器2的位置。图5所示的电路基板100，在聚酰亚胺等所构成的片状基材 的一方表面，形成有镍等所构成的多数配线及连接用的电极。图5中图 示了以下状态，即按照电路基板100的电极与导电性接触器2的第1接 触部21接触的方式进行定位，由与导电性接触器保持件3同样的材料所 构成的固定构件101及导电性接触器保持件3，挟持电路基板100并使其 固定的状态。将电路基板100固定在导电性接触器单元1时，利用螺丝 等将导电性接触器保持件3和固定构件101锁紧即可(未图示)。由此在 从图4所示的状态变到图5所示的状态的情况下，对各导电性接触器2 施加起因于其本身所作用的重力以外的力量的负载(初始负载)，各弹性部23沿长度方向收縮。电路基板100的另一端如上所述与信号处理电路(未图示)连接， 与第2接触部22所接触的检査对象之间进行电信号的接受发送。此外， 图5中，使导电性接触器2接触电路基板100，但取代之，也可设计成使 信号输出电路的连接用端子直接接触导电性接触器2的构成。现有的导电性接触器单元，利用平板状盖构件以对导电性接触器赋 予初始负载，但利用该盖构件时，必须使导电性接触器前端的接触部的 突起量增加该盖构件的厚度，因此，存在着在施加负载时不稳定部分所 占的比例变大使得前端附近容易弯曲的问题。本实施方式1的导电性接 触器单元l不使用盖构件，因此没有产生上述问题之虞，可将第1接触 部21形成得明显比以往小。接着，关于导电性接触器单元1和检査对象的接触形态进行说明。 图6-1是检査对象200刚接触导电性接触器的第2接触部22后导电性接 触器2下端部附近的状态的示意图。此外，图6-2是使检查对象200上升 到检査时的位置之际导电性接触器2下端部附近的状态的示意图。图6-2 中，为便于比较，由1点划线图示刚接触后的导电性接触器2的位置。第2接触部22的前端，如参照图4所说明那样，从弹性部23或第1 连接部24的长度方向的对称轴(中心轴)O偏离A,。因此，作用在检査 对象200所接触的第2接触部22前端部的负载的作用线并未通过导电性 接触器2的重心，而使力矩产生于导电性接触器2。结果，从图6-l所示 的状态变为图6-2所示的状态之间，弹性部23收縮且开口部26从棒状构 件4离开，且通过上述力矩使导电性接触器2微小地旋转。就该旋转而 言，由于弹性部23的宽度方向的缘端部和第1导引沟31a及第2导引沟 31b之间存在有微小隙间，所以可产生。由于上述旋转，第2接触部22在图6-2中沿顺时钟方向旋转微小角 度，且在持续与检査对象200的接触状态的同时在检査对象200表面上 移动。更具体而言，第2接触部22的前端从初始接触点P,到最终接触点 P2为止， 一面在检查对象200上滑行刮过， 一面沿x轴向移动x, (>0)。 如此，通过第2接触部22前端在检查对象200上移动，去除形成在检査 对象200表面的氧化膜或附着在其表面的污物，就可获得与检査对象200之间稳定的电接触。此时，若适当地控制检查对象200的移动速度(上升速度)，则第2接触部22前端不会对检査对象200表面造成大损伤， 对导电性接触器2也不会施加过度的负载就可完成，因此更为优选。以上说明的导电性接触器单元1，以局部嵌入沿着导电性接触器2的 弹性部23的伸縮方向延伸的第1导引沟31a及第2导引沟31b的状态， 保持导电性接触器2。因此，可防止产生板状导电性接触器2特有的问题， 也即可防止弹性部23收縮时的压曲及扭曲，而不会发生起因于上述压曲 及扭曲的产生造成弹性部23的弹簧特性劣化。因而，即使对导电性接触 器2在适当范围内施加一定以上的负载，也不会产生压曲或扭曲，可实 现大冲程，从而可在与检査对象200之间获得所希望的接触状态。而且，在导电性接触器单元l中，由第1导引沟31a及第2导引沟 31b保持导电性接触器2，因此，可减少导电性接触器2和导电性接触器 保持件3 (的保持部31)之间的接触面积并减少滑动阻力，而可顺利地 进行导电性接触器2的伸縮动作。再有，在导电性接触器单元l中，第1导引沟31a及第2导引沟31b 的沟宽度(w)为与导电性接触器2的板厚相同程度的值即可，彼此邻接 的第1导引沟31a之间及第2导引沟31b之间的各间隔，只要是可充分确 保邻接的导电性接触器2之间的绝缘性的值，就可为任意小的值。因而， 可使多个导电性接触器2的排列间隔狭小化，可充分地应对接触对象的 电路构造所具有的连接用电极或端子的排列间隔的狭小化。此外，在导电性接触器单元1中，通过将棒状构件4贯通导电性接 触器2，对导电性接触器2赋予初期挠曲，并防止导电性接触器2的脱落。 结果，可使第2接触部22的前端即导电性接触器2的下端从导电性接触 器保持件3的底面部3d沿铅直下方突出的突出量h变小。换言之，在导 电性接触器单元l中，可使第2接触部22变小，因此可防止导电性接触 器2前端的弯曲，且稳定地保持导电性接触器2。结果，可抑制导电性接 触器2在下端部附近从第l导引沟31a及/或第2导引沟31b脱落。结果， 可使导电性接触器2的位置精确度提高，并可提高导电性接触器单元1 的可靠性及耐久性。而且，在组装导电性接触器单元1时将导电性接触器2收纳于保持部31的步骤，通过把第1接触部21之侧先插入保持部31的内部且将宽
度方向的缘端部嵌入第1导引沟31a及第2导引沟31b而完成。因而，与 以往的导电性接触器单元相比，其组装容易，也可获得制造成本降低的效果。
根据以上说明的本发明实施方式1的导电性接触器单元，具备导 电性接触器保持件，具有多个第1导引沟及多个第2导引沟，该第1导 引沟将上述导电性接触器的长度方向的一方缘端部以滑动自如的方式嵌
合保持，该第2导引沟与第1导引沟相对向配置且将嵌入上述第1导引 沟的上述导电性接触器的另一方缘端部以滑动自如的方式嵌合保持； 呈板状的多个上述导电性接触器，其分别具有第1接触部，与上述不 同的电路构造的任一个物理性接触、第2接触部，与上述第1接触部所 接触不同的电路构造物理性接触、弹性部，介于上述第1接触部与上述 第2接触部之间且沿其长度方向伸縮自如、第1连接部，连接上述弹性 部与上述第1接触部、和第2连接部，连接上述弹性部与上述第2接触 部，且形成有沿厚度方向贯通的开口部，在收纳于上述导电性接触器保 持件时从上述第2导引沟的端部向上述导电性接触器保持件的外部突出； 和棒状构件，贯通在多个上述导电性接触器分别具有的上述第2连接部 所形成的上述开口部，且固接于上述导电性接触器保持件。并且，上述 导电性接触器所具有的上述第2接触部的至少一部分，比上述导电性接 触器保持件的侧壁的外面即在该侧壁的内侧形成有上述第1导引沟的部 分的外侧面，更沿该外侧面的法线方向突出，由此，不仅可应对排列间 隔的狭小化，并且与检查对象的接触状况从上方也可易于目视，不施加 过度的负载也可获得稳定的电接触。
而且，根据本实施方式1的导电性接触器，具备与不同的电路构 造的任一个物理性接触的第1接触部；与上述第1接触部所接触不同的 电路构造物理性接触的第2接触部；介于上述第1接触部和上述第2接 触部之间且沿其长度方向自由伸縮的弹性部；连接上述弹性部和上述第1 接触部的第1连接部；及连接上述弹性部和上述第2接触部且形成有在 厚度方向贯通的开口部的第2连接部；上述第2接触部比上述第2连接 部宽度方向的缘端部更沿该宽度方向突出，由此，不仅可应对排列间隔的狭小化，并且在由导电性接触器保持件保持时与检査对象的接触状况 从上方也易于目视，不施加过度的负载也可获得稳定的电接触。
如此，根据本实施方式l，在实际检查时，导电性接触器单元来自上 方的目视或显微镜的观察易于进行， 一面确认导电性接触器前端和检査 对象的物理性接触， 一面进行检查作业，因此，操作者不须姿势弯曲来 观察导电性接触器和检査对象的接触状况。因而，可进一步提高检查的 作业性、可靠性，并减轻操作者的负担。
此处，列举适于检査对象200为液晶面板的场合的导电性接触器单
元1的一实施例。此实施例中，导电性接触器2设定为板厚20pm、宽 2.7mm、长15mm。导电性接触器保持件3大约可收纳400片具有上述尺 寸的导电性接触器2，且第1导引沟31a及第2导引沟31b的沟宽度w设 定为30pm、沟深度d为15(Hmi。棒状构件4的全长为大约28mm，与该 长度方向垂直的剖面形状设定为0.8mmxl.5mm的大致长方形(有倒角)。 将第2接触部21前端从侧面部3c突出的突出量S,设为0. 4mm、将第2 接触部21前端从弹性部23及第1连接部24的对称轴偏离的偏离量A1 设为2.2mm、将第2接触部22前端部从导电性接触器保持件3的底面部 3d突出的突出量h设为0.4mm。
通过如上所述构成导电性接触器单元1，可将导电性接触器2的弹性 常数设定为大约0.01g/pm，且能在500pm的挠曲下产生5g的负载。该 值是与针型导电性接触器同等的值，就形成薄板状的导电性接触器2而 言，实现了相当大的负载、大冲程。而且，利用具有上述尺寸的导电性 接触器单元l，使导电性接触器2接触检查对象200，并施加预定负载， 其结果，在检查对象200表面产生大约70pm的刮痕。由此，可知不会过 度地损伤检査对象200，可确实地去除形成在其表面的氧化膜或附着在其 表面的污物。
(实施方式2)
图7是本发明实施方式2的导电性接触器的构成的示意图。以下说 明中，分别将图7中的铅直方向称为"导电性接触器5的长度方向"、将图 7中的水平方向称为"导电性接触器5的宽度方向"、将与该等长度方向和宽度方向正交的方向称为"导电性接触器5的板厚(厚度)方向"。
图7所示的导电性接触器5用于确保不同的电路构造间的电连接， 其具备第1接触部51，与预定的电路构造(具体而言是包含检查用电
路的电路构造)物理性接触；第2接触部52，与第1接触部51所接触不 同的电路构造物理性接触(具体而言是液晶面板等检査对象)；弹性部53， 介于第1接触部51及第2接触部52之间，且沿长度方向自由伸缩；第1 连接部54，具有和弹性部53相同的宽度及厚度，且连接第1接触部51 及弹性部53;及第2连接部55，具有和弹性部23相同的宽度及厚度， 连接第2接触部52及弹性部53，且具有在板厚方向贯通的开口部56。 该导电性接触器5利用导电性材料形成为板状，除了第2接触部52及第 2连接部55之外的各部分的形状，与上述实施方式1的导电性接触器2 所对应的部位的形状相同。
导电性接触器5的第2接触部52的前端是形成在从第1连接部54 经由弹性部53到达第2连接部55的宽度方向缘端部的终端位置(图7 中最下端)。其意味着本实施方式2的导电性接触器5中，第2接触部52 并未比第2连接部55更朝宽度方向突出。
图8是本实施方式2的导电性接触器单元的构成的示意图。图8所 示的导电性接触器单元10用于进行作为检查对象的液晶面板等的电路构 造的导通状态检査或动作特性检查，具备具有上述构成的多个导电性 接触器5;导电性接触器保持件6，用于收纳保持多个导电性接触器5; 及棒状构件7，贯通多个导电性接触器5所形成的开口部56，与长度方 向垂直的剖面积比开口部56小，且两端固接在导电性接触器保持件6。
导电性接触器保持件6具备保持部61 ，其是从上面部6a沿预定方向 贯通导电性接触器保持件6内部以保持多个导电性接触器5。该保持部
6i的贯通方向相对于图8的铅直方向(z轴向)倾斜预定角e。换言之，
导电性接触器保持件6所保持的导电性接触器5的第1接触部51及弹性 部53的对称轴(中心轴)O'指向的方向，相对于图8的z轴向倾斜角度
e。该倾斜角e的值至少有大约1度即可。
在保持部61形成有多对第1导引沟61a和第2导引沟61b，该第1 导引沟61a是直线状的，在装设导电性接触器5时将该导电性接触器5的宽度方向的一方缘端部以自由滑动方式嵌合保持；该第2导引沟61b 是直线状的，与该第1导引沟61a相对向配置，将嵌入该第l导引沟61a 的导电性接触器5的宽度方向的另一方缘端部以自由滑动方式嵌合保持， 且沟底面延伸的方向的长度比第1导引沟61a更长。成对的第1导引沟 61a及第2导引沟61b具有使导电性接触器5在与该长度方向垂直的面方 向定位的功能，并具有导引导电性接触器5伸縮动作的功能。而且，第l 导引沟61a及第2导引沟61b形成的对彼此中的邻接的对彼此之间隔完全 相等，且相互平行。此外，导电性接触器保持件6与上述实施方式1的 导电性接触器保持件3同样，具有插通棒状构件而固接的固接用孔部， 但未图示。
在具有以上构成的导电性接触器单元10中，第2接触部52和检查 对象物理性接触时施加在该第2接触部52的负载的方向(图8的z轴方 向)，与第1导引沟61a及第2导引沟61b各自延伸的方向交叉形成角度 9 (>0)，由此决定与检査对象的位置关系。因此，第2接触部52前端比 第1导引沟61a外侧面即侧面部6c更朝x轴方向突出(突出量为52)。因 而，从图8斜左上方的位置可看见第2接触部52的前端，可容易地观察 导电性接触器5的前端和检査对象的接触，因此操作者在检査时不须以 弯曲姿势来观察接触状态。
图9是使检查对象300接触导电性接触器单元10的状态的示意图。 在图9中，将图8的下端部附近放大，为便于比较，以1点划线图示检 查对象300刚接触第2接触部52前端后的状态。其意味着图9是对应于 图6-2的图式。
如图9所示，在检査对象300以接近底面部6d的方式沿着z轴方向 上升而接触第2接触部52的前端时，对第2接触部52的前端施加具有 图9中的z轴方向的朝向的负载(换言之，从第2接触部52对检查对象 300施加朝向图9的z轴负方向的负载)。由于该负载的作用线并未通过 导电性接触器5的重心，因此在导电性接触器5会产生力矩。结果，通 过从检查对象300施加负载使得弹性部53收縮且开口部56从棒状构件7 离开，从而，通过上述力矩使导电性接触器5微小地旋转，在检查对象 300的表面上沿x轴方向移动。由于上述旋转，第2接触部52在图9中沿顺时钟方向旋转微小角度， 从初始接触点P3到最终接触点P4为止， 一面在检查对象300上刮过，一 面沿x轴向移动X2 (>0)。因而，可去除形成在检查对象300表面的氧化 膜或附着在其表面的污物，可获得与检査对象300之间稳定的电接触。 本实施方式2中，若适当地控制检查对象300的移动速度(上升速度)， 则第2接触部52前端不会对检查对象300表面造成大损伤，也不会对导 电性接触器5施加过度的负载，因而更加优选。
此外，导电性接触器5可利用与上述实施方式1的导电性接触器同 样的导电性材料来实现。而且，导电性接触器保持件6及棒状构件7可 利用与上述实施方式1的导电性接触器保持件及棒状构件分别相同的绝 缘性材料来实现。
根据以上说明的本发明的实施方式2的导电性接触器单元，具备-导电性接触器保持件，具有多个第1导引沟及多个第2导引沟，该第1 导引沟将所收纳的导电性接触器的长度方向的一方缘端部以滑动自如的 方式嵌合保持，该第2导引沟与第1导引沟相对向配置且将嵌入上述第1 导引沟的上述导电性接触器的另一方缘端部以滑动自如的方式嵌合保 持；呈板状的多个上述导电性接触器，其分别具有第1接触部，与上 述不同的电路构造的任一个物理性接触、第2接触部，与上述第1接触 部所接触不同的电路构造物理性接触、弹性部，介于上述第1接触部与 上述第2接触部之间且沿其长度方向伸縮自如、第1连接部，连接上述 弹性部与上述第1接触部、和第2连接部，连接上述弹性部与上述第2 接触部，且形成有沿厚度方向贯通的开口部，在收纳于上述导电性接触 器保持件时从上述第2导引沟的端部向上述导电性接触器保持件的外部 突出；和棒状构件，贯通在多个上述导电性接触器分别具有的上述第2 连接部所形成的上述开口部，且固接于上述导电性接触器保持件。并且， 当上述第2接触部与上述不同的电路构造的任一个物理性接触时施加于 上述第2接触部的负载的方向，与上述第1导引沟及上述第2导引沟分 别延伸的方向交叉，由此，不仅可应对排列间隔的狭小化，并且与检查 对象的接触状况从上方也可易于目视，不施加过度的负载也可获得稳定 的电接触。
19而且，本实施方式2中，在实际检査时，导电性接触器单元来自上 方的目视或显微镜的观察易于进行， 一面确认导电性接触器前端和检查 对象的物理性接触， 一面进行检査作业，因此，操作者不须姿势弯曲来 观察导电性接触器和检查对象的接触状况。因而，可进一步提高检查的 作业性、可靠性，并减轻操作者的负担。
(其他实施方式)
至此，作为用于实施本发明的优选方式已详述了实施方式1及2，但 本发明并非限定于该等两种实施方式。例如，也可利用实施方式2中的 导电性接触器保持件收纳保持上述实施方式1的导电性接触器来构成导 电性接触器单元。
而且，导电性接触器的第2接触部形状应该根据该导电性接触器的 材质、收纳保持该导电性接触器的导电性接触器保持件的形状、应施加 在该导电性接触器保持件的负载、检查对象的种类等各种条件来决定， 只要具备本发明的技术特征而其形状细部就可以适当变更。
再有，本发明的导电性接触器单元除了检查液晶面板以外，也可适 用于搭载有半导体晶片的封装基板的检查或晶片等级检査所使用的高密 度探测单元的检查。
如此，本发明可包含此处未记载的各种实施方式等，只要在不超出 专利权利要求范围所特定的技术思想的范围内，可施行各种设计变更等。
产业上的可利用性
如上所述，本发明的导电性接触器单元及导电性接触器，在进行液 晶面板或半导体集成电路等电子零件的导通状态检查或动作特性检査之 际是有用的。
权利要求
1. 一种导电性接触器单元，收纳与电路构造之间分别进行电信号的 输出输入的多个导电性接触器，使得不同的电路构造间电连接，该导电性接触器单元具备导电性接触器保持件，具有多个第1导引沟及多个第2导引沟，该 第1导引沟将上述导电性接触器的长度方向的一方缘端部以滑动自如的 方式嵌合保持，该第2导引沟与上述第1导引沟相对向配置且将嵌入上 述第1导引沟的上述导电性接触器的另一方缘端部以滑动自如的方式嵌合保持；呈板状的多个上述导电性接触器，其分别具有第1接触部，与上 述不同的电路构造的任一个物理性接触；第2接触部，与上述第1接触 部所接触的电路构造不同的电路构造物理性接触；弹性部，介于上述第l 接触部与上述第2接触部之间且沿其长度方向伸縮自如；第1连接部， 连接上述弹性部与上述第1接触部；和第2连接部，连接上述弹性部与 上述第2接触部，且形成有沿厚度方向贯通的开口部，在收纳于上述导 电性接触器保持件时从上述第2导引沟的端部向上述导电性接触器保持 件的外部突出；和棒状构件，贯通在多个上述导电性接触器分别具有的上述第2连接 部所形成的上述开口部，且固接于上述导电性接触器保持件。
2. 如权利要求l所述的导电性接触器单元，其中，上述第2接触部 的至少一部分，与上述导电性接触器保持件的外侧面即在内侧形成有上 述第1导引沟的部分的外侧面相比，沿该外侧面的法线方向突出。
3. 如权利要求l所述的导电性接触器单元，其中，当上述第2接触 部与上述不同的电路构造的任一个物理性接触时施加于上述第2接触部 的负载的方向，与上述第1导引沟及上述第2导引沟分别延伸的方向交 叉。
4. 如权利要求1项至第3项中任一所述的导电性接触器单元，其中， 上述棒状构件在垂直于其长度方向的剖面积，比上述导电性接触器所形 成的上述开口部的面积小。
5. —种导电性接触器，使不同的电路构造间电连接，且与各电路构 造之间进行电信号的输出输入， 该导电性接触器具备第1接触部，与上述不同的电路构造的任一个物理性接触； 第2接触部，与上述第1接触部所接触的电路构造不同的电路构造 物理性接触；弹性部，介于上述第1接触部与上述第2接触部之间，且沿其长度 方向伸縮自如；第1连接部，连接上述弹性部与上述第1接触部；及第2连接部，连接上述弹性部与上述第2接触部，且形成有在厚度 方向贯通的开口部；上述第2接触部比上述第2接触部的宽度方向的缘端部更沿该宽度 方向突出。
全文摘要
本发明提供一种导电性接触器单元及导电性接触器，该导电性接触器单元具备导电性接触器保持件，具有多个第1导引沟及多个第2导引沟，分别保持导电性接触器的长度方向的缘端部；多个导电性接触器，具有第1接触部及第2接触部、弹性部、和第2连接部，该第1接触部及第2接触部分别与彼此不同的电路构造物理性接触，该弹性部介于上述第1接触部和上述第2接触部之间且沿长度方向自由伸缩，该第2连接部连接上述弹性部和上述第2接触部且形成有沿厚度方向贯通的开口部、当收纳于上述导电性接触器保持件时自上述第2导引沟端部向外部突出；和棒状构件，贯通在上述多个导电性接触器分别具有的上述第2连接部所形成的上述开口部，且固接于上述导电性接触器保持件。从而，可应对排列间隔的狭小化，与检查对象的接触状况从上方也可易于目视，且在不施加过度的负载的情形下也获得稳定的电性接触。
文档编号G01R1/067GK101313225SQ200680043760
公开日2008年11月26日 申请日期2006年11月21日 优先权日2005年11月22日
发明者力丸泰一, 富永润, 石川浩嗣 申请人:日本发条株式会社