专利名称：：荧光x射线分析装置的制作方法
技术领域：
：本发明涉及对试样中包含的硫磺进行分析的荧光x射线分析装置。
背景技术：
：针对汽油、轻油、煤油等的燃料油中的硫磺浓度，在规格中确定上限值，在原油的精制中或精制后，测定燃料油中的硫磺浓度，对其进行管理、控制。近年，即使在欧美、日本国内，也强化限制，减小该规格的上限值，还必须分析5ppm以下的极微量硫磺。在过去，进行荧光X射线分析法的原油、重油、汽油、轻油、煤油等的燃料油中的硫磺浓度分析，但是，在目前的规格上限值以下的低浓度的场合，无法获得充分的分析精度和检测界限值。在过去，作为分析汽油、轻油、煤油等的燃料油中的硫磺的荧光x射线分析装置，包括具有钛靶的x射线管和钛箔滤波器的荧光X射线分析装置；包括具有钪靶的X射线管和钪箔滤波器的荧光X射线分析装置；包括钪靶的X射线管和钛箔滤波器的荧光X射线分析装置(参照专利文献1)。在专利文献1的荧光X射线分析装置6中，像图6所示的那样，形成能量分散型荧光X射线分析装置6,其中，对试样S照射X射线64,该X射线64是通过钛箔滤波器63对来自具有钛靶的X射线管61的一次X射线62进行滤波处理而形成的，未通过分光元件对从试样S产生的菱光X射线65进行分光，通过半导体才全观'j器68观'j定。通过钛箔滤波器63滤波之前的一次X射线62的X射线光谱像图7所示的那样，包含Ti-Ka射线和多个连续X射线，但是，在通过钛箔滤波器63滤波的X射线光镨中，像图8所示的那样，连续X射线大大削减。但是，未完全消除连续X射线，残留的连续X射线照射到试样S,产生散射X射线，形成较大的本底。在半导体检测器68中，充分的能量分解，即，充分的波长分离无法进行，相对从试样产生的硫磺的荧光X射线的S-Ka射线，无法充分地减小本底。由此，本底按照硫-黄浓度换算值较大而为100ppm,极微量的硫磺的分析精度无法充分地应对最近的规格值。即使在作为专利文献1的荧光X射线分析装置的包括具有钪靶的X射线管和钪箔滤波器的荧光X射线分析装置和包括具有钪靶的X射线管和钛箔滤波器的荧光X射线分析装置中，也是相同的，在能量分散型荧光X射线分析装置中，即使采用适合于硫磺分析的靶的X射线管和一次滤波器，仍无法进行充分的检测界限和正确的精度的良好的分析。另外，在过去，像图9所示的那样，作为分析燃料油中的硫磺的荧光X射线分析装置9,包括下述的波长分散型荧光X射线分析装置9,其包括X射线管91和具有作为检测器气体的氩气的比例计数管98,该X射线管91具有在硫磺的吸收端波长的附近，相对作为硫磺的荧光X射线的S-Ka射线(2.31keV),产生激励效率良好的特性X射线的Pd-La射线(2.84keV)的钯(Pd)或Rh-La射线(2.70keV)的铑(Rh)的耙。由于该荧光X射线分析装置9不包括设置于X射线管91和试样S的X射线通路的一次滤波器，对试样S照射包括从X射线管91产生的多个连续X射线的一次X射线92,通过石墨分光元件96对从试样S产生的荧光X射线95进行分光，通过作为X射线检测器的比例计数管98,测定由此形成的荧光X射线97,但是由于产生许多通过连续X射线产生的散射X射线，故无法通过分光元件96充分地减小作为硫磺的分析线的S-Ka射线的本底。如果在过去的荧光X射线分析装置9的X射线管91和试样S的X射线通路中，设置厚度为12pm的铝箔的一次滤波器，则S-Ka射线的本底的S-Ka的能量的透射率为0.6%，但是，由于硫磺的荧光X射线的激励源的X射线管91的Pd-La射线或Ph-La射线的透射率在5%以下，故硫磺的激励效率极低，无法充分地激励分析元素的硫磺，难以以良好的灵敏度进行分析。过去的波长分散型荧光X射线分析装置9按照下述方式设计，该方式为通过分光元件96对从试样S产生的荧光X射线95进行分光，选择S-Ka射线，通过比例计数管98进行检测。在通过分光元件96衍射的X射线中，作为S-Ka射线的一次线的能量为2.31keV,不仅如此，能量为4.62keV的二次线也衍射，射入比例计数管98中。此时，通过将来自X射线管91的连续X射线照射给试样的方式产生的散射X射线也通过分光元件96衍射，4.62keV的能量的X射线射入比例计数管98。如果4.62keV的X射线射入具有氩气的比例计数管98,则通过比例计数管98中的氩气，仅作为Ar-Ka射线的能量的3.0keV的能量损失，呈现1,62keV的逃逸(escape)峰值。该逃逸峰值相当于作为硫磺的分析线的S-Ka射线的能量的70%，在脉冲高度分析器99中，无法与作为一次线的S-Ka射线分离，形成较大的本底。在过去人们知道，来自试样的荧光X射线射入比例计数管，在比起作为^f全测器气体的氩气射入的焚光X射线，按照Ar-Ka射线的能量低的能量值中呈现逃逸峰值，相对分析线，二次线等的高次线的荧光X射线构成妨碍线。比如，Co-Ka3次线妨碍S-Ka射线。但是，通过分光元件衍射的连续X射线的二次线等的高次线产生逃逸峰值，其构成本底，使分析误差、分析精度降低，这一点是人们不知道的，本次，发现该现象。于是，过去，没有进行像这样去除连续X射线的高次线的妨碍。像这样，在过去的波长分散型荧光X射线分析装置中，如果采用铝箔等的一次滤波器，则无法充分地激励石克磺，难以进行燃料油中的极微量的硫磺的定量分析。另外，来自X射线管的连续X射线的散射X射线的2次线产生比例计数管的氩气的逃逸峰值，其构成作为硫磺的分析线的S-Ka射线的妨碍，形成较大的本底，无法以良好的精度分析极微量的硫磺。此外，由于本底较高，试样之间的本底的变化对分析值造成影响，形成分析误差。专利文献l:日本特开平8-136480号文献
发明内容本发明是针对上述现有问题而提出的，本发明涉及分析试样中包含的硫磺的荧光X射线分析装置，其目的在于通过大幅度地减少来自X射线管的连续X射线产生的来自试样的散射X射线和比例计数管的检测器气体的逃逸峰值，提高检测界限和极微量浓度的分析精度和峰值与本底的比。为了实现上述目的，本发明的第1方案的荧光X射线分析装置对试样照射来自X射线管的一次X射线，通过分光元件对从上述试样发生的荧光X射线进行分光，通过X射线检测器检测，由此，对上述试样进行分析，该焚光X射线分析装置具有X射线管，该X射线管具有含铬的靶；X射线滤波器，其设置于上述X射线管和上述试样之间的X射线通路，相对来自上述X射线管的Cr-Ka射线，具有规定的透射率；比例计数管，其具有含氖气或氦气的检测器气体，该装置对上述试样中包含的硫磺进行分析。按照本发明的第1方案，具有X射线管，其产生具有高于作为碟磺的分析线的S-Ka射线的激励能量的Cr-Ka射线；X射线滤波器，其充分地使Cr-Ka射线透射，并且充分地去除相当于来自X射线管的S-Ka射线的能量的连续X射线，该X射线管具有含铬的靶，故可充分地激励试样中的硫磺，并且可大幅度地抑制从试样产生的连续X射线产生的散射X射线。另外，由于具有含氖气或氦气的检测器气体的比例计数管，故可通过去除作为硫磺的分析线的S-Ka射线的波长的二次线的逃逸峰值影响，减小本底强度。于是，可大幅度提高检测界限和极微量浓度的分析精度。在本发明的第1方案中，X射线管的靶既可为铬金属单体，也可由铬和其它金属的合金制作。X射线滤波器可相对Cr-Ka射线，具有比如50%以上的透射率，可具有该透射率，可为对应于在作为硫磺的分析线的S-Ka射线和Cr-Ka射线的能量之间不存在吸收端的铝、铁、钒箔等的材料的厚度。比例计数管可为封入型比例计数管、气体流量型比例计数管中的任意者，但是在小型的焚光X射线分析装置的场合，最好为封入型比例计数管。检测器气体可为氖气、氦气中的任意者。最好，按照规定比例与检测器气体混合的蚀刻气体为碳酸气体。在表1中给出S-Ka—次线和S-Ka二次线的各检测器气体的计数效率(％)的实例。像表l所示的那样，在氖气和氦气的场合，相对S-Ka—次线，二次线的计数效率约为1/5。另外，氖气的逃逸峰值相当S-Ka—次线的约160%的能量，可通过脉冲高度分析器，去除逃逸峰值的影响。此外，在氦气的场合，未出现逃逸峰值，二次线可通过脉冲高度分析器去除。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>本发明的第2方案的荧光X射线分析装置对试样照射来自X射线管的一次X射线，通过分光元件对从上述试样发生的焚光X射线进行分光，通过X射线检测器检测，由此，对上述试样进行分析，该装置具有X射线管，该X射线管具有含钛的粑；X射线滤波器，其设置于上述X射线管和上述试样之间的X射线通路，相对来自上述X射线管的Ti-Ka射线，具有规定的透射率，在作为硫磺的分析线的S-Ka射线和Ti-Ka射线的能量之间不存在吸收端；比例计数管，其具有含氖气或氦气的检测器气体，该装置对上述试样中包含的硫磺进行分析。按照本发明的第2方案，具有X射线管，其产生具有高于作为硫磺的分析线的S-Ka射线的激励能量的Ti-Ka射线，X射线滤波器，其充分地使Ti-Ka射线透射，并且充分地去除来自X射线管的分析线的S-Ka射线的能量的连续X射线，该X射线管具有含钛的靶，故可充分地激励试样中的硫磺，并且可大幅度地抑制从试样产生的连续X射线的散射X射线。另外，由于具有含氖气或氦气的检测器气体的比例计数管，故可通过去除作为硫磺的分析线的S-Ka射线的波长的二次线的逃逸峰值影响，减小本底强度。于是，可大幅度提高检测界限和极微量浓度的分析精度。在本发明的第2方案中，X射线管的靶也可为钛金属单体，也可由钛和其它金属的合金制作。X射线滤波器可相对Ti-Ka射线，具有比如40%以上的透射率，可为对应于在作为硫磺的分析线的S-Ka射线和Ti-Ka射线的能量之间不存在吸收端的铝、铁、钒箔等的材料的厚度。最好，比例计数管可与第1方案相同。本发明的第3方案的荧光X射线分析装置对试样照射来自X射线管的一次X射线，通过分光元件对从上述试样发生的焚光X射线进行分光，通过X射线检测器检测，由此，对上述试样进行分析，该装置具有X射线管，该X射线管具有含钪的靶；X射线滤波器，其设置于上述X射线管和上述试样之间的X射线通路，相对来自上述X射线管的Sc-Ka射线，具有规定的透射率，在作为硫磺的分析线的S-Ka射线和Sc-Ka射线的能量之间不存在吸收端；比例计数管，其具有含氖气或氦气的检测器气体，该装置对上述试样中包含的硫磺进行分析。按照本发明的第3方案，具有X射线管，其产生具有高于作为硫磺的分析线的S-Ka射线的激励能量的Sc-Ka射线，X射线滤波器，其充分地使Sc-Ka射线透射，并且充分地去除来自X射线管的分析线的S-Ka射线的能量的连续X射线，该X射线管具有含钪的乾，故可充分地激励试样中的硫磺，并且可大幅度地抑制从试样产生的连续X射线的散射X射线。另外，由于具有含氖气或氦气的检测器气体的比例计数管，故可通过去除作为硫磺的分析线的S-Ka射线的波长的二次线的逃逸峰值影响，减小本底强度。于是，可大幅度提高检测界限和极微量浓度的分析精度。在本发明的第3方案中，最好，X射线管的靶由钪金属单体制作。X射线滤波器可相对Sc-Ka射线，具有比如40%以上的透射率，可为对应于在作为硫磺的分析线的S-Ka射线和Sc-Ka射线的能量之间不存在吸收端的铝、铁、钪箔等的材料的厚度。最好，比例计数管可与第1方案相同。本发明的第4方案的荧光X射线分析装置对试样照射来自X射线管的一次X射线，通过分光元件对从上述试样发生的荧光X射线进行分光，通过X射线检测器检测，由此，对上述试样进行分析，该装置具有X射线管，该X射线管具有含钒的靶；X射线滤波器，其设置于上述X射线管和上述试样之间的X射线通路，相对来自上述X射线管的V-Ka射线，具有规定的透射率，在作为硫磺的分析线的S-Ka射线和V-Ka射线的能量之间不存在吸收端；比例计数管，其具有含氖气或氦气的检测器气体，该装置对上述试样中包含的硫磺进行分析。按照本发明的第4方案，具有X射线管，其产生具有高于作为硫磺的分析线的S-Ka射线的激励能量的V-Ka射线；X射线滤波器，其充分地使V-Ka射线透射，并且充分地去除来自X射线管的分析线的S-Ka射线的能量的连续X射线，该X射线管具有含钒的靶，故可充分地激励试样中的硫磺，并且可大幅度地抑制从试样产生的连续X射线的散射X射线。另外，由于具有含氖气或氦气的检测器气体的比例计数管，故可通过去除作为硫磺的分析线的S-Ka射线的波长的二次线的逃逸峰值影响，减小本底强度。于是，可大幅度提高检测界限和极微量浓度的分析精度。在本发明的第4方案中，最好，X射线管的靶由钒金属单体制作。X射线滤波器可相对V-Ka射线，具有比如50%以上的透射率，可为对应于在作为硫磺的分析线的S-Ka射线和V-Ka射线的能量之间不存在吸收端的铝、铁、钒箔等的材料的厚度。最好，比例计数管可与第1方案相同。根据参考附图的以下的优选实施例的说明，会更清楚地理解本发明。但是，实施例和附图为单纯的图示和说明，不应用于确定本发明的范围。本发明的范围由权利要求的范围确定。在附图中，多个附图的同一部件标号表示同一部分。图1为本发明的第1实施形态的荧光X射线分析装置的示意图2为表示上述荧光X射线分析装置的铝、铁、钒的X射线滤波器的透射率的图3为本发明的第2实施形态的荧光X射线分析装置的示意图4为本发明的第3实施形态的荧光X射线分析装置的示意图5为本发明的第4实施形态的荧光X射线分析装置的示意图6为表示现有的能量分散型荧光X射线分析装置的示意图；图7为上述荧光X射线分析装置的钛X射线管的一次X射线的光谱图8为上述荧光X射线分析装置的钛X射线管的一次X射线的钛制X射线滤波器滤波后的光谦图9为表示现有的波长分散型荧光X射线分析装置的示意图。具体实施例方式下面对本发明的第1实施形态的荧光X射线分析装置进行说明。像图l所示的那样，包括具有金属铬的耙的铬X射线管11;X射线滤波器13,其按照60%以上的程度使来自铬X射线管的一次X射线12的Cr-Ka射线透射，比如，由厚度为12pm的铝箔构成；分光元件16，其对试样S产生的荧光X射线15进行分光，比如，由石墨构成；封入型比例计数管18，其检测经分光的荧光X射线17,比如，内部密封有氖气的检测器用气体，该装置测定作为燃料油的轻油中的石克>璜浓度。图2表示采用12|im铝，6pm铁和12pm钒的X射线滤波器的场合的各能量的X射线透射率。各X射线滤波器为透射率基本相同的厚度。像图2所示的那样，按照60%以上的程度使来自铬X射线管的一次X射线12的Cr-Ka射线(5.41keV)透射，作为分析线的S-Ka射线的透射率为0.6%程度。最好，X射线滤波器按照50%以上的程度使Cr-Ka射线透射，以便充分地对分析元素的硫磺进行激励。特别是最好，按照60%以上的程度使Cr-Ka射线透射。另外，X射线滤波器必须为在作为分析线的S-Ka射线的能量和Cr-Ka射线的能量之间不存在吸收端的材质。像图2所示的那样，对于满足该条件的铝、铁和钛的X射线滤波器，在S-Ka射线与Cr-Ka射线的能量之间衰减率基本相同。为了相对规定的特性X射线，获得规定的透射率，必须确定X射线滤波器的材质和使X射线透射的厚度，但是在本实施形态中，为了60%以上的程度使Cr-Ka射线透射，使用12)im铝箔X射线滤波器。于是，如果增加铝箔的厚度，则透射率减小，如果厚度减小，则透射率提高。另外，可采用作为其它的材质的铁、钒，形成适合于规定的透射率的箔厚。在过去人们知道，来自试样的焚光X射线射入比例计数管，比射入作为检测器气体的氩气的焚光X射线，仅低Ar-Ka射线的能量的能量值呈现逃逸峰值，相对分析线，二次线等的高次线的荧光X射线形成妨碍线。通过分光元件衍射的连续X射线的二次线等的高次线产生逃逸峰值，其为本底，使分析误差、分析精度降低，这一点是人们不知道的，本次发现了该现象。于是，在过去，像这样去除连续X射线的高次线的妨碍这一点没有进行。由此，在本实施形态中，为了去除连续X射线的高次线的逃逸峰值，检测器用气体采用其内密封有氖气和碳酸气体的混合气体，比如，碳酸气体3%的气体封入型比例计数管。在气体流量型的比例计数管中，获得同样的效果。如果比例计数管的检测器气体采用氖气、氦气，则可基本去除连续X射线的二次线的影响，以便相对轻元素的二次线能量的X射线，即，硫磺的二次线能量的X射线的计数效率非常小，另外，通过氖气、氦气产生的逃逸峰值可大幅度地减轻本底，以便可去除硫磺的分析线的S-Ka射线的影响。在表2中给出通过本实施形态的荧光X射线分析装置1分析轻油中的4ppm的硫磺的结果和通过现有的荧光X射线分析装置9分析的结果。本实施形态的究光X射线分析装置1包括铬X射线管；厚度为12|nm的铝箔滤波器；其内密封有氖气和碳酸气体的混合气体的封入型比例计数管。现有的焚光X射线分析装置9包括钯X射线管；其内密封有氩气和曱烷气体的混合气体的封入型比例计数管，不具有一次滤波器。分光元件等其它的装置结构相同。像表2所示的那样，在本发明的第l实施形态中，与现有的实施例相比较，本底按照1M0减少，净强度(从峰值强度中扣除本底强度而得到的强度)和本底强度的比通常在10倍以上较好，本底的硫磺浓度换算为2.0ppm。由此，可将本底强度的试样之间的变化的影响限制在最小限。另外，检测界限也可为1.7倍。本发明可充分满足目前的燃料油中的硫磺浓度的规格值，并且为可充分对应于将来的要求规格值的分析装置。(表2)<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>在上述第1实施形态中，X射线滤波器采用厚度为12pm的铝箔，但是，在表2中给出将厚度为6pm的铁的薄板用作X射线滤波器的应用例的分析结果。与铝滤波器的场合相同，本底按照1/40减少，净强度和本底强度的比在11倍以上较好，检测界限也可为1.7倍。厚度为6pm的铁的薄板的X射线滤波器也相对Cr-Ka射线，具有60%以上的透射率。像这样而知道，如果使用相对Cr-Ka射线，具有规定的透射率的X射线滤波器，则获得相同的效果。接着，对本发明的第2实施形态的荧光X射线分析装置进行说明。像图3所示的那样，包括具有金属钛的靶的钛X射线管31;X射线滤波器33,其按照比如40%以上的程度使来自钛X射线管31的一次X射线32的Ti-Ka透射，比如，由厚度为15pm的钛的薄板构成；分光元件16，其对从试样S产生的荧光X射线35进行分光，比如，由石墨构成；封入型比例计数管18,其检测已分光的荧光X射线37，其内封入比如，氖气和碳酸气体混合的检测器用气体，该装置测定作为燃料油的轻油中的硫磺的浓度。最好，X射线滤波器33按照50%以上的程度使Ti-Ka射线透射，以便充分地激励分析元件的硫磺。可为按照比如，相对Ti-Kot射线，具有50%的透射率的方式与铝、铁、钛、钒等的材料相对应的厚度，可与铝的X射线滤波器相同，与材质和规定的特性X射线相对应而确定。在本实施形态中，采用与上述第1实施形态相同的比例计数管，获得相同的作用效果。下面对本发明的第3实施形态的荧光X射线分析装置进行说明。像图4所示的那样，包括钪X射线管41,其具有金属钪的靶；X射线滤波器43，其按照比如，30%以上的程度使来自钪X射线管41的一次X射线42的Sc-Ka射线透射，比如，由厚度为15pm的钛的薄板构成；分光元件16，其对从试样S产生的荧光X射线45分光，比如，由石墨构成；封入型比例计数管18,其检测已分光的荧光X射线47，其内封入比如，氖气和碳酸气体混合的检测器用气体，该装置测定作为燃料油的轻油中的硫磺的浓度。最好，X射线滤波器43按照比如，30%以上的程度使Sc-Ka射线透射，以便充分地激励分析元件的硫磺。可为按照比如，相对Sc-Ka射线透射具有35%以上的透射率的方式与铝、铁、钛、钪等的材料相对应的厚度，可与铝的X射线滤波器相同，对应于材质和规定的特性X射线而确定。在本实施形态中，采用与上述第1实施形态相同的比例计数管，获得相同的作用效果。下面对本发明的第4实施形态的荧光X射线分析装置进行说明。像图5所示的那样，包括钒X射线管51,其具有金属钒的乾；X射线滤波器53,其按照比如50%以上的程度使来自钒X射线管51的一次X射线52的V-Ka射线透射，比如，由厚度为12pm的钒的薄板构成；分光元件16,其对从试样S产生的荧光X射线55分光，比如，由石墨构成；封入型比例计数管18,其检测已分光的荧光X射线57,其内封入比如，氖气和碳酸气体混合的检测器用气体，该装置测定作为燃料油的轻油中的硫磺的浓度。最好，X射线滤波器53按照比如50%以上的程度使V-Ka射线透射，以便充分地激励分析元件的硫磺。可为按照比如，相对V-Ka射线具有50%的透射率的方式与铝、铁、钒等的材料相对应的厚度，可与铝的X射线滤波器相同，对应于材质和规定的特性X射线而确定。在本实施形态中，采用与上述第1实施形态相同的比例计数管，获得相同的作用效果。如上所述，参照附图而对优选的实施例进行了说明，但是如果是本领域技术人员阅读本申请说明书，容易在显然的范围内假定各种变更和修正。于是，这样的变更和修正解释在根据权利要求的范围确定的发明的范围内。权利要求1.一种荧光X射线分析装置，其对试样照射来自X射线管的一次X射线，通过分光元件对从上述试样发生的荧光X射线进行分光，通过X射线检测器检测，由此，对上述试样进行分析，其特征在于包括X射线管，该X射线管具有含铬的靶；X射线滤波器，其设置于上述X射线管和上述试样之间的X射线通路，相对来自上述X射线管的Cr-Kα射线，具有规定的透射率，采用在S-Kα射线和Cr-Kα射线的能量之间不存在吸收端的元素的材质；比例计数管，其具有含氖气或氦气的检测器气体；该装置对上述试样中包含的硫磺进行分析。2.—种荧光X射线分析装置，其对试样照射来自X射线管的一次X射线，通过分光元件对从上述试样发生的荧光X射线进行分光，通过X射线检测器检测，由此，对上述试样进行分析，其特征在于包括X射线管，该X射线管具有含钛的靶；X射线滤波器，其设置于上述X射线管和上述试样之间的X射线通路，相对来自上述X射线管的Ti-Ka射线，具有规定的透射率，采用在S-Ka射线和Ti-Ka射线的能量之间不存在吸收端的元素的材质；比例计数管，其具有含氖气或氦气的检测器气体；该装置对上述试样中包含的硫磺进行分析。3.—种焚光X射线分析装置，其对试样照射来自X射线管的一次X射线，通过分光元件对从上述试样发生的荧光X射线进行分光，通过X射线检测器检测，由此，对上述试样进行分析，其特;f正在于包括X射线管，该X射线管具有含钪的靶；X射线滤波器，其设置于上述X射线管和上述试样之间的X射线通路，相对来自上述X射线管的Sc-Ka射线，具有规定的透射率，采用在S-Ka射线和Sc-Ka射线的能量之间不存在吸收端的元素的材质；比例计数管，其具有含氖气或氦气的检测器气体；该装置对上述试样中包含的硫磺进行分析。4.一种荧光X射线分析装置，其对试样照射来自X射线管的一次X射线，通过分光元件对从上述试样发生的荧光X射线进行分光，通过X射线检测器检测，由此，对上述试样进行分析，其特征在于包括X射线管，该X射线管具有含钒的靶；X射线滤波器，其设置于上述X射线管和上述试样之间的X射线通路，相对来自上述X射线管的V-Ka射线，具有规定的透射率，采用在S-Ka射线和V-Ka射线的能量之间不存在吸收端的元素的材质；比例计数管，其具有含氖气或氦气的检测器气体；该装置对上述试样中包含的硫磺进行分析。全文摘要一种分析试样中包含的硫磺的荧光X射线分析装置，其目的在于通过大幅度地减少来自X射线管的连续X射线的试样的散射X射线和比例计数管的氩气的逃逸峰值，提高极微量的硫磺的分析精度。一种荧光X射线分析装置(1)，其对试样(S)照射来自X射线管的一次X射线，通过分光元件，对从试样(S)产生的荧光X射线进行分光，通过X射线检测器进行检测，由此，对试样(S)进行分析，该装置包括X射线管(11)，该X射线管(11)具有含铬的靶；X射线滤波器(13)，其设置于X射线管(11)和试样(S)之间的X射线通路，相对来自X射线管(11)的Cr-Kα射线，具有规定的透射率，采用在S-Kα射线和Cr-Kα射线的能量之间不存在吸收端的元素的材质；比例计数管(18)，其具有含氖气或氦气的检测器气体，该装置对试样(S)中包含的硫磺进行分析。文档编号G01N23/223GK101416047SQ20068005417公开日2009年4月22日申请日期2006年11月24日优先权日2006年4月11日发明者堂井真,山下升,河野久征,片冈由行申请人:理学电机工业株式会社