专利名称：影像调整方法及影像撷取装置的制作方法
技术领域：
本发明是有关于 一 种影像撷取技术，尤苴 z 、是指-■
种影像调整方法及影像撷取装置
背學技术
白光干涉系统因干涉架构，使系统在物镜聚隹 '" 处
所呈现的清晰影像具有干涉条纹，而无法直接进行—
维尺寸测与瑕疵检测。
为了解决这个问题，现有技术中，如图1所不的
美国专利US.Pat.No. 7 ， 0 6 8 ,376所揭露的干涉
系统1，是具有一光源1 0 、分光单元11、
干涉物镜单元1 2以及 一 成像单元13该光源10
可产生光束并经由准直透镜1 4以形成一准直光束
该准直光束经由该分光单元1 1反射至干涉物镜单元
12以形成一测物光以及一参考光该测物光在投射
至待测物10 0表面后反射回该干涉物镜单元12
并与该参考光合光产生干涉，以形成干涉光该干
涉光再经由该分光单元ll而由该成像单元l 3接
收，以形成——*干涉条纹影像
前述的技术中，其利用相移法计算出待测物的三
维形貌，同时以相移时所取得的 一 序列影像进行组合
运算，以取出影像中直流的成份，运算所得的影像可
消除干涉条纹的影响，并作为二维横向检(量)测使
用的影像不过，此方法必须先经由相移取像后才可
得到无干涉条纹的二维影像，而相移取I象的范围受限，
且需花时间进行相移取像后才可得到二维检测所需的影像。
发明内容
本发明的巨的在于，提供一种影像调整方法及影
像撷取装置，其不须先经由相移取像后才可得到无干
涉条纹的维影像，相移取像的范围不受限制系统
能获得清晰的干涉条纹影像，以进行二维形貌量测，
且不需花时间进行相移取像后才可得到一维检测所需
的影像，依据成像关系，可调整成像单元位置，以获
得干涉同调区域外的清晰无干涉条纹的影像，可针对
此影像进行一维瑕疵检测与尺寸:量测,
本发明提供一种影像调整方法，其特征在于，
包括有下列步骤
撷取—^序列干涉影像；
分别对该序列干涉影像求得 一 清晰度聚指标曲
线以及对比度聚焦指标曲线；
分别寻找该清晰度聚焦指标曲线以及该对比度聚
焦指标曲线的峰值;以及
进行调校程序调整该清晰度聚焦指标曲线的峰
值与该对比度聚焦指标曲线的峰值间的相对位置，以
获得清晰的该序列干涉影像。
其中该调校程序还包括有下列步骤
建该序列千涉影像成像位置和取像位置间的距
离与该清晰度聚焦指标曲线的峰值和该对比度聚焦指
标曲线的峰值间的距离的关系*,以及
根据该关系，调整该序列干涉影像成像位置和取
像位置间的距离，使该清晰度聚焦指标曲线的峰值与
该对比度聚焦指标曲线的峰值位置一致。
其中该调校程序还包括有下列步骤
建该序列干涉影像成像位置和取像位置间的距
禹与该清晰度聚焦指标曲线的峰值和该对比度聚焦指
标曲线的峰值间的距离的关系 ，
将该关系建立成一关系表格；以及
根据该关系表格，调整该序列干涉影像成像位置
和取像位置间的距离，使该清晰度聚焦指标曲线的峰
值与该对比度聚，指标曲线的峰值位置一致。
中该清晰度聚焦指标曲线为计算影像相邻像素
间内涵值差异性的指标，以评价影像清晰的程度<
其中求得该清晰度聚焦指标曲线的法则是为空间
频率分布鉴别法则，该空间频率分布鉴别法则可选择
为相关系数法、影像差异法、灰度值峰谷深度法、影
像对比法、灰度统计图法以及频域法其中之一(
苴 z 、中该对比度聚焦指标曲线为计算影像像素内涵
值统计分布的指标，以评价影像对比的程度。
中求得该对比度聚焦指标曲线的法则是为像素
内涵值统计分i鉴别法则，该像素内涵值统计分布鉴
别法则可-选择为相关系数法、影像差异法、灰度值峰
谷深度法、影像对比法、灰度统计图法以及频域法其
中之
本发明还提供一种影像调整方法，其特征在于，
其包括有下列步骤:
撷取—无干涉条纹影像；
分别对该无干涉条纹影像求得一清晰度聚，指标
曲线以及对比度聚焦指标曲线；
分别寻找该清晰度聚焦指标曲线以及该对比度聚
焦指标曲线的峰值;以及
进行调校程序调整该清晰度聚焦指标曲线的峰
值与该对比度聚焦指标曲线的峰值间的相对位置，以
获得清晰的无干涉条纹影像。
中撷取该无干涉条纹影像的方法是为将该无干
涉条纹影像的取像焦占 y 、、、移至取像视野内各位置发生干
涉的同调区域外
中该清晰度聚隹 "、、指标曲线为计算影像相邻像素
间内涵值差巳 升性的指标，以评价影像清晰的程度c
中求得该清晰度聚焦指标曲线的法则是为空间
频率分布鉴别法则，该空间频率分布鉴别法则可选择
为相关系数法、影像差异法、灰度值峰谷深度法、影
像对比法、灰度统计图法以及频域法其中之-
其中该对比度聚隹 "、、指标曲线为计算影像像素内涵
值统计分布的指标，以评价影像对比的程度'
中求得该对比度聚焦指标曲线的法则是为像素
内涵值统计分布鉴别法则，该像素内涵值统计分布鉴
别法则可选择为相关系数法、影像差异法、灰度值峰
谷深度法、影像对比法、灰度统计图法以及频域法苴 Z 、
中之
其中该调校程序还包括有下列步骤
建该无干涉条纹影像成像位置和取像位置间的
距离与该清晰度聚焦指标曲线的峰值和该对比度聚焦 指标曲线的峰值间的距离的关系；
以该对比度聚焦指标曲线的峰值为中心决定范
围以及
根据该关系，调整该无干涉条纹影像成像位置和
取像位置间的距离，使该清晰度聚焦指标曲线的峰值
不落于该范围内，以呈现清晰无干涉条纹影像。
本发明又提供一种影像调整方法，其特征在于，
苴包括有下列步骤:
撷取一干涉影像；
分别对干涉影像求得一清晰度聚焦指标以及对
比度聚焦指标
记录清晰度聚焦指标以及对比度聚焦指标；
调整该干涉影像的成像位置；以及
重复以上步骤，使该清晰度聚焦指标以及该对比
度聚指标皆处于最大值的状态。
中该清晰度聚焦指标曲线为计算影像相邻像素
间内涵值差异性的指标，以评价影像清晰的程度c
其中求得该清晰度聚焦指标曲线的法则是为空间
频率分布鉴别法则，该空间频率分布鉴别法则可选择
为相关系数法、影像差巳 幵法、灰度值峰谷深度法、影
像对比法、灰度统计图法以及频域法其中之一。
其中该对比度聚焦指标曲线为计算影像像素间内
涵值差异性的指标，以评价影像对比的程度,
其中求得该对比度聚焦指标曲线的法则是为像素
内涵值统计分布鉴别法则，该像素内涵值统计分布鉴
别法则可选择为相关系数法、影像差异法、灰度值峰
谷深度法、影像对比法、灰度统计图法以及频域法
中之~■。
本发明提供一种影像撷取装置，其特征在于，包
括
一光束产生器，其可.产生一光束；
一分光单元，其可反射该光束，以形成反射光
束
一干涉镜组，其可将该反射光束调制成参考光
束以及 一 量测光束，该量测光束入射至 一 待测物上的
表面，并反射至该干涉镜组与该参考光束合光以形成
一干涉光束，进入至该分光单元；以及
一成像单元，其可由该分光单元接收该干涉光束， 以形成 一 影像，该成像单元的 一 侧偶接有 一 第 一 致动
器o
其中该成像单元可选择为CCD以及CMOS其中之一种。
其中该第一致动器是可选择为马达驱动的致动器 以及压电组件致动器中之 一 ，以调整该成像单元的
位置
其中该干涉镜组的侧还偶接有 一 第二致动器，
该第致动器可选择为马达驱动的致动器以及压电组
件致动器中之，以调整该干涉镜组的位置<
为使审査员能对本发明的特征、目的及功能有更
进一步的认知与了解，下文特将本发明的装置的相关
细部结构以及设计的理念原由进行说明，以使得审査
员可以了解本发明的特点，详细说明陈述如下，其中
图1是为现有的干涉系统影像撷取装置示意图。
图2是为本发明影像调整方法的 一 实施范例流程
示思图
图3是为本发明的影像撷取装置实施范例示意
图
图4A是为本发明对于序列干涉影像进行调整流
程范例示思图。
图4B是为撷取到该序列干涉影像的成像单元以
及该干涉镜组位置示意图。
图4 C是为在图4 B的位置下所求得的清晰度聚焦
指标曲线以及对比度聚焦指标曲线示意图。
图4D是为清晰度聚焦指标曲线的峰值与对比度 聚焦指标曲线的峰值重合示意图。
图5A是为影像与影像屏蔽关系范例示意图。 图5B是为影像像素的强度计数值分布示意图。
图6A是为本发明调整序列干涉影像的另--实施
范例流程示意图。
图6B是为调，暨成像单元位置过程中，清晰度聚焦
指标曲以及对比度聚焦指标曲线变化曲线图。
图7A是为本发明对于无干涉条纹的影像调整流
程范例不意图。
图7B是为撷取无干涉条纹影像的成像单元以及
该干涉镜组位置示意图。
图7C是为以对比度聚焦指标曲线的峰值为中心
决定的范围示意图
体实施方式
请参阅图2所示，该图是为本发明影像调整方法
的实施范例流程示意图。该影像调整方法的精神在
于计算出影像聚焦指标，以判定成像单元与物镜取像
的相对应位置是否正确，作为校正的依据。该方法2
的止 少骤如下:首先
后进行步骤21分
指标曲线以及一对
2分别寻找该清晰
指标曲线的峰值
度聚焦指标曲线的
值间的相对位置，
为了详细说明
针对调整聚焦指标
以—范例来做说明
图3所不，该图是
示息图该影像撷
分光单元31、
3该光束产生器
芬光单元31，其
射光束91该干
91调制成参考
量测光束93入射
射至该干涉镜组3
光束94，该干涉
该成像单元33以
该成像单元3
进行步骤2 0撷取
别对该序列影像求
比度聚焦指标曲线
度聚，指标曲线以
最后再进行 一 调校
峰值与该对比度聚
以获得清晰影像
本发明的影像调整
以获得清晰的干涉
首先介绍影像撷
为本发明的影像撷
取装置3具有一光
干涉镜组3 2以
30，其是可产生
是可反射该光束9
涉镜组3 2 ，其是
光束92以及一量
至待观!l物1 00
2与该参考光束合
光束94再穿透该
生影像。
3的 一 侧偶接有
—-序列影像。然
得清晰度聚焦
接着以步骤2
及该对比度聚焦
程序调整该清晰
焦指标曲线的峰
方法接下来先
条纹影像的方法
取装置请参阅
取装置实施范例
束产生器30、
及一成像单元3
光束90该
0，以形成反
可将该反射光束
测光束93，该
上的表面，并反
光以形成干涉
分光单元31至
第 一 致动器34该成像单元3 3是可选择为CCD以及CMOS中的
一种，或者为其它可侦测光强度的侦测器。该第致
动器34是可选择为马达驱动的致动器、压电组件
pi6 Z0 6lectric element, PZT)致动器其中之，以
及苴 7 、它可带动成像单元进行移位的，以调整该成像单
元33的位置。此外，该干涉镜组3 2的 一 侧也偶接
有第致动器3 5，其是可选择为马达驱动的致动
器以及压电组件致动器其中之一，以调整该干涉镜组
32中物镜3 2 0与待测物1 0 0的相对位置-
接着请参阅图4A并配合图3所示，其中匿1 4A是
为本发明对于序列干涉影像进行调整范例流程示思
图。该影像调整方法4包括有下列步骤首先进行步
骤40撷取 一 序列干涉影像。撷取该序列干涉影像的
方式，可由调整成像单元3 3的位置以获得在同调区
域内的序列干涉影像。然后，再进行步骤4 1，分别
对该序列干涉影像求得一清晰度聚焦指标曲线以及一
对比度聚焦指标曲线。请参阅图4B以及图4C所示，
中图4B是为撷取到该序列干涉影像的成像单元以
及该干涉镜组位置示意图；图4C为在图4B的位置下
所求得的清晰度聚焦指标曲线以及对比度聚焦指标曲
线不思图。在图4B中，9 9 0为物镜3 2 0取像占 八、、
的位置，9 9 l为对应9 9 0的成像位置。而标号7
则代表光学系统，其是可对应于图3的光束产生器
3 0 、分光单元3 1以及部分干涉镜组3 2的组件。
该光学系统7的一实施例可为 一 显微镜组。当成像单
元3 3并非位于正确的成像位置时，如图中所示的位
置9 92， 成像单元3 3将撷取到模糊的序列干涉影
像。此时所对应到的清晰度聚焦指标曲线以及对比度
聚焦指标曲线如图4 C所示。
本发明的影像评价指标为聚焦指标值，其中计算
该清晰度聚焦指标曲线的法则是可为空间频率分布鉴
别法则，清晰度聚焦指标曲线为计算影像相邻像素间
内涵值差异性的指标；而计算对比度聚焦指标曲线法
则为计算影像像素内涵值统计分布的指标，以评价影
像对比的程度，例如像素内涵值统计分布鉴别法则。该像素内涵值统计分布鉴别法以及该空间频率分布鉴别法则皆可选择为相关系数法(Multi-coef f icient Correlation)、影像差异法(Image Differentiation)、 灰度值峰谷深度法(Depth of Peaks and Valleys)、 影像对比法 (Image Contrast )、 灰度统计图法 (Histogram)、频域法(Frequency-domain Analysis )、 以及其它有效的鉴别法则。
如图5 A范例所示，本发明的影像清晰度以十字型 屏蔽8 Q对影像8 1进行空间差分的巻积计算，巻积
和为此影像3 l的清晰度值。具体而言，该屏蔽80
的形状对称且主要是配置权重值al—a8与权重的位
置将此屏蔽8 O上的权重以巻积方式乘以单张影像
81上各权重位置相对应的像素值，并将相乘结果相
加后移动此屏蔽8 O至下一次运算的位置，并做相
同的运算。将所有运算结果加总后，即可得到此单张
影像81的清晰度值。另外，影像8 l的清晰度值亦
可利用影像的频域分析计算得之。
如图5 B范例所示，影像对比度则由影像像素的强
度计数值分布宽度，即影像的直方图分布宽度16即
白最小像素值l 5a至最大像素值l 5b的距离，苴 z 、是
利用门槛值Nth将像素数量(pixel number低于
该门1皿值Nth的像素值滤除。)作为影像的对比度影
像的强度值是通过影像中像素强度分析计算得的，例
如计算影像中各像素强度值的总和或者计算一影像区
域内相邻像素间的平均强度值所得。影像的强度值可
为影像中像素的平均亮度或最大亮度值。
于步骤4 2 ，分别寻找该清晰度聚焦指标曲线以
及该对比度聚焦指标曲线的峰值。请参阅图4 C所示，其中FH为该序列干涉影像的对比度聚焦指标曲线，FT 为该序列干涉影像的清晰度聚焦指标曲线，H为对比度 聚焦指标曲线的峰值，此峰值位置可视为该序列干涉
影像出现的位置，T为清晰度聚焦指标曲线的峰值，此
峰值位置可视为清晰影像出现的位置，当干涉系统的
成像关系正确时，H与T将位于同一位置，且于H或T
位置可获得清晰的序列干涉影像，当干涉系统的成像
关系不正确时，H与T将位于不同位置，如图4B所示。
为了可获得清晰的该序列干涉影像，进行步骤4
3建该序列干涉影像成像位置和取像位置间的距离
与该清晰度聚焦指标曲线的峰值和该对比度聚焦指标
曲线的峰值间的距离的关系。前述步骤4 3的具体作
法可先移动图3的成像单元3 3 ，然后观察影像对比
度聚隹 y "、指标曲线FH的峰值H与影像清晰度聚焦指标曲线FT的峰值间T的距离变化。经过复数次的测试，则可以找到该关系。最后再进行步骤4 4，根据该关系，
调整该序列干涉影像成像位置和取像位置间的距离，
使该清晰度聚焦指标曲线的峰值与该对比度聚焦指标
曲线的峰值位置 一 致，如图4 D所示，即可得到清晰的
序列干涉影像以进行白光干涉的三维形貌重建技术。
其中调整该成像位置即为调整该成像单元3 3的
位置而调整该取像位置则为调整该干涉镜组3 2的
物镜320的位置。也就是说，图3中的影像撷取装
置3可以根据步骤4 3所找出的关系，由装置3本身
白动调整物镜3 2 Q或者是成像单元3 3的位置，使
得峰值H与T的位置重合，以进行干涉系统调校取得
清晰的干涉序列影像。除了前述的方式外，在止 少骤4
3中，更可以将该关系建立成对照表，使得系统将来
可以根据对照表内建立的信息，自动调整该成像单元
33与干涉镜组3 2的物镜3 2 0的位置，使得该清
晰度聚焦指标曲线的峰值与该对比度聚隹 y "、指标曲线的
峰值位置重合。
请参阅图6A并配合图3所示，，C中图6A是为本
发明调整序列干涉影像的另一实施范例流程不思图
该方法首先进行步骤50，撷取一干涉影像至于如
何利用图3的影像撷取装置3取得该干涉影像则如.、 目U
所述，在此不作赘述。接下来进行止 少骤51，分别对
该干涉影像求得 一 清晰度聚焦指标以及一对比度聚隹 / 、、、
指标。然后，进行步骤5 2，记录清晰度聚焦指标以
及对比度聚焦指标。接着进行步骤53，调整该干涉
影像的成像位置。本步骤的调整方式是为调整成像单
元33的位置。请参阅图6 B所示，该图是为调整成像
单元位置过程中，清晰度聚焦指标曲线以及对比度聚
指标曲线变化曲线图。在调整的过程中通过止 少骤5
4，重复前述的步骤，使用者观察变化曲线中的最大
峰值出现的位置，使该清晰度聚焦指标以及该对比度
聚焦指标皆处于最大值的状态，即可得到清晰的干涉 影像，以进行白光干涉的三维形貌重建技术'
请参阅图7A并配合图3所示，其中图7'A是为本发明对于无干涉条纹的影像调整流程示意图该方法
6首先进行步骤6 0 ，于该影像撷取装置3上调整成
像单元33与干涉镜组3 2的位置，将该干涉镜组3
2的物镜3 2 0的取像焦点移至取像视野内各位置发
生干涉的同调区域外的取像位置993，以得到一无
干涉条纹影像。请参阅图7 B所示，苴 z 、中调整成像单
元33的位置是为调整该成像单元33于其成像隹占 v、w
991、'-目U后的一范围R 1间移动。而标号7则代表一光
学系统，其是可对应于图3的光束产生器30、分光
单元31以及部分干涉镜组3 2的组件。该光学系统
7的一实施例可为 一 显微镜组。而调整该干涉镜组3
2的位置则是使得干涉镜组3 2的物镜3 20的取像
焦占 " 、移至取像视野内各位置发生干涉的同调区域R 0
外，以得到清楚无干涉条纹的影像<
再回到图7A所示，进行步骤61，分别对该无干
涉条纹影像求得一清晰度聚焦指标曲线以及对比度
聚，指标曲线。接着进行，步骤62，分别寻找该无
干涉条纹影像的清晰度聚焦指标曲线以及该对比度聚
焦指标曲线的峰值。随后进行步骤63，建该无干
涉条纹影像成像位置和取像位置间的距离与该清晰度
聚指标曲线的峰值和该对比度聚焦指标曲线的峰值
间的距离的关系。 刖述的步骤6 l至步骤6 3的方式
是如同、'-目u述调整序列干涉影像的程序，在此不作赘述。
得到关系之后，接着进行步骤6 4，以该对比度
聚指标曲线的峰值为中心决定 一 范围。请参阅图7 C
所示，该图是为以对比度聚焦指标曲线FH的峰值H为
中心决定的范围D示意图。该范围D的大小是可根据
使用者的需要而定。之后，再进行步骤6 5，调整该
无干涉条纹影像成像位置和取像位置间的距离，使该
清晰度聚焦指标曲线FT的峰值T不落于该范围D内，
即可获得清晰的无干涉条纹影像。有了清晰的无干涉
条纹影像，进行二维影像瑕疵检测与尺寸量测。
唯以上所述的，仅为本发明的较佳实施例，当不
能以的限制本发明范围。即凡是依本发明权利要求所
做的均等变化及修饰，仍将不失本发明的要义所在，
亦不脱离本发明的精神和范围，故都应视为本发明的
进一步实施状况
取装
不需
测，
用功
切 使
能
合上述，本发明提供的影像调整方法及影像撷 ，可任意取得干涉同调区域内、外的清晰影像， 换物镜即可进行二维尺寸量测与三维形貌量 干涉系统具有二维与三维检(量)测的 一 机两 。因此可以满足业界的需求，进而提高该产业
的竞争力，诚已符合发明专利法所规定申请发明所需 具备的条件，故依法提出发明专利的申请。
权利要求
1、一种影像调整方法，其特征在于，其包括有下列步骤撷取一序列干涉影像；分别对该序列干涉影像求得一清晰度聚焦指标曲线以及一对比度聚焦指标曲线；分别寻找该清晰度聚焦指标曲线以及该对比度聚焦指标曲线的峰值；以及进行一调校程序调整该清晰度聚焦指标曲线的峰值与该对比度聚焦指标曲线的峰值间的相对位置，以获得清晰的该序列干涉影像。
2、如权利要求i所述的影像调整方法，其特征在于，中该调校程序还包括有下列步〗建该序列干涉影像成像位置和取像位置间的距离与该清晰度聚焦指标曲线的峰值和该对比度聚焦指标曲线的峰值间的距离的关系；以及根据该关系，调整该序列干涉影像成像位置和取像位置间的距离，使该清晰度聚焦指标曲线的峰值与该对比度聚焦指标曲线的峰值位置 一 致<
3、如权利要求1所述的影像调整方法，其特征在于，中该调校程序还包括有下列步骤建一 、,. 该序列干涉影像成像位置和取像位置间的距离与该清晰度聚焦指标曲线的峰值和该对比度聚焦指标曲线的峰值间的距离的关系；将该关系建立成一关系表格；以及根据该关系表格，调整该序列干涉影像成像位置和取像位置间的距离，使该清晰度聚焦指标曲线的峰值与该对比度聚焦指标曲线的峰值位置一致。
4、如权利要求1所述的影像调整方法，其特征在于，中该清晰度聚焦指标曲线为计算影像相邻像素间内涵值差异性的指标，以评价影像清晰的程度。
5、如权利要求1所述的影像调整方法，其特征在于，中求得该清晰度聚焦指标曲线的法则是为空间频率分布鉴别法则，该空间频率分布鉴别法则可选择为相关系数法、影像差异法、灰度值峰谷深度法、影对比法、灰度统计图法以及频域法其中之一c
6、如权利要求1所述的影像调整方法，其特征在于，其中该对比度聚焦指标曲线为计算影像像素内涵值统计分布的指标，以评价影像对比的程度。
7、如权利要求1所述的影像调整方法，其特征在于，g巾求得该对比度聚焦指标曲线的法则是 素内涵值统计分布鉴别法则，该像素内涵值统计分布鉴别法则可选择为相关系数法、影像差巳 升法、灰度值峰谷深度法、影像对比法、灰度统计图法以及频域法中之
8、一种影像调整方法， 其特征在于，包括有下列步:撷取无干涉条纹影像分别对该无干涉条纹影像求得清晰度聚，指标曲线以及—对比度聚焦指标曲线;分别寻找该清晰度聚焦指标曲线以及该对比度聚焦指标曲线的峰值;以及进行调校程序调整该清晰度聚焦指标曲线的峰值与该对比度聚焦指标曲线的峰值间的相对位置，以获得清晰的无干涉条纹影像
9、如权利要求8所述的影像调整方法，苴 z 、特征在于，苴 / 、中撷取该无干涉条纹影像的方法是为将该无干涉条纹影像的取像焦点移至取像视野内各位置发生干涉的同调区域外
10、如权利要求8所述的影像调整方法，其特征在于，其中该清晰度聚焦指标曲线为计算影像相邻像素间内涵值差异性的指标，以评价影像清晰的程度。
11、如权利要求8所述的影像调整方法，其特征在于，中求得该清晰度聚焦指标曲线的法则是为空间频率分布鉴别法则，该空间频率分布鉴别法则可选择为相关系数法、影像差异法、灰度值峰谷深度法、影像对比法、灰度统计图法以及频域法其中之一 。
12、如权利要求8所述的影像调整方法，其特征在于，中该对比度聚焦指标曲线为计算影像像素内涵值统计分布的指标，以评价影像对比的程度。
13、如权利要求8所述的影像调整方法，其特征在于，中求得该对比度聚焦指标曲线的法则是为像素内涵值统计分布鉴别法则，该像素内涵值统计分布鉴别法则可选择为相关系数法、影像差异法、灰度值峰谷深度法、影像对比法、灰度统计图法以及频域法中之一。
14、如权利要求8所述的影像调整方法，其特征在于，中该调校程序还包括有下列步骤建该无干涉条纹影像成像位置和取像位置间的距离与该清晰度聚焦指标曲线的峰值和该对比度聚焦指标曲线的峰值间的距离的关系以该对比度聚焦指标曲线的峰值为中心决定一范围以及根据该关系，调整该无干涉条纹影像成像位置和取像位置间的距离，使该清晰度聚焦指标曲线的峰值不落于该范围内，以呈现清晰无干涉条纹影像。
15、种影像调整方法，其特征在于，其包括有下列步骤撷取一干涉影像；分别对干涉影像求得 一 清晰度聚焦指标以及对比度聚焦指标记录清晰度聚焦指标以及对比度聚焦指标；调整该干涉影像的成像位置；以及重复以上步骤，使该清晰度聚焦指标以及该对比度聚焦指标皆处于最大值的状态。
16、如权利要求1 5所述的影像调整方法，特征在于， 其中该清晰度聚焦指标曲线为计算影像相邻像素间内涵值差异性的指标，以评价影像清晰的程度
17、如权利要求1 5所述的影像调整方法，特征在于，其中求得该清晰度聚焦指标曲线的法则是为空间频率分布鉴别法则，该空间频率分布鉴别法则可选择为相关系数法、影像差异法、灰度值峰谷深度法、影像对比法、灰度统计图法以及频域法其中之-一 °
18、如权利要求1 5所述的影像调整方法 在于，其中该对比度聚焦指标曲线为计算影像像素间内涵值差巳 升性的指标，以评价影像对比的程度。
19、如权利要求1 5所述的影像调整方法，其特征在于， 其中求得该对比度聚焦指标曲线的法则是为像素内涵值统计分布鉴别法则，该像素内涵值统计分布鉴别法则可选择为相关系数法、影像差异法、灰度值峰谷深度法、影像对比法、灰度统计图法以及频域法中之一
20、种影像撷取装置，其特征在于，包括光束产生器，其可产生一光束；分光单元，其可反射该光束，以形成一反射光束；干涉镜组，其可将该反射光束调制成一参考光束以及量测光束，该量测光束入射至 一 待测物上的表面，并反射至该干涉镜组与该参考光束合光以形成一干涉光束，进入至该分光单元；以及成像单元，其可由该分光单元接收该干涉光束，以形成影像，该成像单元的 一 侧偶接有 一 第 一 致动器。
21、如权利要求2 0所述的种影像撷取装置，其特征在于，中该成像单元可选择为CCD以及CMOS其中之种。
22 、如权利要求2 0 其特征在于，其中该第一致 的致动器以及压电组件致动 像单元的位置。
23 、如权利要求2 0 其特征在于，其中该干涉镜 致动器，该第二致动器可选 及压电组件致动器其中之一 置。所述的种影像撷取装置，动器是可选择为马达驱动器其中之以调整该成所述的种影像撷取装置，组的侧还偶接有一笛一择为马达驱动的致动器以，以调整该干涉镜组的位
全文摘要
本发明是一种影像调整方法及影像撷取装置。该调整方法为计算影像的指标函数值，以判定成像单元与物镜取像的相对应位置是否正确，以校正该影像撷取装置的成像单元的成像位置，使系统能获得清晰的干涉条纹影像，以进行三维形貌量测。除此之外，依据成像关系，可调整成像单元位置，以获得干涉同调区域外的清晰无干涉条纹的影像，可针对此影像进行二维瑕疵检测与尺寸量测。
文档编号G01N21/88GK101349540SQ200710130600
公开日2009年1月21日 申请日期2007年7月18日 优先权日2007年7月18日
发明者张中柱, 郭世炫, 陈金亮 申请人:财团法人工业技术研究院