基板检查装置的制作方法

专利名称：基板检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及对安装在基板上的元件安装状态、基板上的印刷布线 图案、基板上的糊状焊料印刷图案等进行检查的基板检查装置。
背景技术：
自以往，作为上述检查装置，除在线(inline)型检查装置以外， 已知有通过操作人员的手动操作一一检査基板的线下(outline)用的台 式固定型(以下，简称为台式)检查装置。
例如，专利文献1中，公开了上述那样的台式检查装置的一种。 该检査装置，包括，获取基板图像的试验组件、进行是否良好的判断 等处理的主组件，在操作人员将基板安装于试验组件，给予开始检查 的指令后，通过搭载于试验组件上的扫描组件获取基板表面的图像， 将该图像的数据传送到主组件，根据该图像数据进行是否良好的判断 等处理，并将其结果显示在主组件的监视器上。在如此对一张基板进 行检查之后，由操作人员更换基板，接着对新的基板重复同样的检查。
然而，在如上述那样通过手动操作将基板安装于试验组件且在结 束试验之后更换下一个基板来予以使用的台式检査装置中，会出现由 于操作人员的疏忽而将已经过检查的基板再次安装到试验组件的情 况，当发生这样的情况时，会对同一基板进行重复检查，从而会降低 基板检查的工作效率。
专利文献1:日本专利公开公报特开2002-181730号
发明内容本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种能够切实地防止 对同一基板进行重复检查的基板检査装置。
为了达到上述目的，本发明所涉及的基板检査装置，是包括对基 板进行检査的检查组件、通过手动操作能够将基板供给到上述检查组 件的基板供给组件、显示包括上述基板的检查结果的规定信息的显示 单元的基板检查装置，该基板检査装置中，还包括识别单元，识别 上述基板上被给予的识别信息；履历确认单元，通过上述识别单元获 取上述基板的识别信息，并且根据该识别信息确认上述基板的检查履 历；控制单元，在由履历确认单元确认到基板已经过检查时，使上述 显示单元显示其内容，并且禁止上述检査组件对基板进行的检查动作。
采用该检查装置，检查组件对通过手动操作经由基板供给组件供 给的基板进行检查，该检查的结果被显示在显示单元上。但是，在根 据基板上被给予的识别信息确认到该基板已经过检查后，就将其内容 显示在上述显示单元上，并且禁止上述检查组件对基板进行的检查动 作。因此，能够防止对同一基板进行重复检查，其结果，能够避免由 该重复检查造成的时间损失，有效地进行基板的检査。


图l是表示本发明一实施方式所涉及的检查装置的立体图。 图2是表示上述检查装置的俯视图。 图3是表示上述检查装置的内部结构的纵向剖视图。 图4是表示上述检査装置的内部结构的横向剖视图。 图5是表示图3中液晶面板支撑部分的图。 图6是表示控制组件的安装结构的底架的剖视图。 图7是表示上述检査装置的控制系统的方框图。 图8是表示标在基板上的检查结束标记等的图。 图9是用于说明上述检查装置所进行的图像处理的内容的模式图， 其中，(a)表示基板的摄像图像，(b)表示基准图像数据，(c)表示(a)和(b)的差分图像。
图IO是表示显示在液晶监视器上的操作人员的目视判断用图像的 示意图。
图11是表示控制组件所执行的控制动作的内容的流程图。
图12是表示图11的流程图中执行的基板检查控制的子流程。 图13是将多台检查装置排列成扇形的状态的俯视图。
具体实施例方式
下面，结合附图，就本发明的优选实施方式之一，进行详细说明。
图1以及图2，概略地表示本发明一实施方式所涉及的基板检查装 置l。如图1、图2所示，检查装置l，其整体呈箱形，包括构成其后 侧的后侧部分2A和从该后侧部分2A的前端下部向前方延伸的前侧部 分2B，具有侧视时呈L字形的外观形状。这样的检查装置l的外形， 由覆盖后述的检査组件50等内部元件的外壳Ca所形成。
在该检查装置1的上述前侧部分2B上，设置有用于将印刷基板P 放入装置内或者从装置内取出印刷基板P的朝上开口的出入口 6。该出 入口6，由形成于外壳Ca的开口部构成，并且设置在检查装置l的宽 度方向上的中央(图2中，左右方向上的中央)。
在上述出入口 6的上方且后侧部分2A的前面部分，设置有液晶监 视器4 (相当于本发明所涉及的显示单元)。该液晶监视器4，由所谓 的触摸式液晶显示器构成，检查结果等各种信息显示在该液晶监视器4 上，并且通过操作人员用手指触及监视器上的显示画面，对检查装置l 进行各种输入。
上述前侧部分2B中与液晶监视器4并排的部分上，设置有维护用 的门9。该门9，使上述外壳Ca的局部实现开闭，而且，在必要时通 过开启该门9，使操作人员访问检査装置1的内部，更换后述的记号笔等。另外，上述外壳Ca中的上面盖Cal可以拆卸，在卸下该上面盖 Cal的状态下，可进行后述摄像组件51的维护等。
如图1所示，在上述外壳Ca的后侧部分2A的左右两侧，设置有 由凹部构成的把手部3，以便操作人员的手伸进把手部3搬运检查装置 1。另外，在图1以及图2中，符号8表示设置在上述出入口 6的旁侧 的紧急停止按钮。
检査装置1，其宽度从装置后侧向前侧变细。详细而言，由上述外 壳Ca构成的检査装置1的侧面中的前侧部分2B的一侧侧面(图2中 为左侧侧面)，相对于前后方向倾斜规定角度a ，由此，检査装置1 的宽度向前侧变细。这是为了紧凑地设置多个检查装置1以提高操作 性而作出的措施，对于该点，在后面进行详细说明。
图3以及图4，表示检査装置1的具体内部结构。如图3以及图4 所示，在检查装置l的内部，设置有底架(base frame) 10，在该底架 10上，安装有用于保持由操作人员的手通过上述出入口 6予以供给的 印刷基板P并使其移动的基板供给组件24和、对保持在该基板供给组 件24上的印刷基板P进行拍摄等从而检查该印刷基板P的外观的检查 组件50等。
上述底架IO， 一体地具备具有越靠前侧(设置液晶监视器4的一 侧)其高度越低的向前方下降的倾斜面12a的基座部12、和从该基座 部12的左右两端分别竖起的侧壁部14,并且由例如铝压铸件等铸造品 构成。
上述基板供给组件24，固定在上述基座部12的倾斜面12a上，其 包括，使滑块22沿着该倾斜面12a在前后方向(以下，该方向称为Y 轴方向)移动的线性电动机式的单轴机器人20、固定在上述滑块22的 工作台30。上述工作台30，用于保持印刷基板P，具体而言，以被检查面平
行于上述倾斜面12a的状态保持基板P。该工作台30，通过上述单轴 机器人20的运作，能够在与上述出入口 6面对的原位置(home position) (图3的实线所示位置)和与后述的摄像组件51面对的检查位置(图 3的二点划线所示位置)之间沿Y轴方向移动。而且，在上述原位置， 通过操作人员的手动操作，进行在工作台30上的印刷基板P的装卸， 并且在工作台30从原位置移动到检查位置的状态下，通过摄像组件51 对印刷基板P进行拍摄。
该工作台30，包括，固定在上述滑块22的上面部的板32;安装 在该板32上且沿左右方向延伸的前后一对基板保持支架36、 38(以下， 有时称之为前侧支架36、后侧支架38)，印刷基板P被夹紧在上述支 架36、 38之间。具体而言，在两个支架36、 38中的后侧支架38上， 设置有可在Y轴方向上能够变位并且通过压縮螺旋弹簧等弹性部件的 作用而向前方侧赋势的可动部39，并且在该可动部39和上述支架36 . 的互相面对的部分，分别形成有阶梯状基板接受部。手拿印刷基板P 的操作人员，将印刷基板P的前后边缘放置在上述基板接受部，并将 该基板P嵌入前侧支架36和可动部39之间(参照图3)，该印刷基板 P便通过压縮螺旋弹簧等的弹性夹紧在两个支架36、 38之间，由此， 印刷基板P以前侧支架36作为基准在Y轴方向予以定位，并以该状态 保持在工作台30。而且，在前侧支架36的左右方向的一侧，设置有定 位板36a，印刷基板P的一端(左右方向的一端)与该定位板36a抵接， 由此，该基板P在左右方向(以下，称为X轴方向)上得以定位。
另外，上述前侧以及后侧支架36、 38的间隔，可以对应于基板尺 寸进行改变。具体而言，在上述板32的后端，固定有端板34，在该端 板34和上述前侧支架36之间固定有互相平行的左右一对导向杆35。 而且，上述后侧支架38，相对于上述导向杆35可滑动地予以安装，另 外，还设置有能够在上述导向杆35的任意位置上锁住后侧支架38的锁紧装置(未图示)。即，以前侧支架36作为基准使后侧支架38滑
动，并且通过上述锁紧装置在所希望的位置上锁住后侧支架38，由此 能够改变两个支架36、 38之间的间隔。
如图4所示，上述工作台30的板32，埋设有由光学传感器构成的 基板检测单元33，通过该基板检测单元33，检测印刷基板P是否已安 装在工作台30上。另外，本实施方式中，在印刷基板P安装在工作台 30上的状态下，基板检测单元33的检测信号为ON，在印刷基板P没 有安装在工作台30上的状态下，其信号为OFF。
上述检查组件50，包括，使滑块42沿X轴方向进行移动的单轴 机器人40、通过滑块42组装在该单轴机器人40上的摄像组件51 。
上述单轴机器人40，与用于驱动工作台30的上述单轴机器人20 同样，由线性电动机式的单轴机器人构成，并且以横跨在上述两侧壁 部14的状态固定在底架10上。
上述摄像组件51，包括，由CCD或者CMOS图像传感器等区域 传感器构成的照相机52 (相当于本发明所涉及的识别单元)、对拍摄 对象的印刷基板P照射照明光的照明装置54，而且，上述照相机52， 从垂直于印刷基板P的表面的方向拍摄保持在上述工作台30的印刷基 板P。上述摄像组件51,伴随上述滑块42的X轴方向的移动，可在基 板供给组件24的单轴机器人20上方的拍摄位置和，在图4中以二点 划线以及实线表示的位置之间进行移动。摄像组件51，通常保持在上 述拍摄位置，而在后述那样的标号组件(marking unit) 55的更换等时， 移动到图4的二点划线所示位置，在拆卸上面盖Cal而对摄像组件51 进行维护时，移动到图4的实线所示位置。
上述检查组件50上，安装有对应于检查结果等在印刷基板P上写 入规定标记的标号组件55 (相当于本发明所涉及的标号单元)。该标号组件55，包括，用于写入标记的记号笔56、使该记号笔56进退的 驱动机构。通过该驱动机构的运作，上述记号笔56，可在与保持在工 作台30的印刷基板P抵接的作业位置(图3中二点划线所示位置)和， 从该位置向上方退避的退避位置(图3中实线所示位置)之间进行进 退移动。另外，作为上述驱动机构，可以应用，例如由电动机驱动的 滚珠丝杠使记号笔56在单轴方向上进行进退的直动式机构等。
如图3以及图4所示，上述标号组件55，通过连接臂58固定在摄 像组件51，由此能够与该摄像组件51 —同沿着X轴方向进行移动。 另外，标号组件55，其左右方向上的可移动区域中的一端侧(图4中 二点划线所示位置)，位于图1以及图2所示的门9的背侧(后侧)。 即，在标号组件55位于该位置的状态下，通过开启门9，操作人员能 够容易进行记号笔56的更换等。
在上述底架10的上方，还设置有沿前后方向延伸的梁19。如图5 所示，该梁19，固定于架设固定于底架10的两侧壁部14的前后一对 门型副支架16、 18上。在该梁19的先端，支撑有上述液晶面板4。如 图3所示，液晶面板4的支撑位置，在前后方向上，位于摄像组件51 对基板P进行拍摄的拍摄位置和上述出入口 6之间的大致中间部分， 并且位于摄像组件51的前侧。
上述液晶面板4，可倾斜地支撑在梁19的先端部。具体而言，在 上述梁19的先端部，连接有以沿X轴方向延伸的支轴45为支点能够 转动的联轴器46，而在该联轴器46上安装有上述液晶监视器4，由此， 能够改变该液晶监视器4相对于铅垂线的倾斜角(能够向前后方向改 变姿势)。另外，液晶面板4，还可以向左右方向改变姿势，或者可以 向任何方向改变姿势。
另外，如图3所示，在上述基板供给组件24的设置部的上方且上 述检查组件50的后侧空间，设置有用于对检査组件50的上述单轴机器人40进行驱动控制的驱动器66。具体而言，在底架10的两侧壁部
14以及副支架18上固定有左右一对侧板67，并且在该侧板67之间架 设有支撑板68，而在该支撑板68之上固定有上述驱动器66。
另一方面，在上述底架IO的基座部12的内部，设置有集中控制 检查装置1的控制组件60、上述基板供给组件24的单轴机器人20用 的驱动器62等。即，如图6所示，在上述基座部12的内部，形成有 由向下方以及向后方开口的凹部构成的剖面形状大致呈三角形的空间 15，而在该空间15内，设置有上述控制组件60以及驱动器62。另外， 在图3以及图6中，符号64表示用于冷却上述控制组件60等的冷却 风扇。
上述控制组件60、驱动机62、以及冷却风扇64， 一体固定在主要 覆盖检查装置1的下面部以及后面部的下罩板65上，该下罩板65从 下侧安装于底架10的基座部12，在此状态下，上述各设备60、 62、 64收容于该基座部12的上述空间15内。
上述控制组件60，包括，进行理论演算的CPU、用于存储控制该 CPU的各种程序等的ROM、装置运行中临时存储各种数据的RAM、 存储各种数据或软件的HDD。而且，如图7的方框图所示，该控制组 件60，与基板供给组件24及检查组件50用的单轴机器人20、 40、摄 像组件51 (照相机52以及照明装置54)、标号组件55、液晶监视器 4以及基板检测单元33电性连接。其中的单轴机器人20、 40，通过上 述驱动器62、 66分别与控制组件60相连接。而且，控制组件60,为 了按照预先存储的运作程序对印刷基板P进行一连串的检査作业，集 中控制上述基板供给组件24、检查组件50等的动作，并且根据上述检 查组件50的照相机52所拍摄的图像判断印刷基板P的是否良好，或 者对应于其判断结果控制上述液晶监视器4的显示内容。
上述结构的检查装置1,例如按照如下顺序对印刷基板P进行检査。
检査装置1启动之后，装置1保持在待机状态，直至试验开始。 在该待机状态中，上述基板供给组件24的工作台30位于原位置，液 晶面板4显示规定的菜单画面。
在该状态下，操作人员，通过手动操作，将印刷基板P安装在位
于上述原位置的工作台30上，并且触摸液晶面板4选择上述菜单画面 中的"开始检査"，从而开始该基板P的检查。另外，将印刷基板P 安装在上述工作台30上时，将印刷基板P以其被检查面(安装有元件 的面)朝上的状态嵌入到基板保持支架36、 38之间来进行安装。此时， 印刷基板P与定位板36a抵接而得以定位。
接着，检査一旦幵始，根据上述基板检测单元33的检测信号确认 到印刷基板P已安装在工作台30上的事实之后，通过上述基板供给组 件24的单轴机器人20的运作，工作台30沿Y轴方向进行移动，印刷 基板P定位于检査位置。而且，通过检査组件50的单轴机器人40的 运作，摄像组件51沿X轴方向进行移动，由此，摄像组件51的照相 机52定位于与印刷基板P面对的位置上，在上述照明装置54的照明 光的照射下，通过该照相机52对印刷基板P进行拍摄。
通过该照相机52拍摄印刷基板P时，以印刷基板P的尺寸或元件 的安装密度等各条件，按预先设定好的拍摄区域分开进行。即，对应 于印刷基板P的尺寸等，印刷基板P的被检査面分割成多个拍摄区域， 并且被分割的各拍摄区域，通过随着工作台30以及摄像组件51的移 动而相对于印刷基板P在XY方向移动的照相机52，被依次拍摄。由 此，即使在印刷基板P的尺寸较大的情况下也能够以优越的析像度拍 摄该基板P。另外，根据印刷基板P的尺寸，还可以在一次的摄像处理 中拍摄基板P的整体图像。后，上述控制组件60，根据所摄 像的图像对印刷基板P的外观(更加具体而言，印刷基板P上的元件 的安装状态)进行是否良好的判断。在此，若判断结果为不良品，控
制组件60，使该基板P的图像显示在液晶面板4上，使操作人员根据 显示在该液晶面板4上的印刷基板P的图像进行目视判断。而且，在 该目视判断中再次判断为不良品，即上述控制组件6 0的自动判断和操 作人员的目视判断双方均判断印刷基板P为不良品时，印刷基板P才 作为不良品而被处理。另外，上述控制组件60所进行的印刷基板P的 是否良好判断动作的具体内容，在后面进行详细说明。
如此，印刷基板P的是否良好判断动作结束之后，随着工作台30 以及摄像组件51的移动，被定位于印刷基板P上方的规定位置上的标 号组件55开始运作，如图8所示，在印刷基板P的上表面(被检查面) 的规定位置上标上表示该基板已经检査结束的检査结束标记M。另外， 在图8所示的例子中，在基板P安装在工作台30的状态下，检查结束 标记M被标在基板P上的装置后侧(检査位置侧)的端部(角部)上。 接着，随着工作台30的移动，印刷基板P返回原位置，操作人员用手 从工作台30取出印刷基板P，从而结束该基板P的检查。之后，通过 重复进行上述检查顺序，依次对多个印刷基板P进行外观检查。另外， 检查结束之后，操作人员对液晶面板4进行规定的触摸操作，该液晶 面板4的显示画面就返回到菜单画面，检查装置1返回到上述待机状 态。
然而，作为上述检查组件50的检查对象(即，照相机52进行拍 摄处理的对象)的印刷基板P，有时有可能时已经过检査的基板。艮卩， 被检查组件50已检查过的基板P,因操作人员的疏忽，有时会再次安 装到基板供给组件24，如果检查组件50对该已检查过的基板P再次进 行检查，则会损失相应的检查作业时间。对此，作为用于防止检查组 件50对印刷基板P进行重复检查的措施，控制组件60，首先通过照相 机52确认在检查过的印刷基板P上是否存在被标上的上述检查结束标记M，在此，当判明不存在检査结束标记M (即，印刷基板P尚未接
受检查)，才使检查组件50执行由照相机52拍摄印刷基板P (拍摄基
板p上的元件安装状态)等的一连串检查动作。相反，如果已确认到
在印刷基板P上存在检查结束标记M (即，印刷基板P已接受过检查) 时，控制组件60，不会使上述检査组件50执行印刷基板P的检査动作， 而会使液晶监视器4显示印刷基板P已经过检查的内容。g卩，由上述 控制组件60构成，根据检查结束标记M的有无来确认印刷基板P的检 查履历的履历确认单元和，当该印刷基板P确认为已经过检查时使液 晶监视器4显示其内容并且禁止上述检查组件50执行印刷基板P的检 查动作的控制单元。
下面，对上述控制组件60所进行的是否良好判断动作等的具体内 容进行说明。上述照相机52拍摄印刷基板P的被检査面之后，控制组 件60，首先，进行将上述基板P的摄像图像与作为良品基板的基准的 基准图像数据进行比较的处理。具体而言，控制组件60，将由一个或 多个良品基板的样本图像构成的基准图像数据存储于其内部的存储部 61 (图7)中，通过对该基准数据图像和上述照相机52所拍摄的印刷 基板P的摄像图像进行比较从而取得差分，并且根据该差分的图像， 判断印刷基板P的是否良好。另外，上述差分图像的抽出，例如，通 过使分开设置在印刷基板P的上表面(被安装面)的多个位置上的位 置对准用的基准标记F (参照图8)，在印刷基板P的摄像图像和基准 图像数据之间相一致，从而在两图像被位置对准的状态下进行。
图9是用于说明上述图像处理的内容的模式图，图9的(a)表示 照相机52所拍摄的印刷基板P的摄像图像，图9的(b)表示基准图 像数据，图9 (c)表示通过控制组件60进行图像处理而得到的差分图 像。如图9所示，印刷基板P上安装有各种电子元件，当上述电子元 件的安装位置或者种类等，在图9的(a)的摄像图像和图9的(b)的 基准图像数据之间出现相异时，与此对应的差分因素被显示在图9的 (c)的差分图像中。例如，图9的(a)中的电子元件a和图9的(b)中的电子元件a'，它们的安装位置存在偏移，因此，在图9的(C) 的差分图像中显示有对应于电子元件a、 a'的位置偏移的差分因素a 。 另外，图9的(a)中的电子元件b和图9的(b)中的电子元件b'， 它们的元件种类不同，因此，在图9的(c)的差分图像中显示有对应
于各个电子元件b、 b'的不同表面颜色的差分因素e 。另外，在图9
的(c)的差分图像中，除了上述差分因素a、 P之外，还显示有以符 号e所表示的微小的差分因素。
经规定的图像处理来抽出如图9的(c)所示差分图像的控制组件 60，接着，判断上述各个差分因素(ct、 0等)的面积是否在预先规 定的的上限值以下，如果在上限值以下，则判断印刷基板P为良品， 而如果大于上限值，则判断为不良品。
图IO表示作为操作人员的目视判断用图像显示在上述液晶监视器 4上的印刷基板P的图像。如图10所示，在液晶监视器4，显示有对 图9 (a)所示的印刷基板P的摄像图像叠加图9的(c)的差分图像的 图像。此时，面积在上述上限值以下的差分因素(图9 (c)的e )被 省略，而大于上限值的差分因素a 、 P，对应于其差分特性，着色成 不同颜色的状态予以表示。这是为了使操作人员的目视判断更加容易 地进行而采取的措施，例如，电子元件的位置偏移而产生的差分因素 a着色成蓝色，电子元件的种类不同而产生的差分因素P着色成红色 等。接着，操作人员，目视这样的液晶监视器4的显示画面，进行印 刷基板P的目视判断，并且，通过触摸液晶监视器4将其结果予以输 入。
下面，根据图11~图12所示的流程图，说明具上述结构的检査装 置1的控制组件60的控制动作。该控制动作一旦开始，控制组件60， 在操作人员触摸液晶面板4输入开始检查指令(步骤S1)之后，判断 印刷基板P是否安装在基板供给组件24的工作台30上，即，判断操 作人员是否将印刷基板P手动安装在位于原位置的工作台30 (参照图3的实线)上(步骤S3)。具体而言，在上述步骤S1中输入开始检查
指令之前，确认基板检测单元33的检测信号是否从OFF切换到ON， 从而判断印刷基板P是否安装在工作台30上。在步骤S3中判断为NO， 即在确认到印刷基板P未安装在工作台30上(检测信号为OFF)时， 或者上一次检查中的基板P未经更换还留在工作台30上(检测信号保 持ON不变)时，执行在液晶监视器4上显示警告信息，以促使操作人 员安装印刷基板P的控制(或者，重新安装另一个印刷基板P)(步骤 S5)。
另一方面，在上述步骤S3中判断为YES，即在确认到印刷基板P 正确地安装在工作台30上时，执行使单轴机器人20运作，使上述工 作台30沿Y轴方向移动，从而使印刷基板P移动到图3的二点划线所 示的检查位置上的控制(步骤S7)。接着，进入步骤S9，判断印刷基 板P是否已经过检查。具体而言，通过单轴机器人40的运作，使摄像 组件51的照相机52沿X轴方向进行移动，而且必要时还使上述工作 台30沿Y轴方向进行移动，从而将照相机52定位于印刷基板P上的 标写检查结束标记M (图8)的位置的上方，并通过照相机52确认有 无上述检查结束标记M，以判断印刷基板P是否已经过检查。
而且，在上述步骤S9中判断为NO，即在确认到印刷基板P未经 过检査时，进入对印刷基板P进行拍摄而判断其是否良好等的基板检 査控制(步骤Sll)。该基板检查控制的具体内容，在后面进行详细说 明。该基板检查控制结束，从而印刷基板P的检查动作结束之后，控 制组件60，使标号组件55进行运作，执行在印刷基板P上标写检査结 束标记M的控制(步骤S13)，然后，使单轴机器人20进行运作，使 工作台30沿Y轴方向进行移动，执行使该工作台30上的印刷基板P 返回到操作人员能够装卸印刷基板P的原位置上的控制(步骤S15)。
另一方面，在上述步骤S9中判断为YES，即印刷基板P已经过检 査时，换言之，在确认到已经过检查的印刷基板P再次安装到基板供给组件24上时，执行在液晶监视器4上显示表明该印刷基板P已经过
检查的内容的警告信息的控制(步骤S17)。此时，在液晶监视器4上，
还同时显示用于指示是否继续进行检查的选择画面。这是出于有时因 某种原因操作人员希望再次对已经过检查的印刷基板p进行检查时， 用于确认操作人员的这样的意图的措施。于是，判断是否有基于该液
晶监视器4上的选择操作指示继续进行检査的输入(步骤S19)，在此 判断为YES，即在确认到输入有继续检査指令时，进入上述步骤Sll, 执行基板检査的控制。另一方面，在上述步骤S19中判断为NO，即在 确认到输入有中止检査指令时，无须执行上述基板检查的控制而进入 步骤S15，执行使印刷基板P返回原位置的控制。
图12是表示上述图11的步骤Sll中的基板检查控制的具体内容 的子流程。该子流程一旦开始，控制组件60，首先，执行使摄像组件 51的照相机52拍摄印刷基板P的控制(步骤S21)。具体而言，使单 轴机器人40进行运作，将摄像组件51定位在位于上述检查位置的印 刷基板P的上方，并且使照明装置54照射照明光以照亮基板P，在该 状态下向照相机52输出控制信号使其拍摄印刷基板P。接着，执行对 应于该印刷基板P的摄像图像的大小等，决定在后面的步骤中作为判 断印刷基板P的是否良好时的基准的上限差分面积A的控制(步骤 S23)。
接着，控制组件60，从其存储部61读取作为良品基板的基准的基 准图像数据(步骤S25)，并且对该基准图像数据和上述步骤S21中所 获得的印刷基板P的摄像图像进行比较而得到差分，从而抽出如图9 的(c)所示的差分图像，并且计算出该图像内的各个差分因素(图9 的(c)中的a、 p)的面积s (步骤S27)。
接着，控制组件60，判断上述各个差分因素的面积s (以下，简 称为差分面积s)是否在上述步骤S23中获取的上限差分面积A以下(步 骤S29),在该步骤S29中判断为YES，即在确认到上述差分面积s在上限差分面积A以下时，换言之，在确认到印刷基板P上的电子元 件不存在较大的位置偏移等不良情况时，进入下一个步骤S31，执行在 液晶面板4上显示检査结果为良品的内容的控制。另外，当如上述那
样分开多个区域一一对印刷基板P进行了拍摄时，上述步骤S29中的 差分面积s的判断处理，按每一拍摄区域进行。此时，当确认到在所有 拍摄区域上述差分面积s均在上限差分面积A以下时，在上述步骤S29 中才判断为YES。而且，在该步骤S29中，当存在多个上述基准图像 数据时，在与该多个基准图像数据中的任何一个数据的比较中，如果 确认到上述差分面积s在上限差分面积A以下，则判断该印刷基板P 为良品(步骤S29中YES)。相反，在上述步骤S29中，在与多个基 准图像数据的所有数据的比较中，上述差分面积s均大于上限差分面积 S时，才判断为NO。
在上述步骤S29中判断为NO，即在确认到上述差分面积s大于上 限差分面积A时，换言之，在确认到有可能存在电子元件的安装位置 有较大的位置偏移等不良情况时，进入下一个步骤S33，执行使液晶监 视器4显示操作人员的目视判断用的图像的控制。具体而言，使液晶 监视器4显示，对照相机52所拍摄的印刷基板P的摄像图像，叠加了 上述步骤S27中抽出的差分图像并且进行了上述那样的着色处理(将 差分因素着色成对应于差分特性的颜色的处理)等的图像(参照图10)。 接着，控制组件60，判断根据显示在该液晶监视器4上的图像进行的 目视判断结果是否为良品(步骤S35)。具体而言，判断是否有基于操 作人员触摸液晶面板4的操作而从液晶面板4输入的表示判断结果为 良品的操作信号。
在上述步骤S35中判断为YES，即在确认到操作人员的目视判断 结果为良品时，进入步骤S31，执行在液晶面板4上显示检查结果为良 品的内容的控制。另一方面，在上述步骤S35中判断为NO，即在确认 到操作人员的目视判断结果为不良品时，发出警报(步骤S37)，并且 使上述标号组件55进行运作，执行在印刷基板P上付予表示该印刷基板P为不良品的NG标记(省略图示)的控制(步骤S39)。另外，只 要使图11的步骤S13中对印刷基板P付予的检查结束标记M的种类， 在印刷基板为良品时和不良品时互不相同，就可以将该检查结束标记 M兼用于NG标记，从而可以省略上述步骤S39的处理。
由于根据上述的控制动作进行的印刷基板P的外观检查需要一定 的时间，因此，通常，会排列设置多台上述检查装置1，并且使各个检 查装置1隔一定的时间差对印刷基板P迸行检查。由此， 一位操作人 员也能够有效地对印刷基板P进行检查。此时，如图13所示，多台(图 13中为5台)检查装置1、 1…排列成扇形，因此，操作人员能够更加 有效地进行检查。gP，如上所述，由于检查装置1的前侧部分2B的宽 度向前侧变细，因此，在排列各个检査装置1、 1…时，通过使上述部 分互相抵接，能够将多个检查装置1、 1…排列成以操作人员的站立位 置为中心的扇形。
如上所述，上述检査装置1，包括，对印刷基板P进行检查的检 查组件50、通过手动操作能够将印刷基板P供给到检查组件50的基板 供给组件24、显示包括上述印刷基板P的检査结果的规定信息的液晶 监视器4，该检查装置中，还包括，在根据印刷基板P上所付予的检查 结束标记M确认到该基板已经过检查时，使上述液晶监视器4显示其 内容，并且禁止上述检查组件50对印刷基板P进行的检査动作(照相 机52进行的印刷基板P的拍摄等一连串动作)的控制组件60，因此， 能够切实地防止对同一印刷基板P进行重复检查，避免由该重复检查 造成的时间的损失，有效地进行基板的检查。
艮P，在上述检查装置1，印刷基板P通过元件供给组件24的搬送， 到达检查位置上之后，立即由照相机52检查该印刷基板P上有无检査 结束标记M，而且，只在确认到不存在该检查结束标记M，即印刷基 板P尚未接受检査时，才执行由照相机52拍摄印刷基板P (拍摄印刷 基板P上的元件安装状态)或者进行其图像处理等动作，因此，检查组件50不会再次对已经过检查的印刷基板P进行检查，能够有效地避 免对同 一 基板P进行重复检查而造成的时间损失。
尤其，如图13所示，使用多台检查装置1对印刷基板P进行检査 时，相对容易发生将已经过检查的印刷基板P再次安装给检查装置1 (的基板供给组件24)的失误，但如果在这样的使用状态下采用上述 结构，能够有效地避免时间的损失，更有效地进行印刷基板P的检查。
另外，上述检査装置1，在结束对印刷基板P的检查之时，通过
标号组件55的运作，在印刷基板P上付予表示该印刷基板P已经过检 査的检查结束标记M，因此，以只需检查该检查结束标记M的有无这 样简单的结构，就可以判断印刷基板P是否已经过检查。
此外，上述检查装置l，通过基板供给组件24的运作，使印刷基 板P在能够装卸印刷基板P的原位置和检查组件50对基板P进行检查 的检查位置之间进行往复运动，而且，只需将印刷基板P安装在基板 供给组件24的原位置上，之后的一连串动作，即印刷基板P移动到检 査位置或者在检查位置检查完毕的印刷基板P返回到原位置等动作自 动予以进行，因此，能够有效地提高检查装置1的使用便利性。
另外，上述检查装置l，在印刷基板P通过基板供给组件24搬送 到检查位置之时，检査该基板P是否已经过检査，在此，如果确认到 该印刷基板P已经过检查，则进行在液晶监视器4上显示警告信息等 规定动作，然后立即使基板供给组件24迸行运作，将印刷基板P移动 (返回)到原位置，因此，能够尽可能地縮短由于疏忽将已经过检查 的印刷基板P安装在基板供给组件24所浪费的时间，有效地抑制基板 检查的作业效率的下降。
此外，上述检査装置1，在确认到操作人员没有输入继续进行检查 的指令(操作人员触摸液晶监视器4输入检查中止指令)之后，进行检查位置的印刷基板P移动到原位置的动 作，因此，根据操作人员的意图，可以恰当地中止或继续印刷基板P 的检查。
此外，上述检查装置l，通过设置在上述基板供给组件24的基板
检测单元33确认到印刷基板P存在之后，进行使安装在基板供给组件 24的原位置上的印刷基板P移动到检査位置的动作，因此，能够防止
在印刷基板p没有安装在原位置上的状态下(忘记安装印刷基板p的
状态)，基板供给组件24进行向检查位置的搬送操作，从而能够切实 地避免由此产生的时间损失。
另外，上述检查装置l，其的检查组件50、基板供给组件24、液 晶面板4等各个部件， 一体安装在共同的支架部件(即，上述底架10， 副支架16、 18，以及梁19等)上，从而能够放置在台上，因此，能够 节省检查装置1所占空间，尤其不受场地限制可在各种场所使用该检 査装置1。例如，以往的这种检查装置(背景技术中的日本专利文献1) 中，由独立的两个组件即试验组件和主组件构成，而且，主组件由台 式计算机构成，因此，无法将多台检查装置紧凑地设置在小空间上， 但是，采用上述实施方式的检查装置1，可以解决上述问题，在小空间 内紧凑地设置多台检查装置1。尤其，在该检查装置1，液晶面板4， 在前后方向上，设置在摄像组件51对基板P进行拍摄的拍摄位置(检 査位置)和上述出入口 6之间的大致中间部分，并且设置在摄像组件 51的前侧，因而液晶面板4难以向装置两侧(宽度方向)突出。因此， 由于没有上述的突出，检查装置1本身能够在宽度方向上节省空间， 而且，如上所述，能够将多台检查装置1以互相抵接的状态横向排列。 此时，如上所述，能够将多台检查装置1以操作人员的站立位置为中 心配列成扇形，因此，能够紧凑地排列多台检查装置1，并且能够使操 作人员到达各个检査装置的距离大致相同。因此，相比横向笔直排列 检查装置，能够在较小的空间内有效地进行检查作业。中，通过基板供给组件24，将印刷基板P在 与上述出入口 6相对的位置和检查位置之间进行搬送，但上述检査位 置相对于上述出入口 6设置在上方，从而斜向搬送印刷基板P，因此，
相比在水平方向上将印刷基板P搬送相同距离，基板供给组件24在前
后方向上所占空间变小。因此，能够节省检查装置1在前后方向上所 占空间。而且，由于利用上述斜向搬送印刷基板p的结构，在基板供
给组件24 (单轴机器人20)的下方形成剖面呈三角形的空间15，并将 控制组件60设置在其内，因此，无需另行设置安装空间，就可以将控 制组件60合理地安装在检查装置1。因此，该点，也可以节省检査装 置1的所占空间。而且，此时，由于控制组件60安装在基座部12内 的坚固的空间内，因而有利于保护该组件60。
而且，基板供给组件24，以印刷基板P的被检查面与底架10的 倾斜面12a平行(与印刷基板P的搬送方向平行)的倾斜姿势通过工 作台30支撑印刷基板P，在该状态下搬送基板P，即以其后侧高起的 状态搬送印刷基板P，因此，在出入口 6将印刷基板P安装在工作台 30上时，基板后侧的视觉辨认度良好。因此，可以在目视确认的情况 下切实地且正确地将印刷基板P安装在工作台30上，从而能够有效地 防止在基板P未完全安装的状态下进行检査。
以上所说明的检查装置1，只是本发明的优选实施方式的一个例 子，其具体结构，可在不脱离本发明主旨的范围内适当进行变更。
例如，在上述实施方式中，在印刷基板P移动到图3的二点划线 所示的检査位置之后，进行确认印刷基板P上有无检查结束标记M的 动作(由照相机52确认有无该标记M)，但是，还可以在该印刷基板 P完全移动到检查位置之前(基板P位于原位置和检查位置之间的状 态)，进行上述检查结束标记M的确认动作。此时，若确认到存在检 查结束标记M时，立即使印刷基板P返回原位置，从而能够进一步縮 短由于疏忽安装了已经过检查的印刷基板P所浪费的时间。尤其，如图8所示，当检查结束标记M被付予在安装于工作台30上的印刷基板 P上的检查位置侧的端部上时，由于上述印刷基板P的检查位置侧的端
部到达摄像组件51的下方时，通过照相机52就可以确认有无上述检 查结束标记M，因此，使印刷基板P移动到能够确认检査结束标记M 的位置的移动距离变短，从而能够有效地缩短上述浪费的时间。
而且，在上述实施方式中，作为判断印刷基板P是否已经过检查 (即，确认印刷基板P的检查履历)的识别信息，使用了被付予在检 查结束的印刷基板P上的检查结束标记M,但是，例如，如图8的二 点划线所示，当各个印刷基板P上被付予了能够确定各印刷基板P的 ID代码B时，还可以将该ID代码B作为上述识别信息予以利用。艮P， 例如，通过在控制组件60的存储部61 (存储单元)中，将上述ID代 码B和印刷基板P的检查履历相互对应地存储，并且将由照相机52所 获取的ID代码B对照上述存储部61内的履历信息，由此，能够切实 地判断作为检查对象的当前的印刷基板P是否已经过检査。
此外，在上述实施方式中，作为检测基板供给组件24的工作台30 上是否安装有印刷基板P的基板检测单元33，使用了光学传感器，但 是，作为该基板检测单元33，只要能够检测印刷基板P的有无，也可 以例如使照相机52兼作基板检测单元33。具体而言，只要在工作台 30的板32上，贴上与周围颜色不同的白板，就能够以该白板是否被照 相机52识别来确认印刷基板P的有无。即，在未安装印刷基板P的状 态下，会拍摄到上述工作台30上的白板，因而摄像图像的亮度会增高， 而安装有印刷基板P时，该白板被遮住，因而图像的亮度会下降。于 是，可以根据上述图像的亮度差检测印刷基板P。
另外，在本实施方式中，在操作人员的目视判断中印刷基板P判 断为不良品时(确定印刷基板P为不良品时)，发出警报，但是，除 了上述时期以外，在其它时间也可以适当地发出警报。例如，可以在 检査结束之后印刷基板P返回到原位置时，发出短暂的警报，以促使操作人员取出印刷基板P，另外，还可以在控制组件60的自动判断中
印刷基板p判断为不良品时，发出短暂的警报，以促使操作人员对印 刷基板p进行目视判断。而且，如此在上述多个时期发出警报时，只 要对应于上述时期改变警报的长度或音量，操作人员就可以容易地理 解警报所指意思。
此外，在上述实施方式中，检查装置l,仅前侧部分2B的一侧的 侧面部分为相对于前后方向倾斜的左右不对称结构，但是，还可以使 前侧部分2B的两侧的侧面部分为倾斜的左右对称结构。釆用该结构， 可以加大图13所示的将多台检査装置l排列成扇形时的排列的曲率。
另外，在上述实施方式中，仅检查装置1的侧面部分中的前侧部 分2B为倾斜的结构，但是，当然，还可以形成为从后侧部分2A至前 侧部分2B连续的倾斜面的结构。此时，如同上述，也可以使检查装置 1的两侧的侧面部分为倾斜的左右对称结构。采用该结构，可以使图 13所示的将多台检查装置1排列成扇形时互相邻接的各装置紧密贴近。 但是，当采用该结构时，由于检查装置1的侧面部分上的倾斜部分增 加，相比于上述实施方式的检査装置1，检查装置1的内部空间便变得 狭窄，因此要想以充裕的空间安装上述基板供给组件24等部件，较为 理想的是，如同上述实施方式那样，尽量减少侧面部分中的倾斜部分。
此外，在上述实施方式中，基板供给组件24的工作台30向相对 于水平面倾斜的方向移动，但是，也可以使工作台30沿水平面移动。 另外，在上述实施方式中，将印刷基板P安装在工作台30上时使其被 检查面朝上，并且使摄像组件51从印刷基板P的上方拍摄被检查面， 但是，基板供给组件24以及摄像组件51，还可以采用例如如下结构， 即，以印刷基板P的被检查面朝向侧面的状态使该印刷基板P安装在 工作台30上(图4中，左侧或右侧)，由摄像组件51从印刷基板P 的侧面拍摄被检查面。另外，在上述实施方式中，基板供给组件24，以被检查面与底架
IO的倾斜面12a平行(与印刷基板P的搬送方向大致平行)的倾斜姿
势保持印刷基板p，在该状态下搬送该印刷基板p，但是，例如，基板
供给组件24，还可以将印刷基板P保持为水平姿势，在保持该姿势的 状态下，沿着倾斜面12a斜向搬送该印刷基板P。
另外，在上述实施方式中，为了使摄像组件51拍摄印刷基板P的 任意位置，使工作台30沿Y轴方向移动，使摄像组件51沿X轴方向 移动，从而通过这些的移动使摄像组件51移动到印刷基板P的任意位 置，但是，毋庸置疑，还可以在使印刷基板P和摄像组件51的任意一 方静止的状态下，使另一方沿X轴方向以及Y轴方向进行移动。
另外，在上述实施方式中，如图3所示，液晶面板4设置在摄像 组件51的前侧，但是，还可以将液晶面板4设置在摄像组件51的上 侧(上面盖Cal上)。具体而言，可以将液晶面板4设置在上述梁19 的上侧。采用该结构，也能够抑制液晶面板4向装置两侧(宽度方向) 突出。
另外，在上述实施方式中，液晶面板4安装在沿前后方向延伸的 梁19的先端，但是，例如，可以在摄像组件51的前侧设置横跨基板 供给组件24的门形支架，在该支架上安装液晶面板4。但是，若如上 述实施方式那样，采用将液晶面板4安装在梁19的先端的结构，相比 设置门形支架的上述结构，能够有效地利用检查装置1的内部空间。
另外，在上述实施方式中，由于斜向搬送印刷基板P，并且摄像 组件51从上方拍摄印刷基板P，因而在摄像组件51的后方形成有较大 的空间。因此，在该空间内设置了驱动控制检查组件50 (单轴机器人 40)的驱动器66，但是，还可以使该驱动器66包含在控制组件60内， 使其一体地设置在底架10内的上述空间15。但是，若如上述实施方式 那样，采用在摄像组件51的后方设置驱动器66的结构，能够有效地利用摄像组件51后方的较大空间，而且，还可以縮短连接单轴机器人 40和驱动器66的配线类的布线距离。
另外，在上述实施方式中，控制组件60设置在形成于底架10的 上述基座部12的凹部内，但是，例如，还可以在基座部12形成中空 部，在该中空部的内部设置控制组件60。
另外，在本发明的检査装置中，作为检査对象的基板，不只限于 印刷基板，例如，还可以是在引线框形成有电路的基板等。
以上所说明的本发明，概括如下。
艮P，本发明的基板检査装置，是包括对基板进行检查的检査组件、 通过手动操作能够将基板供给到该检查组件的基板供给组件、显示包 括上述基板的检査结果的规定信息的显示单元的基板检查装置，该基
板检査装置中，还包括识别单元，识别上述基板上被付予的识别信
息；履历确认单元，通过上述识别单元获取上述基板的识别信息，并 且根据该识别信息确认上述基板的检查履历；控制单元，在履历确认 单元确认到基板已经过检查时，使上述显示单元显示其内容，并且禁 止上述检查组件对基板进行的检查动作。
采用该检査装置，检查组件对通过手动操作经由基板供给组件供 给的基板进行检査，该检査的结果被显示在显示单元上，但是，该基 板检查装置中，在根据基板上被付予的识别信息确认到该基板已经过 检査后，就将其内容显示在上述显示单元上，并且禁止上述检查组件 对基板进行的检查动作，因此，能够切实地防止对同一基板进行重复 检查，避免由该重复检査造成的时间损失，有效地进行基板的检査。
更具体而言，在上述结构中，还包括，在上述检查组件进行的检 査结束之后，将表示基板已经过检查的检查结束标记作为上述识别信息付予在基板上的标号单元，上述履历确认单元，通过上述识别单元 判断有无上述检查结束标记，从而确认上述基板的检查履历。
采用该结构，以只需检查检查结束标记的有无这样简单的结构， 就可以确认基板的检査履历。
另外，作为与该结构不同的结构，上述检查装置中，还包括，将 作为上述识别信息付予在基板上的ID代码和该基板的检查履历相互对 应地存储的存储单元，上述履历确认单元，将通过上述识别单元获取 的上述ID代码与存储于上述存储单元的履历信息进行对照，从而确认 上述基板的检查履历。
采用该结构，通过将付予在基板上的ID代码和存储单元内的履历 信息进行对照，能够切实地确认基板的检査履历。
而且，上述基板供给组件，使基板在由手动操作能够进行基板的 装卸的原位置和由上述检查组件对基板进行检查的检查位置之间进行 往复移动。
采用该结构，只需将基板安装在基板供给组件的原位置上，之后 的一连串动作，即，基板移动到检查位置或者在检查位置检査完毕的 基板返回到原位置等动作将自动予以进行，因此，能够有效地提高检 查单元的使用便利性。
另外，上述履历确认单元，在基板搬送到检查位置时，通过上述 识别单元，获取基板的识别信息，上述基板供给组件，在上述履历确 认单元确认到基板已经过检查后，就使位于上述检查位置的基板移动 到上述原位置。
采用该结构，能够尽可能地縮短由于疏忽将已经过检查的基板安制基板检査的作业效率的 下降。
此时，上述控制单元，在确认到没有来自操作人员的继续检查指 令之后，使基板供给组件进行将位于上述检査位置的基板移动到原位 置的动作。
采用该结构，根据操作人员的意图，可以恰当地中止或继续基板 的检查。
而且，在上述结构中，还包括，检测上述基板供给组件的原位置 上是否安装有基板的基板检测单元，上述控制单元，在上述基板检测 单元没有检测到基板时，禁止上述基板供给组件的向检査位置的搬送 动作。
采用该结构，能够防止基板供给组件在未安装基板的状态下(忘 记安装基板的状态)进行运作，从而能够切实地避免由此产生的时间 损失。
另外，在上述检查装置中，上述检査组件、基板供给组件、显示 单元等各个部件，组装为一体，能够放置在台上。
采用该结构，能够节省检査装置所占空间，尤其不受场地限制可 在各种场所使用该检查装置。
产业上的可利用性
如上所述，本发明所涉及的基板检查装置，能够切实地防止对同 一基板进行重复检査，并且能够避免由该重复检查所产生的时间损失， 有效地进行基板的检査，因而在元件安装基板的制造领域上非常有用。
权利要求
1. 一种基板检查装置，包括，对基板进行检查的检查组件、通过手动操作能够将基板供给到所述检查组件的基板供给组件、显示包括所述基板的检查结果的规定信息的显示单元，该基板检查装置的特征在于，还包括识别单元，识别所述基板上被付予的识别信息；履历确认单元，通过所述识别单元获取所述基板的识别信息，并且根据该识别信息确认所述基板的检查履历；控制单元，在履历确认单元确认到基板已经过检查时，使所述显示单元显示其内容，并且禁止所述检查组件对基板进行的检查动作。
2. 根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，还包括 在所述检查组件进行的检查结束时，将表示基板已经过检查的检查结束标记作为所述识别信息付予在基板上的标号单元，所述履历确认单元，通过所述识别单元判断有无所述检査结束标 记，从而确认所述基板的检查履历。
3. 根据权利要求l所述的基板检查装置，其特征在于，还包括 将作为所述识别信息付予在基板上的ID代码和该基板的检查履历相互对应地存储的存储单元，所述履历确认单元，将通过所述识别单元获取的所述ID代码与存 储于所述存储单元的履历信息进行对照，从而确认所述基板的检查履 历。
4. 根据权利要求l所述的基板检查装置，其特征在于 所述基板供给组件，使基板在由手动操作能够进行基板的装卸的原位置和由所述检查组件对基板进行检查的检査位置之间进行往复移 动。
5. 根据权利要求4所述的基板检查装置，其特征在于 所述履历确认单元，在基板搬送到检查位置时，通过所述识别单元，获取基板的识别信息，所述基板供给组件，在所述履历确认单元确认到基板已经过检查 后，就使位于所述检查位置的基板移动到所述原位置。
6. 根据权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于 所述控制单元，在确认到没有来自操作人员的继续检查指令之后，使基板供给组件进行将位于所述检查位置的基板移动到原位置的动 作。
7. 根据权利要求4至6中任意一项所述的基板检查装置，其特征在于，还包括检测所述基板供给组件的原位置上是否安装有基板的基板检测单元，所述控制单元，在所述基板检测单元没有检测到基板时，禁止所 述基板供给组件的向检查位置的搬送动作。
8. 根据权利要求l所述的基板检查装置，其特征在于 所述检查组件、基板供给组件、显示单元等各部件，组装为一体，能够放置在台上。
全文摘要
本发明的基板检查装置(1)，包括，对基板(P)进行检查的检查组件(50)、通过手动操作能够将基板(P)供给到该检查组件(50)的基板供给组件(24)、显示包括上述基板(P)的检查结果的规定信息的液晶监视器(4)，该基板检查装置(1)中，还包括，识别上述基板(P)上被赋予的识别信息的照相机(52)；根据由该照相机(52)所获取的识别信息，确认上述基板(P)的检查履历，而且在确认到该基板(P)已经过检查时，使上述液晶监视器(4)显示其内容，并且禁止上述检查组件(50)对基板(P)进行的检查动作的控制组件(60)。
文档编号G01N21/88GK101512326SQ20078003247
公开日2009年8月19日 申请日期2007年8月28日 优先权日2006年8月28日
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