专利名称：用于测量气体含水量的传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及传感器领域，具体地说是涉及测量气体含水量的传感器领域。
技术背景随着社会经济的发展，目前在各大型工业企业(如煤矿、石油、空分 等行业)的生产过程中，在某些生产环节中需要对特定的生产过程所产生的 气体(如N0、 02等)进行必要的含水量(露点值)检测，以此维护正常的 生产需要。现有技术大多采用薄膜电容式传感器测微量含水量，它的检测原 理是平面电容金/氧化铝基于对样气湿度测量时电容值的变化来反应湿度的。 传感器基于一个陶瓷基体上沉淀了一层纯铝层，纯铝作为阳极，可渗透的金 薄膜被沉淀在氧化层上，氧化铝是一个多微孔的绝缘体，可以提供一个空间 给水分子停留，在探头环境下达到平衡；可渗透金薄膜导体层允许水分子自 由地从氧化层进出，相当电容器的一层。铝层之下的氧化层作为电容的另外 一极。水的进入将导致二极板间电容的介电系数发生变化，介电系数的变化 与水进入量成正比，由电容的公式可知，电容C与7jc含量成正比。但是现有 技术测量气体含水量的测量时间较长，要进行分段式测量，使用不方便。发明内容为解决现有技术存在的问题，本发明提供一种反应速度快、测量数据稳 定、使用寿命长的用于测量气体含水量的传感器。本发明是这样实现的一种用于测量气体含水量的传感器，包括气室、底座、过滤网、晶振、 三级放大管；所述气室活动连接在底座上，底座上设置有晶振、三级放大管， 晶振与三级放大管连接，所述气室设置有进气口和出气口，气室内设置有过滤网，过滤网与气室充分接触；所述晶振内壁附着一层亲水性薄膜，晶振顶 端开有若干个孔。所述气室可为六棱柱，内空，其切面为有内切圆的正六边形。所述气室可为圓柱体，内空。所述过滤网可为圓柱体。将晶振顶端进行开孔处理，并在晶振内壁上附上一层亲水性膜，膜本身 带有量重，当含有微量水的气体进入气室后，首先通过过滤网进行过滤(如 过滤粉尘或颗粒性杂质)，然后进入气室里层，并接触晶振；气体进入晶振内 壁后，内壁亲水性膜吸附水分，晶振质量增加；因质量的改变，所以晶振的 固有频率也将发生改变，4艮据这个相对的变化量，将有一个信号的输出，信 号输出后经三级放大管放大，然后将信号传送给与底座连接的变送板进行变 送转化。本发明采用内壁覆有亲水性膜的晶振测量气体中的含水量，反应速度快、 测量数据稳定，且在气室中设有过滤网，可对气体进行除尘除杂，使得测量 结果准确；过滤网为圆柱形可使得过滤网与气室充分接触。本发明提供的用 于测量气体含水量的传感器，气室活动设置在底座上便于拆卸和更换；晶振 上开孔使得晶振内壁覆膜得以实现；本发明提供的用于测量气体含水量的传 感器结构筒单、成本低，使用寿命长。
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部 分，并不构成对本发明的不当限定，在附图中图1为实施例1 4是供的用于测量气体含水量的传感器的结构示意图；图2为晶振的结构示意图；图3为实施例2提供的用于测量气体含水量的传感器的结构示意图；图4为实施例2提供的用于测量气体含水量的传感器气室的结构示意图； 图5为实施例2提供的用于测量气体含水量的传感器气室的俯视图。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本发明，在此本发明的示意 性实施例以及说明用来解释本发明，但并不作为对本发明的限定。实施例1:如图l、 2所示，本实施例提供的用于测量气体含水量的传感器，包括气 室1、底座2、过滤网3、晶振4、三级放大管5;所述气室1为圆柱体，内空， 气室1活动连接在底座2上(所述活动连接可以是旋接、卡接，也可以用螺 丝连接)，底座2上设置有晶振4、三级放大管5，晶振4与三级放大管5连 接，所述气室l设置有进气口 6和出气口 7，气室1内设置有过滤网3，过滤 网3为圓柱体，过滤网3与气室1充分接触；所述晶振4内壁附着一层亲水 性薄膜，晶振4顶端开有若干个孔8。将晶振4顶端进行开孔处理，并在晶振4内壁上附上一层亲水性膜，膜 本身带有量重，当含有微量水的样气从进气口 6进入气室1后，首先通过过 滤网3进行过滤(如过滤粉尘或颗粒性杂质)，然后进入气室l里层，并接触 晶振4;样气进入晶振4内壁后，内壁亲水性膜吸附水分，晶振4质量增力口； 因质量的改变，所以晶振4的固有频率也将发生改变，根据这个相对的变化 量，将有一个信号的输出，信号输出后经三I U文大管5放大，然后将信号传 送给与底座2连接的变送板进行变送转化；气室1内的样气/人出气口 7排出。实施例2如图2、 3、 4、 5所示，本实施例提供的用于测量气体含水量的传感器， 包括气室1、底座2、过滤网3、晶振4、三级放大管5;所述气室1为六棱柱， 内空，其切面为有内切圓的正六边形，气室1活动连接在底座2上(所述活动连接可以是旋接、卡接，也可以用螺丝连接)，底座2上设置有晶振4、三 级放大管5,晶振4与三级放大管5连接，所述气室1设置有进气口 6和出气 口 7,气室1内设置有过滤网3,过滤网3为圆柱体，过滤网3与气室1充分 接触；所述晶振4内壁附着一层亲水性薄膜，晶振4顶端开有若干个孔8。
权利要求
1、一种用于测量气体含水量的传感器，其特征在于所述传感器包括气室、底座、过滤网、晶振、三级放大管；所述气室活动连接在底座上，底座上设置有晶振、三级放大管，晶振与三级放大管连接，所述气室设置有进气口和出气口，气室内设置有过滤网，过滤网与气室充分接触；所述晶振内壁附着一层亲水性薄膜，晶振顶端开有若干个孔。
2、 如权利要求1所述的用于测量气体含水量的传感器，其特征在于所 述气室为六棱柱，内空，其切面为有内切圆的正六边形。
3、 如权利要求1所述的用于测量气体含水量的传感器，其特征在于所 述气室为圓柱体，内空。
4、 如权利要求1~3之一所述的用于测量气体含水量的传感器，其特征 在于所述过滤网为圆柱体。
全文摘要
本发明公开了一种用于测量气体含水量的传感器，包括气室、底座、过滤网、晶振、三级放大管；所述气室活动连接在底座上，底座上设置有晶振、三级放大管，晶振与三级放大管连接，所述气室设置有进气口和出气口，气室内设置有过滤网，过滤网与气室充分接触；所述晶振内壁附着一层亲水性薄膜，晶振顶端开有若干个孔。本发明用于测量气体含水量的传感器反应速度快、测量数据稳定，使用寿命长，成本低。
文档编号G01N27/00GK101329292SQ20081002990
公开日2008年12月24日 申请日期2008年7月31日 优先权日2008年7月31日
发明者石兆奇 申请人:石兆奇