专利名称：探针台、探针插座、探针卡及其组合的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种探针台、探针插座、探针卡及其组合，特别涉及一种具有独特散热 功能的探针台、探针插座、探针卡及其组合。
背景技术：
在集成电路元件的制造过程中均会以探针卡测试其电气特性，借以筛选出不符合产 品规格的集成电路元件。
图1揭示一种探针台11，其包含两个平行设置于矩形开口平台两侧的滑轨16、多 个非圆形悬梁12以及至少一个架设于所述非圆形悬梁上的微调台14。所述非圆形悬梁 12的两个末端分别通过一个滑座18架设于所述滑轨16上。所述微调台14用于携带一 探针卡，且可调整所述探针卡与待测元件的相对角度。所述探针台11可通过多个螺丝 13固设于测试机台上。
然而半导体晶片在测试时是安置于具有加热装置的晶片基座上。当进行测试时，所 述加热装置会加热半导体晶片，例如进行所述集成电路元件的可靠性测试(reliability test),而其产生的热量可以热辐射方式传送至所述探针卡所处的测试环境，或经由所述 探针卡的探针尖端以热传导方式传送至所述测试板所处的测试环境，导致所述测试环境 的温度上升。而且，上升的温度可能引起所述探针卡以及处于所述测试环境的物件的物 理性质或化学性质产生变化(例如物质的热胀冷縮特性造成物件产生形变)，导致测量 过程无法顺利进行，或者影响测量结果的准确性。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种探针台、探针插座、探针卡及其组合，其可有效地降 低测试过程中所述探针卡的环境温度，以避免所述探针卡产生物理或化学性质的变化。
本发明的探针台包含两个滑轨、至少一个非圆形悬梁、多个探针插座和至少一个传 输轴。所述至少一个非圆形悬梁的两个末端设置于所述两个滑轨上。所述多个探针插座 设置于所述非圆形悬梁上。所述至少一个传输轴包含至少一个风管，其中所述至少一个 风管连通至所述探针插座的底部。
3本发明的探针插座包含多个连接端子和至少一个风洞。所述多个连接端子设置于所 述探针插座的底部，用于传送和接收所述传输轴与探针卡之间的电气信号。所述至少一 个风洞用于传送所述传输轴送出的氮气或冷气。
本发明的探针卡包含一电路板。所述电路板具有支撑件和散热孔。所述支撑件用于 支撑多个探针而形成针尖。所述散热孔用于冷却所述探针卡。
本发明的组合具有凹陷部、开口和侧壁，其中所述开口用于容纳所述支撑件。
图1显示一探针台；
图2显示一探针台与待测元件间的关系； 图3显示一探针插座的底部构造；
图4和图5显示探针卡及其搭配的组合件的立体图； 图6显示探针卡及其搭配的组合件的结合图； 图7显示探针卡及其搭配的组合件的另一角度的立体图； 图8显示探针卡及其搭配的组合件的结合图；以及 图9显示图8的剖面图。
具体实施例方式
图2显示本发明的探针台和待测元件间的关系。和常规技术类似，本发明的探针台 20也具有两个平行设置于所述矩形开口平台两侧的滑轨16和多个非圆形悬梁12。多个 探针插座24架设于所述非圆形悬梁12上，其可微调探针卡和所述待测元件21 (例如晶 片)的相对位置。通过在所述非圆形悬梁12上的水平移动和所述非圆形悬梁12在所述 滑轨16上的垂直移动，所述探针插座24可被粗调至所述待测元件21的任意位置。和 常规技术不同的是，所述探针插座24通过一传输轴和外部的测试机台(图未示出)连 通，而所述传输轴不仅包含信号线，还包含至少一个风管。所述风管传送氮气或冷气， 其可穿越所述探针插座24，并由其底部的风孔32射出。
图3显示所述探针插座24的底部构造。所述底座31包含风孔32，其可流通氮气或 冷气，且伴随着电气信号传送至所述探针卡42。
图4显示本发明的探针卡42及其搭配的组合件41的立体图。所述探针卡42具有 至少一个散热孔427，其可通过所述探针插座24所传来的氮气或冷气而有效实现所述探 针卡42的均温，且有效降低所述探针卡42因所述待测元件21的加热而增加的温度。因此即便所述待测元件21加热至300°C，所述探针卡42仍可通过所述散热孔427而维 持例如约IOO'C的均温。为了确保探针的水平位置不因使用时间的增加而产生针位偏移 的情况，所述多个探针以环氧树脂固定于支撑件424上。所述多个探针的端部形成针尖 423，所述针尖423和所述探针425形成一夹角，用以降低所述探针425和待测元件21 接触时所产生的应力变化。所述探针卡42可设置多个对位孔428，其与所述探针插座 24的对位孔33相对，且必要时可通过螺丝锁固于所述探针插座24。所述组合件41用 于覆盖所述探针卡42,其除了用于保护所述探针卡42外，还可防止所述散热孔427传 来的氮气或冷气直接吹向所述待测元件21。所述组合件41包含开口 412和多个对位孔 411，且所述开口 412用于容纳所述探针卡42的支撑件424。
图5显示本发明的探针卡42及其搭配的组合件41的另一角度的立体图。图6显示 本发明的探针卡42及其搭配的组合件41依图5的方向结合后的立体图。图7显示本发 明的探针卡42及其搭配的组合件41的反面立体图。图8显示本发明的探针卡42及其 搭配的组合件41依图7的方向结合后的立体图。图9显示图8的剖面图。
相对于常规技术，本发明的探针台20、探针插座24、探针卡42及其搭配的组合件 41至少具有下列优点
1. 所述探针插座24除具有信号线外，还具有风洞。在传输测量信号时可一并送出 氮气或冷气。
2. 所述探针卡42可利用螺丝锁固所述多个对位孔428于所述探针插座24，且使所 述探针卡42平行于所述待测元件21。
3. 所述探针卡42设置有散热孔427,可利用所述探针插座24所传来的氮气或冷气 而维持均温，且降低所述探针卡42的温度。
4. 通过组合件41，所述探针卡42可避免氮气或冷气直接吹向待测元件21。且所述 组合件41在组合所述探针卡42后仍留有一容室，氮气或冷气经由所述散热孔427进入 所述容室后可平行流动，且均匀地接触所述探针卡42的任一位置，而实现均温冷却的 目的。
本发明的技术内容和技术特点已揭示如上，然而所属领域的技术人员仍可能基于本 发明的教示和揭示而作种种不脱离本发明精神的替换和修饰。因此，本发明的保护范围 应不限于实施例所揭示者，而应包括各种不脱离本发明的替换和修饰，并为随附的权利 要求书所涵盖。
权利要求
1.一种探针卡，其包含电路板，其特征在于所述电路板包含支撑件，其用于支撑多个探针而形成针尖；以及散热孔，其用于冷却所述探针卡。
2. —种探针卡的组合，其特征在于其包含探针卡，其包含支撑件和散热孔，所述散热孔设于所述支撑件的另一端；以及 组合件，其具有凹陷部、开口和侧壁，其中所述开口用于容纳所述支撑件，而所 述侧壁沿着所述凹陷部的边缘设立。
3. 根据权利要求2所述的探针卡的组合，其特征在于其中所述凹陷部包含一容室，且 所述容室可连通所述探针卡的四分之三以上的区域。
4. 根据权利要求2所述的探针卡的组合，其特征在于其中所述凹陷部沿着长边轴方向 延展而分别具有较宽至较窄的宽度。
5. 根据权利要求2所述的探针卡的组合，其特征在于其中所述侧壁具有多个对位孔。
6. 根据权利要求2所述的探针卡的组合，其特征在于其中所述组合件具有位于所述开 口两侧的夹击部，且所述夹击部呈现锥形的形状。
7. —种探针台，其特征在于其包含两个滑轨；至少一个非圆形悬梁，其两个末端设置于所述两个滑轨上； 多个探针插座，其设置于所述非圆形悬梁上；以及至少一个传输轴，其包含至少一个风管，其中所述至少一个风管连通至所述探针 插座的底部。
8. —种探针插座，其可连接至传输轴和探针卡，其特征在于所述探针插座包含多个连接端子，其用于在所述传输轴和所述探针卡之间传送和接收电气信号；以及至少一个风洞，其用于传送所述传输轴送出的氮气或冷气至所述探针卡。
全文摘要
本发明涉及一种探针系统、探针插座、探针卡及其组合。本发明之探针卡包含电路板。所述电路板具有支撑组件和散热孔。所述支撑组件用于支撑多个探针而形成针尖。所述散热孔用于冷却所述探针卡。
文档编号G01R1/067GK101629971SQ20081013358
公开日2010年1月20日 申请日期2008年7月17日 优先权日2008年7月17日
发明者刘俊良 申请人:思达科技股份有限公司