专利名称：一种用于低温探针台中的磁场产生装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种产生平行磁场的设备，具体涉及一种用于低温探针台中的 磁场产生装置。 背景4支术
半个多世纪以来，以CMOS为主流技术的半导体集成电路一直在遵循"摩 尔定律，，迅速发展，其特征尺寸已进入到纳米级，因此基于新材料、新原理的 纳米电子器件如各种量子点器件、纳米线、纳米管器件、单电子器件等成为研 究的热点。而对这些量子器件的表征中，其低温特性和在^f兹场中的特性成为一 种常用的表征手段。
但是在传统的测试设备中，低温特性和磁场特性很少能够同时完成。有些 能够同时完成的装置，也因为其产生磁场的装置体积大不易携带等缺点，^f吏得 低温情况下的^f兹特性测试一直没有很好的普及。
发明内容
为了克服上述缺陷，本发明提供一种用于低温探针台中的磁场产生装置， 能够方便的调节磁场方向和大小，且其体积小，可以放在低温探针台的测试腔 体中。
为了达到上述目的，本发明采用的技术方案为 一种用于低温探针台中的 磁场产生装置，其特殊之处在于包括底托、样品托和永磁铁，所述底托上方 设有两根平行螺杆，两根螺杆上设有可沿螺杆滑动的滑杆；所述永磁铁对立设 置在底托上方，通过铁圈分别固定在螺杆一端下方的底托上和滑杆中部；所述 样品托设置在永磁铁中间的底托上。上述底托两侧设有连接臂，连接臂将底托固定在探针台的样品搭载台上。 上述螺杆通过支撑柱固定在底托上。 上述滑杆两端设有套筒，可在螺杆上滑动。
上述螺杆上分别设有两颗与螺杆螺纟丈相匹配的螺母，两颗螺母设置于滑杆 套筒的两端。
上述样品托通过螺钉与底托连接，且可自由转动180度。
上述底托、连接臂、螺杆、支撑柱、样品托和滑杆的材质均为紫铜。
与现有技术相比，本发明技术方案产生的有益效果如下
1、 本发明利用滑杆来调节永磁铁之间的距离，达到调节磁场强度的目的； 本发明通过旋转样品托来调节样品于磁力线的夹角，从而改变样品所处的磁场 方向。
2、 本发明通过各零件间的巧妙连接使得整个装置的体积很小，结构简单， 便于携带，易于操作，能与低温探针台无缝兼容，可以适用于各种需要磁场的 小容积的环境中，特别是低温探针台的高真空低温腔体中。
图1为本发明整体结构示意图。
具体实施例方式
下面结合附图和具体实施例对本发明的技术方案进行详细说明。
如图l所示，本发明为一种用于低温探针台中的磁场产生装置，包括底托
1、样品托6和永磁铁8,底托1通过其两侧设置的连接臂2固定在低温探针台
的样品搭载台上。
本发明底托1上方的两根平行螺杆3是通过四根支撑柱4支撑在底托1上 的，支撑柱4的两端均是通过螺紋与底托1和螺杆3连接的。两根螺杆3上设有可沿螺杆滑动的滑杆7，滑杆7通过其两端的套筒在螺杆3上滑动，并且其 位置由四个螺母9来确定。
本发明中永磁铁8对立设置在底托1上方，产生平行磁场，通过铁圈5分 别固定在螺杆3 —端下方的底托1上和滑杆7中部；所述样品托6通过螺钉固 定设置在两个永磁铁中间的底托1上，且可自由转动180度，从而调节样品所 处的》兹场方向。
本发明两根螺杆3上分别设有两颗与螺杆螺故相匹配的螺母9,四颗螺母 9设置于滑杆套筒的两端，夹住套筒，使得滑杆7带动固定在其上的铁圈5可 自由精确的滑动，调节两个永磁铁之间的间距，从而调节样品所处的磁场强度。
本发明中底托l、连接臂2、螺杆3、支撑柱4、样品托6和滑杆7的材质 均为紫铜，使得低温探针台的温度可以和样品托的温度同步。
本发明不仅能够提供相对高的平行磁场，并且能够方便的调节磁场方向和 大小，而且因为其体积小，可以放在低温探针台的测试腔体中，从而也可以在 极低温的环境下完成器件的测试表征工作。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进 一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不 用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、 改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1、一种用于低温探针台中的磁场产生装置，其特征在于包括底托、样品托和永磁铁，所述底托上方设有两根平行螺杆，两根螺杆上设有可沿螺杆滑动的滑杆；所述永磁铁对立设置在底托上方，通过铁圈分别固定在螺杆一端下方的底托上和滑杆中部；所述样品托设置在永磁铁中间的底托上。
2、 如权利要求1所述的一种用于低温探针台中的磁场产生装置，其特征 在于所述底托两侧i殳有连接臂。
3、 如权利要求1所述的一种用于低温探针台中的磁场产生装置，其特征 在于所述螺杆通过支撑柱固定在底托上。
4、 如权利要求1所述的一种用于低温探针台中的磁场产生装置，其特征 在于所述滑杆两端设有套筒，可在螺杆上滑动。
5、 如权利要求1或4所述的一种用于低温探针台中的磁场产生装置，其 特征在于所述两根螺杆上分别设有两颗与螺杆螺紋相匹配的螺母，两颗螺母 设置于滑杆套筒的两端。
6、 如权利要求1所述的一种用于低温探针台中的磁场产生装置，其特征 在于所述样品托通过螺钉与底托连接，且可自由转动180度。
7、 如权利要求1所述的一种用于低温探针台中的磁场产生装置，其特征 在于所述底托、连接臂、螺杆、支撑柱、样品托和滑杆的材质均为紫铜。
8、 根据权利要求1所述的一种用于低温探针台中的磁场产生装置，气特 征在于所述永磁铁应该无缝置于铁圈内。
全文摘要
本发明涉及一种用于低温探针台中的磁场产生装置。为了克服现有测试设备中体积大、不易携带的缺点，本发明提供一种用于低温探针台中的磁场产生装置，包括底托、样品托和永磁铁，所述底托上方设有两根平行螺杆，两根螺杆上设有可沿螺杆滑动的滑杆；所述永磁铁对立设置在底托上方，通过铁圈分别固定在螺杆一端下方的底托上和滑杆中部；所述样品托设置在永磁铁中间的底托上。本发明可调节样品所处的磁场强度和磁场方向，且体积很小，结构简单，便于携带，易于操作，能与低温探针台无缝兼容，可以适用于各种需要磁场的小容积的环境中，特别是低温探针台的高真空低温腔体中。
文档编号G01R33/00GK101446626SQ20081023988
公开日2009年6月3日 申请日期2008年12月19日 优先权日2008年12月19日
发明者朱晨昕, 李昊峰, 李维龙, 锐 贾, 晨 陈 申请人:中国科学院微电子研究所