专利名称：一种用于加热器的断路侦测器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种断路侦测器，特别是涉及晶片生产工艺中用于烘 干晶周的加热器的断路侦测器。
背景技术：
用于晶周清洗工艺的加热器的主要作用是让机台的腔中产生70°C 的恒温，从而烘干晶周。如图1所示，每个机台上共7根加热器6，当晶 周清洗需要烘干时，机台给7根加热器供208VAC的电，让它们加热烘干， 烘干后机台断掉7根加热器的208VAC的电，继续做其他的动作。由于加 热器6是耗材，且运行于高功率大电流环境下，因此很容易发生烧断现象。
现有的机台程序设定为7根加热器6在相同加热时间内要保持固定的 功率。当某个时间段突然烧断其中的一根或几根的话，但机台仍要保持原 来的固定功率输出，因此剩下的几根未断的加热器6将会运行于更高的功 率下，当超过他们额定的功率后，也将很快地相继烧断。
由于机台目前没有加热器6烧断的侦测电路，只有当加热器6全部烧 断，晶周在机台程序设定的时间内无法烘干时，工程师才会知道，这样一 方面增加了生产成本，同时还使工程师陷入紧急停机的窘况。因此，需要 提出一种用于及时监测加热器是否断路的侦测器。
发明内容
针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提出一种用于加热器的 断路侦测器，在不改变机台本身线路的情况下，通过侦测器来侦测每根加 热器内电流的有无，从而判断该加热器是否烧断。为了达到本实用新型的上述及其他目的，本实用新型提出一种用于加 热器的断路侦测器，其包括电流转换器、继电器、蜂鸣器、至少两个发光 二极管，其中，电流转换器和继电器依次串联，加热器与电流转换器可拆
分地电连接;继电器在加热器工作时或加热器被供电却发生断路时分别选
通与第一发光二极管连接或与蜂鸣器和第二发光二极管连接。
作为优选，上述电流转换器为钩式电流转换器。
作为优选，上述继电器为双列直插式单稳态电磁继电器。
作为优选，上述断路侦测器还包括整流电路，上述电流转换器通过该 整流电路与继电器连接。
作为优选，用于每根加热器的各断路侦测器共用蜂鸣器与第一发光二 极管。
作为优选，上述第一发光二极管为绿光二极管，上述第二发光二极管 为红光二极管。
作为优选，上述加热器在晶周清洗烘干时被供电，上述断路侦测器启
用；加热器无供电时，上述断路侦测器停用。
本实用新型的断路侦测器在机台中的加热器被加电的情况下进行工
作，在不改变机台本身线路的情况下，可以利用断路侦测器来侦测每根加
热器内是否有电流，从而判断该加热器是否烧断。当发生烧断问题时，通 过蜂鸣器和指示灯来提醒使用者及时更换烧坏的加热器，从而避免其他加
热器因电流过载而烧毁的现象，即降低了生产成本，也避免了工程师陷入 紧急停机的窘况。
图1是现有技术中用于烘干晶周的加热器的电路示意图2是根据本实用新型的用于加热器的断路侦测器的一个实施例的 电路示意图3是根据本实用新型的用于加热器的断路侦测器的另一实施例的电路示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步的说明。从以下对附图的详细说 明中，本实用新型的特征、优点和效果将显而易见。
参见图2， 一种用于加热器的断路侦测器，其包括电流转换器l、 继电器2、蜂鸣器4、至少两个发光二极管，在本实施例中，用于一根加 热器6的断路侦测器具有两个发光二极管即第二发光二极管5和第一发光 二极管3，其中电流转换器1和继电器2依次串联，加热器6与电流转换 器1可拆分地电连接；继电器2通过开关21选择性地与蜂鸣器4和第二 发光二极管5连接或与第一发光二极管3连接当加热器6正常工作时， 继电器2通过开关21与第一发光二极管3导通，该第一发光二极管3发 光，蜂鸣器4不响，第二发光二极管5不发光；当加热器被供电却发生断 路故障时，继电器2通过开关21与蜂鸣器4和第二发光二极管5导通， 第一发光二极管3熄灭，蜂鸣器4发出响声，第二发光二极管5发光。该 第一发光二极管3和第二发光二极管5的发光颜色可根据需要选择，在本 实施例中，该第一发光二极管3为绿光二极管，第二发光二极管5为红光 二极管。
该电流转换器1的作用是运用电磁感应原理将加热器6中的大的交流 电流转化成微弱的小的交流电流，从而方便制作简单的检测电路就可以实 时监测加热器6中的大的交流电流的有无，在本实施例中，采用钩式电流 转换器，该钩式电流转换器与加热器6两端的任意一根导线相钩接，从而 达到不破坏机台原电路和测试方便的目的。该继电器2可以是电磁继电 器、固态继电器或混合继电器等任何适合的类型，在本实施例中，采用双 列直插式单稳态电磁继电器，其通过开关21的闭合来控制与绿光二极管 3导通或与蜂鸣器4和红光二极管5导通。该电流转换器1与该继电器2 之间可以任何适合的方式连接，在本实施例中，二者通过整流电路连接, 该整流电路包括可变电阻和三极管7，在该可变电阻与三极管7之间可以 设置滤波电容。该三极管7可以是NPN型三极管，其基极连接该可变电 阻与该滤波电容，发射极连接地线，集电极连接继电器2。当该电流转换器1所钩接的加热器6正常工作时，继电器2通过开关21与绿光二极管 3导通，与红光二极管5和蜂鸣器4断开，此时绿光二极管3发光，蜂鸣 器4不响，红光二极管5不发光。当该电流转换器1所钩接的被供电的加 热器6烧断时，继电器2的开关21与绿光二极管3断开，与蜂鸣器4和 红光二极管5导通，此时绿光二极管3熄灭，蜂鸣器4发出响声，红光二 极管5发光。蜂鸣器4的响声可以提醒使用者机台发生了加热器6断路故 障，红光二极管5的发光可以帮助使用者快速判断出哪一根加热器6烧断， 从而及时对其进行更换，避免其它的加热器6因过载而烧毁。
为了节约成本，机台中用于各加热器6的各断路侦测器共用蜂鸣器4 和绿光二极管3。图3给出了根据本实用新型的用于加热器的断路侦测器 的另一个实施例的电路示意图，其表示的是机台中除图2所示的加热器的 断路侦测器以外的其它加热器的断路侦测器的电路结构示意图。其电路结 构与图2中的电路结构相同的部分不再赘述，其与图2中的电路结构不同 之处在于不再分别设置绿光二极管3和蜂鸣器4，而是通过将图3中的接 头91、 81分别与图2中的接头90、 80相连，实现用于各加热器6的各断 路侦测器共用蜂鸣器4和绿光二极管3。当机台中的各加热器都正常工作 时，各继电器2的开关21与绿光二极管3导通，与红光二极管5和蜂鸣 器4断开，此时绿光二极管3发光，蜂鸣器4不响，红光二极管5不发光； 当被供电的加热器6中的任何一根烧断时，继电器2的开关21便与绿光 二极管3断开，与蜂鸣器4和相应的红光二极管5导通，此时绿光二极管 3熄灭，蜂鸣器4发出响声，相应的红光二极管5发光。蜂鸣器4的响声 可以提酲使用者机台发生了加热器6断路故障，红光二极管5的发光可以 帮助使用者快速判断出哪一根加热器6烧断，从而及时对其进行更换，避 免其它的加热器6因过载而烧毁。
本领域技术人员应当理解，本实用新型的断路侦测器必须在机台中的 加热器6被加电的情况下才进行工作，以判断加热器6是否烧断。加热器 6在晶周清洗烘干时被供电，上述断路侦测器启用；加热器6无供电时， 上述断路侦测器停用。参见图1，将图2和图3电路中的+24VDC接图1 中的固态继电器(SSR)的K端，接地端接图1中的固态继电器(SSR)的H端，只要机台给图1中的固态继电器(SSR)力n+24V电压让208VAC 交流电压给加热器加电，则断路侦测器将进行侦测。其他时间断路侦测器 不工作，以减少能源消耗并避免误报警现象。
以上描述了本实用新型的较佳实施例及其效果，当然，本实用新型还 可有其他实施例，在不背离本实用新型之精神及实质的情况下，所属技术 领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些 相应的改变和变形都应属于本实用新型权利要求的保护范围。
权利要求1. 一种用于加热器的断路侦测器，其特征在于，包括电流转换器、继电器、蜂鸣器、至少两个发光二极管，其中，电流转换器和继电器依次串联，加热器与电流转换器可拆分地电连接；继电器在加热器工作时或加热器被供电却发生断路时分别选通与第一发光二极管连接或与蜂鸣器和第二发光二极管连接。
2. 根据权利要求1所述的一种用于加热器的断路侦测器，其特征在 于，该电流转换器为钩式电流转换器。
3. 根据权利要求1所述的一种用于加热器的断路侦测器，其特征在 于，该继电器为双列直插式单稳态电磁继电器。
4. 根据权利要求1-3中任一项所述的一种用于加热器的断路侦测器， 其特征在于，该断路侦测器还包括整流电路，该电流转换器通过该整流电 路与该继电器连接。
5. 根据权利要求4所述的一种用于加热器的断路侦测器，其特征在 于，用于每根加热器的各断路侦测器共用蜂鸣器与第一发光二极管。
6. 根据权利要求1所述的一种用于加热器的断路侦测器，其特征在 于，上述第一发光二极管为绿光二极管，上述第二发光二极管为红光二极
7. 根据权利要求1所述的一种用于加热器的断路侦测器，其特征在 于，加热器在晶周清洗烘千时被供电，上述断路侦测器启用；加热器无供 电时，上述断路侦测器停用。
专利摘要本实用新型涉及一种用于加热器的断路侦测器，其包括电流转换器、继电器、蜂鸣器、至少两个发光二极管，其中，电流转换器和继电器依次串联，加热器与电流转换器可拆分地电连接；继电器在加热器工作时或加热器被供电却发生断路时分别选通与第一发光二极管连接或与蜂鸣器和第二发光二极管连接。采用本实用新型的断路侦测器，可以在不改变机台本身线路的情况下，侦测每根加热器内是否有电流，从而判断该加热器是否烧断。
文档编号G01R31/02GK201251614SQ20082013274
公开日2009年6月3日 申请日期2008年8月15日 优先权日2008年8月15日
发明者储著飞, 刚 刘, 涛 刘, 程光中 申请人:和舰科技(苏州)有限公司