专利名称：测试装置及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一测试装置及其制造方法，特别是指一种半导体的测试装置及其制造 方法。
背景技术：
随着半导体技术的进步，对于测试机具精密度的要求大幅提高，在高频测试的情 况下测试讯号是借由探针进行接触传递。参阅图1，现有的测试用探针1，例如台湾新型专利第M333565号，是设置于一测试 座100的一探针孔101中，用以电连接一测试接点300以及一收讯接点400。该测试用探针 1是以导电材料制成，其包括一穿设于该探针孔21的上、下接触件11、12，及一可压缩形变 地设置于上、下接触件11、12间的弹性组件13。其中，上、下接触件11、12分别具有一上接 触部111及一下接触部121，用以分别与相对应的测试接点300及收讯接点400触接。在测试时，借由该上、下接触部111、121分别与测试接点300及收讯接点400接触 而使该测试探针11产生电导通，进而将测试讯号传递至一分析仪器(图未示)以进行讯号 分析。不过，随着测试次数的增加，上、下接触部111、121与测试接点300及收讯接点400 之间长时间的相互刮磨，导致上、下接触部111、121容易磨损或沾染污垢，进而使得测试讯 号不良，严重者更会发生无法导通的现象，此时就必须清理或适时更换上、下接触部111、 121，但是因下接触件12是卡设于上接触件11中，以致无法单独更换下接触件12或上接 触件11，而必须更换整组测试探针1，如此一来不但增加更换探针1的复杂性而使得维修成 本提高，更导致测试作业因替换测试探针1而延迟，在分秒必争的生产在线，延长维修作业 的时间，对生产业者而言是相当严重的情况，不符合经济效益，还要承担无法如期出货的风 险。
发明内容
本发明的目的，是在提供一种适用范围广泛，且可提高汰换探针的作业效率，并可 降低汰换探针成本的测试装置。本发明的测试装置，包含一个缓冲本体，以及多数个间隔设于该缓冲本体中的探 针模块，每一探针模块具有一支第一探针，及一支位于该第一探针相对下方的第二探针，该 第一探针近上端处形成有一个抵靠部及一个延伸自该抵靠部顶缘的第一接触部，该第二探 针上端形成有一个接合部、一个形成于该接合部上且可供该第一探针伸置的插接空间，以 及一个延伸自该接合部的第二接触部。本发明的另一目的，则在提供一种制造作业简单快速的测试装置的制造方法，该 制造方法包含(a)备制多数个探针模块、二片盖板及一个模具，该模具内间隔设有多数个 可供各该探针模块一端插置的针座，(b)将所述探针模块插置于各该针座上，(c)于该模具 中灌填至少一液态胶质材料，及(d)待该胶质材料凝固后，予以脱模，就完成一组合坯体。
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本发明的功效在于制造方法作业简单快速，且所制成的产品适用范围广泛，且只 要卸除盖板，就可轻易地拔除特定探针，新的探针能循原孔洞埋置定位，轻松汰旧换新，不 但克服更换探针模块的不方便性，更提高维修汰换的作业效率，并可降低汰换探针成本。
图1是一局部侧视剖面图，说明一般测试探针的连接关系；图2是一流程图，说明本发明测试装置的制造方法的第一较佳实施例；图3是一剖视图，说明该第一较佳实施例的多数探针设置于模具内，且完成灌填 缓冲材料的态样；图4是一局部侧视图，说明图3脱模后的态样；图5是一侧视剖面图，说明本发明测试装置的第一较佳实施例的组合状态；图6是一侧视剖面图，说明该第一较佳实施例的上盖板卸除的态样；图7是一侧视剖面图，说明将该第一较佳实施例中已受损的第一探针拔离该缓冲 本体后，新的第一探针可循原针孔埋置定位；及图8是一侧视剖面图，说明本发明测试装置的第二较佳实施例的组合状态。
具体实施例方式下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。在本发明被详细描述之前，要注 意的是，在以下的说明内容中，类似的组件是以相同的编号来表示。参阅图2、3，是本发明测试装置的制造方法的第一较佳实施例，包括有以下步骤首先在步骤800中，是先备制多数探针模块3及一模具4，其中每一探针模块3具 有一第一探针31及一第二探针32，每一第一探针31于近上端处形成有一抵靠部311、一延 伸自抵靠部311顶缘的第一接触部312，及一自抵靠部311底缘向下凸伸的伸入部313。而 每一第二探针32于上端形成有一接合部321、一形成于接合部321上的插接空间322，以 及一延伸自接合部321的第二接触部323，所述插接空间322并可供第一探针31的伸入部 313伸置。另外，该模具4包含有一下模41及一能闭合该下模41的上模42，下模41具有 一内模穴411，内模穴411内并间隔形成有多数个针座412。而上模42内也具有一内模穴 421及一注料孔(图未示)。接着，在步骤801中，是将所述探针模块3的第二探针32 —一插置于下模具41的 各针座412上，且各第二探针32的接合部321上端并伸入于下模41的内模穴411中，而各 第一探针31则借其伸入部313紧配合地局部插入于各第二探针32的插接空间322中，而 组合于第二探针32上。待所述探针模块3插置定位后，进行步骤802，在此步骤中是将具有弹性的液态胶 质材料71灌填于下模41的内模穴411中，所述胶质材料71可为硅胶或塑料等，在本实施 例中是以硅胶做说明。完成灌填作业后，将上模42置于下模41上以进行闭模，此时各第一 探针31上端并伸入上模42的内模穴421中。在步骤803中，是经过一段时间，待胶质材料71凝固后，予以脱模，完成如图4所 示的组合坯体700，该组合坯体700包含有一缓冲本体701，而所述探针模块3则一体成型 于缓冲本体701中，各探针模块3的第一探针31的第一接触部312与局部抵靠部311，以及
5第二探针32的第二接触部323与局部接合部321，均穿出于缓冲本体701外。最后在步骤804，如图5所示，再备制二盖板5、6，各盖板5、6上间隔设有多数个可 分别供相对应的第一、二探针31、32贯穿的通孔51、61。借此将盖板5、6分别盖置定位于缓 冲本体701顶面与底面，各探针模块3的第一探针31及第二探针32并经由相对应的盖板 5、6上各通孔51、61穿出，如此就完成测试装置的制造。参阅图5，本发明利用上述方法所制成的测试装置包括一缓冲本体701、多数个间 隔地且一体成型于缓冲本体701中的探针模块3，以及分别设于缓冲本体701的顶面与底面 上的二盖板5、6。如上述各探针模块3的第一探针31的第一接触部312与抵靠部311的局 部，以及第二探针32的第二接触部323与接合部321的局部，均穿出于缓冲本体701外。而 各盖板5、6上的各通孔51、61具有一接近缓冲本体701的大孔径部511、611，及一远离缓冲 本体701且与相对应的大孔径部511、611相连通的小孔径部512、612，且各大孔径部511、 611与各小孔径部512、612之间均形成有一肩部513、613，各第一探针31的抵靠部311是 位于各大孔径部511处且靠抵于各肩部513，各第二探针32的接合部321则是位于各大孔 径部611处且靠抵于各肩部613，且各第一探针31的第一接触部312及各第二探针32的第 二接触部323则分别贯穿相对应的各盖板5、6的小孔径部512、612。仍参阅图5，本发明的测试装置在使用上可借由各探针模块3的各第一、二接触部 312,323分别与多数上测试点600及多数下测试点601接触在一起而构成电气导通。也就 是说，当各第一、二接触部312、323分别与各上测试点600及各下测试点601接触在一起 时，利用缓冲本体701是由具有弹性的胶性材料所制成，所以缓冲本体701能同时产生压缩 形变，此时第一探针31的伸入部313更深入第二探针32的插接空间322中形成电气导通， 以传递测试讯号。由于第一、二探针31、32的第一、二接触部312、323在测试过程中，频繁地与所述 上、下测试点600、601接触，以致容易造成第一、二接触部312、323产生磨损或污垢，当导致 讯号传递不良，而需要更换探针。而本发明的测试装置于更换第一探针31时，如图6、7所 示，只要卸离盖板5，就可轻易将拔除老旧的第一探针31，此时会在缓冲本体701上留下孔 洞702，新的第一探针31，就可循所述孔洞702设置于缓冲本体701内，新的第一探针31， 的伸入部313’也可深入第二探针32的插接空间322中，如此就完成第一探针31(31’)的 汰换；另外，于更换第二探针32时，则只要先卸离盖板6，就可如同上述更换作业般完成第 二探针32的汰换，在此不再赘述。因此，确实能轻松地进行各第一、二探针31 (31’ )、32的 汰旧换新，提高维修汰换的作业效率，并可降低汰换探针成本。参阅图2、8，是本发明的第二较佳实施例，本实施例与第一较佳实施例大致相同， 不同处只在于本实施例的方法在前述步骤800中，还包括备制有多数个弹性组件33 ；在步 骤801中，各弹性组件33分别穿置于各探针模块3的第一、二探针31、32之间，且弹性组件 33两端分别抵接各第一探针31的抵靠部311及各第二探针32的接合部321。借此可利用 所述弹性组件33的设置而能加强缓冲本体701的弹性作用力。另外，各第一探针31的第 一接触部312’及各第二探针32的第二接触部323’端缘可分别形成多棘齿状，借此可增加 与上、下测试点600、601的接触面积。在此值得一提的是，各第一、二接触部312(312’)、323(323’ )的态样并非局限图 示中所绘，举凡平头式、尖头式或其它形式皆可，需视其测试点的态样而可有所改变。
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综上所述，本发明测试装置的制造方法借由射出成型作业，使得探针模块3与缓 冲本体701 —体成型，在组合时因而只要再盖合二盖板5、6就可完成测试装置的组装，因此 制造、组装均相当简单迅捷。另外，所制成的测试装置适用范围广泛，且只要卸除盖板5(或 6)，就可轻易地拔除特定第一探针31 (或第二探针32)，新的探针能循原孔洞埋置定位，轻 松汰旧换新，不但克服更换探针模块3的不方便性，更提高维修汰换的作业效率，并可降低 汰换探针成本。所以确实能达成本发明的目的。
权利要求
一种测试装置，其特征在于该测试装置包含一个缓冲本体，以及多数个间隔设于该缓冲本体中的探针模块，每一探针模块具有一支第一探针，及一支位于该第一探针相对下方的第二探针，该第一探针近上端处形成有一个抵靠部，及一个延伸自该抵靠部顶缘的第一接触部，该第二探针上端形成有一个接合部、一个形成于该接合部上且供该第一探针伸置的插接空间，以及一个延伸自该接合部的第二接触部。
2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于各该第一探针于各该抵靠部底缘分别 向下凸伸有一个伸入部，各该伸入部并能紧配合伸置于各该插接空间中。
3.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于该测试装置还包含有分别设于该缓冲 本体的顶面与底面上的二片盖板，且使所述第一探针的第一接触部及所述第二探针的第二 接触部分别贯穿相对应的各该盖板。
4.如权利要求3所述的测试装置，其特征在于所述盖板于接近该缓冲本体的该表面 均分别间隔设有多数个大孔径部，及于远离该缓冲本体的该表面则均分别间隔设有多数个 小孔径部，每一大孔径部与每一小孔径部相连通，且各该大孔径部与各该小孔径部之间均 形成有一个肩部，各该第一探针的抵靠部是位于各该大孔径部处且靠抵于各该肩部，各该 第一探针的第一接触部及各该第二探针的第二接触部并分别贯穿各该盖板的小孔径部。
5.如权利要求1或3或4所述的测试装置，其特征在于该测试装置还包含有多数个 分别穿置于各该探针模块的第一、二探针之间的弹性组件，各该弹性组件的两端分别抵接 各该第一探针的抵靠部及各该第二探针的接合部。
6.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于该缓冲本体是由具有弹性的胶质材料 所制成。
7.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于各该第一探针的第一接触部及各该第 二探针的第二接触部端缘分别形成多棘齿状。
8.—种测试装置的制造方法，其特征在于该制造方法包含步骤(a)备制多数个探针 模块、二片盖板，及一个模具，该模具内间隔设有多数个供各该探针模块一端插置的针座， (b)将所述探针模块插置于各该针座上，(c)于该模具中灌填至少一液态胶质材料，及(d) 待该胶质材料凝固后，予以脱模，就完成一组合坯体。
9.如权利要求8所述的测试装置的制造方法，其特征在于在步骤(d)中，所制成的组 合坯体包含有一个缓冲本体，及所述间隔设置于该缓冲本体中的探针模块。
10.如权利要求9所述的测试装置的制造方法，其特征在于该制造方法还包含有一步 骤(e)，在此步骤中是将该二盖板分别定位于该组合坯体的顶面与底面，且各该探针模块分 别贯穿相对应的盖板。
11.如权利要求9或10所述的测试装置的制造方法，其特征在于每一探针模块具有 一支第一探针，及一支第二探针，而在步骤(a)中，各该探针模块是以各该第二探针插置于 各该针座上。
12.如权利要求11所述的测试装置的制造方法，其特征在于该第一探针近上端处形 成有一个抵靠部，及一个延伸自该抵靠部顶缘的第一接触部，该第二探针上端形成有一个 接合部、一个形成于该接合部上且供该第一探针伸置的插接空间，以及一个延伸自该接合 部的第二接触部。
13.如权利要求11所述的测试装置的制造方法，其特征在于在步骤(a)中，该模具包括有一个下模，及一个闭合该下模的上模，该下模具有一个内模穴，所述针座是设于该内模 穴中。
14.如权利要求12所述的测试装置的制造方法，其特征在于在步骤(e)中，各该探针 模块是以各该第一探针的第一接触部及各该第二探针的第二接触部分别贯穿相对应的各 该盖板。
15.如权利要求14所述的测试装置的制造方法，其特征在于所述盖板于接近该缓冲 本体的该表面均分别间隔设有多数个大孔径部，而于远离该缓冲本体的该表面则均分别间 隔设有多数个小孔径部，每一大孔径部与每一小孔径部相连通，且各该大孔径部与各该小 孔径部之间均形成有一个肩部，各该第一探针的抵靠部是位于各该大孔径部处且靠抵于各 该肩部，各该第一探针的第一接触部及各该第二探针的第二接触部并分别贯穿各该盖板的 小孔径部。
16.如权利要求12所述的测试装置的制造方法，其特征在于在步骤(a)中，还包括备 制有多数个分别穿置于各该探针模块的第一、二探针之间的弹性组件，各该弹性组件的两 端分别抵接各该第一探针的抵靠部及各该第二探针的接合部。
17.如权利要求12所述的测试装置的制造方法，其特征在于各该第一探针的第一接 触部及各该第二探针的第二接触部端缘分别形成多棘齿状。
全文摘要
公开了一种测试装置及其制造方法，该方法包括(a)备制多数探针模块、二盖板及一模具，该模具内间隔设有多数个可供各该探针模块一端插置的针座；(b)将所述探针模块插置于各该针座上；(c)于该模具中灌填至少一液态胶质材料；及(d)待该胶质材料凝固后，予以脱模，就完成一组合坯体。其中组合坯体具有一缓冲本体及所述间隔设置于缓冲本体中的探针模块，借此不但制造作业简单快速，且产品适用范围广泛，且可提高汰换探针的作业效率，并可降低汰换探针成本。
文档编号G01R1/073GK101957389SQ20091015214
公开日2011年1月26日 申请日期2009年7月13日 优先权日2009年7月13日
发明者吴俊杰 申请人:巧橡科技有限公司