专利名称：一种测试镀膜厚度的方法
技术领域：
本发明涉及一种测试镀膜厚度的方法，属于含有镀膜工艺的集成电路、半导体生 产或者光伏产品生产领域。
背景技术：
现有的镀膜厚度测试的设备主要有椭偏仪、台阶仪和其他利用光学原理做成的设 备。椭偏仪等利用光学原理做成的仪器在测试镀膜厚度时，可以不损伤样品表面，但是光路 在表面多起伏的样品或者曲翘度较大的样品上会出现光路收集困难，测试精度就会下降； 台阶仪作为针尖在样品上扫描的方式，精确度很高。虽然对样品表面有一定损伤，但是通过 调节针尖与薄膜间的作用力，可以控制这种损伤。这种方法在精准测试镀膜厚度方面利用 更多。台阶仪的精确度一定程度上取决于台阶制备的精度。现在的台阶制作方法主要有 化学腐蚀法和掩模法。化学腐蚀法往往在腐蚀界面会出现一个渐进的腐蚀台阶，腐蚀的深 度和宽度也会受腐蚀时间影响；掩模法适用于大多数的台阶制备工艺，但是要制作合适的 细窄的或者带有细窄凹槽的掩模材料，每次镀膜都要用新的掩模材料。所以镀膜厚度测试 的精确性和易操作性急需提高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是，针对现有技术中存在的上述不足，提供了一种测试 镀膜厚度的方法，不使用掩模或者化学腐蚀液，采用记号笔或者油性笔进行标记，然后用溶 解液溶解，可以得到清晰的台阶，从而提高镀膜工艺中对厚度测试的精确性和易操作性。为实现以上目的，本发明提供了一种测试镀膜厚度的方法，按照如下步骤操作首先在衬底上用记号笔或油墨笔画一道或几道；然后放在镀膜室里镀膜，由于记号笔或者油墨笔的成分是油性的，溅射时其他物 质就很难在衬底上附着和生成；最后，在镀膜后，将衬底和样品浸泡在溶解液里，记号笔或者油墨笔划过的墨痕会 反应掉，露出一道或者多道清晰的台阶，这时候在台阶仪上就能测量了。与现有技术相比，本发明可以提高镀膜工艺中对厚度测试的精确性和易操作性。 本发明的优点是1)由于不使用掩模或者化学腐蚀液，可以节省成本和时间；2)记号笔或者油性笔、乙醇和丙酮等是常备产品，取用和操作便捷；台阶清晰。
具体实施例方式以下结合实施例对本发明作进一步说明，以下的描述仅用于理解本发明技术方案 之用，不用于限定本发明的范围。现有的台阶制作方法中，因为化学腐蚀法往往在腐蚀界面会出现一个渐进的腐蚀台阶，腐蚀的深度和宽度也会受腐蚀时间影响；而掩模法制作合适的细窄的或者带有细窄 凹槽的掩模材料，每次镀膜都要用新的掩模材料。所以用台阶仪测量镀膜厚度时操作很不 方便。本发明提供了一种测试镀膜厚度的方法首先在衬底上用记号笔或油墨笔画一道或几道；然后放在镀膜室里镀膜，由于记号笔或者油墨笔的成分是油性的，溅射时其他物 质就很难在衬底上附着和生成；最后，镀膜之后，将衬底和样品浸泡在溶解液里，记号笔或者油墨笔划过的墨痕就 会反应掉，露出一道或者多道清晰的台阶，再在台阶仪上测量镀膜的厚度。所述衬底材料可以为玻璃、有机材料、不锈钢等材质；所述镀膜的成分可以为无机化合物、金属或者其他合成材料。所述记号笔或者油墨笔，成分染料，η-丙醇，η- 丁醇，双丙酮醇等。所述溶解液为醇类或者酮类，比如常用的乙醇和丙酮等。本发明采用的上述材料均为现有常用的材料。实施例1在本实施例中首先在玻璃衬底上用记号笔画一道或几道；然后放在镀膜室里镀膜，镀膜的成分可以为无机化合物，记号笔的成分是油性的， 溅射时其他物质就很难在玻璃衬底上附着和生成；最后，镀膜之后，将玻璃衬底和样品浸泡在乙醇里，记号笔划过的墨痕就会反应 掉，露出一道或者多道清晰的台阶，再在台阶仪上测量镀膜的厚度。实施例2在本实施例中首先在不锈钢衬底上用油墨笔画一道或几道；然后放在镀膜室里镀膜，镀膜的成分可以为金属，由于油墨笔的成分是油性的，溅 射时其他物质就很难在衬底上附着和生成；最后，镀膜之后，将不锈钢衬底和样品浸泡在丙酮里，油墨笔划过的墨痕就会反应 掉，露出一道或者多道清晰的台阶，再在台阶仪上测量镀膜的厚度。实施例3在本实施例中首先在有机材料衬底上用油墨笔画一道或几道；然后放在镀膜室里镀膜，镀膜的成分可以为金属，由于油墨笔的成分是油性的，溅 射时其他物质就很难在衬底上附着和生成；最后，镀膜之后，将有机材料衬底和样品浸泡在乙醇里，油墨笔划过的墨痕就会反 应掉，露出一道或者多道清晰的台阶，再在台阶仪上测量镀膜的厚度。通过以上实施例可以看出，本发明可以解决现有技术中化学腐蚀法和掩模法操作 不便的不足，由于不使用掩模或者化学腐蚀液，可以节省成本和时间；记号笔或者油性笔、 乙醇和丙酮等是常备产品，取用和操作便捷，经溶解后可以得到清晰的台阶，从而提高镀膜 工艺中对厚度测试的精确性和易操作性。
权利要求
1.一种测试镀膜厚度的方法，其特征在于按照如下步骤操作首先在衬底上用记号笔或油墨笔画一道或几道；然后放在镀膜室里镀膜，记号笔或者油墨笔的成分是油性的，溅射时其他物质很难在 衬底上附着和生成；最后，在镀膜后，将衬底和样品浸泡在溶解液里，记号笔或者油墨笔划过的墨痕会反应 掉，露出一道或者多道清晰的台阶，这时候在台阶仪上就能测量了。
2.根据权利要求1所述的一种测试镀膜厚度的方法，其特征在于所述衬底材料为玻 璃、有机材料或不锈钢材质。
3.根据权利要求1所述的一种测试镀膜厚度的方法，其特征在于所述镀膜的成分为 无机化合物或金属材料。
4.根据权利要求1所述的一种测试镀膜厚度的方法，其特征在于所述溶解液为醇类 或者酮类。
5.根据权利要求1或4所述的一种测试镀膜厚度的方法，其特征在于所述溶解液为 乙醇或丙酮。
全文摘要
本发明公开一种测试镀膜厚度的方法，首先在衬底上用记号笔或油墨笔画一道或几道；然后放在镀膜室里镀膜，由于记号笔或者油墨笔的成分是油性的，溅射时其他物质就很难在衬底上附着和生成；最后，在镀膜后，将衬底和样品浸泡在溶解液里，记号笔或者油墨笔划过的墨痕会反应掉，露出一道或者多道清晰的台阶，这时候在台阶仪上就能测量了。本发明可以提高镀膜工艺中对厚度测试的精确性和易操作性。本发明由于不使用掩模或者化学腐蚀液，可以节省成本和时间；记号笔或者油性笔、乙醇和丙酮等是常备产品，取用和操作便捷；台阶清晰。
文档编号G01B21/08GK102087105SQ200910199818
公开日2011年6月8日 申请日期2009年12月2日 优先权日2009年12月2日
发明者孔慧, 李启龙 申请人:上海交大泰阳绿色能源有限公司