专利名称：一种结构改进的充油型扩散硅压阻式压力传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种充油型扩散硅压阻式压力传感器的结构改进。该压力传感器广泛应 用于工业、医疗、航空航天、石油化工和航海等领域。
背景技术：
扩散硅压力传感器是目前测量压力的一种重要传感器。随着充油型扩散硅压阻式压力传 感器在各行业的广泛应用，扩散硅压力传感器的各项技术指标的要求不断提高。由于传感器 结构问题严重影响测量精度，因此改进结构设计是传感器设计中的一个关键环节。 发明内容
为了弥补现有技术中由于结构设计而产生的测量精度误差、本实用新型提出了一种结构 改进的充油型扩散硅压阻式压力传感器。
本实用新型结构改进的充油型扩散硅压阻式压力传感器，其特征在于，在引线基座处增 加了正面压紧环和反面压紧环，以增加引线基座的强度，减少基座受力后产生的形变，提高 测量精度。
进一步地，在弹性膜片下部还增加了陶瓷盖碗，以减少硅油用量及减弱外界电磁干扰。 本实用新型的有益效果是在内硅杯引线基座的正反两面增加了正面压紧环和反面压紧
环，以夹紧引线基座，从而降低引线基座受压变形而引起的硅杯测量精度误差。还增加了陶
瓷盖碗，用以减少硅油用量及减弱外界电磁干扰。
图1是本实用新型传感器的结构剖视图2是反面压紧环的结构示意图，其中a是俯视图，b是剖视图； 图3是正面压紧环的结构示意图，其中a是俯视图，b是剖视图； 图4是陶瓷盖碗的结构示意图，其中a是俯视图，b是剖视图1中标记1、不锈钢压紧环；2、不锈钢弹性膜片；3、陶瓷盖碗；4、不锈钢外壳；5、 玻璃封装铜引线；6、反面压紧环；7、引线基座；8、通气孔；9、正面压紧环；10内硅杯。
具体实施方式
参照图l-图4，不锈钢压紧环1与不锈钢弹性膜片2及不锈钢外壳4焊接，陶瓷盖碗3、 正面压紧环9、内硅杯10内置于不锈钢外壳4内，引线基座7与不锈钢外壳4焊接；正面压 紧环9与反面压紧环6与引线基座7粘接或焊接。
反面压紧环6与正面压紧环9为刚性绝缘体。
权利要求1、一种结构改进的充油型扩散硅压阻式压力传感器，其特征在于，在引线基座处增加了正面压紧环和反面压紧环。
2、 根据权利要求1所述的结构改进的充油型扩散硅压阻式压力传感器，其特征在于，在 弹性膜片下部增加了陶瓷盖碗。
专利摘要本实用新型提出了一种结构改进的充油型扩散硅压阻式压力传感器。其改进之处在于，在引线基座处增加了正面压紧环和反面压紧环，以增加引线基座的强度，减少基座受力后产生的形变，提高测量精度。并增加了陶瓷盖碗以减少硅油用量及减弱外界电磁干扰。本实用新型改进了充油型扩散硅压力传感器的结构缺陷，提高了充油型扩散硅压阻式压力传感器的测量精度。
文档编号G01L1/18GK201413214SQ20092010888
公开日2010年2月24日 申请日期2009年6月16日 优先权日2009年6月16日
发明者刚 季 申请人:刚 季